Pala Avvanzata tal-Cantilever SiC għall-Ipproċessar tal-Wefer

Deskrizzjoni Qasira:

Il-Paletta Cantilever Avvanzata tas-SiC għall-Ipproċessar tal-Wafers imnedija minn vet-china tuża materjali SiC ta' teknoloġija għolja biex ittejjeb l-effiċjenza u l-preċiżjoni tal-ipproċessar tal-wejfers. Il-pala cantilever ta' Vet-china għandha reżistenza eċċellenti għas-sħana u reżistenza għall-korrużjoni, u tiżgura prestazzjoni stabbli fl-immaniġġjar tal-wejfers f'ambjenti ħorox tal-manifattura, u tagħmilha għażla ideali biex ittejjeb ir-rendiment tal-produzzjoni.


Dettalji tal-Prodott

Tikketti tal-Prodott

L-AvvanzatPala tal-Cantilever tas-SiCGħall-Ipproċessar tal-Wafers maħluqa minn vet-china tipprovdi soluzzjoni eċċellenti għall-manifattura tas-semikondutturi. Din il-pala cantilever hija magħmula minn materjal SiC (silicon carbide), u l-ebusija għolja u r-reżistenza għas-sħana tagħha jippermettulha żżomm prestazzjoni eċċellenti f'ambjenti ta' temperatura għolja u korrużivi. Id-disinn tal-Pala Cantilever jippermetti li l-wejfer jiġi appoġġjat b'mod affidabbli waqt l-ipproċessar, u b'hekk jitnaqqas ir-riskju ta' frammentazzjoni u ħsara.

Pala tal-Cantilever tas-SiChuwa komponent speċjalizzat użat f'tagħmir tal-manifattura tas-semikondutturi bħal forn tal-ossidazzjoni, forn tad-diffużjoni, u forn tat-temprar, l-użu ewlieni huwa għat-tagħbija u l-ħatt tal-wejfers, jappoġġja u jittrasporta l-wejfers waqt proċessi ta' temperatura għolja.

Strutturi komunita'SiCckontra l-lievapgħaġġla: Struttura cantilever, fissa f'tarf wieħed u ħielsa mit-tarf l-ieħor, tipikament ikollha disinn ċatt u simili għal pala.

VET Energy tuża materjali tal-karbur tas-silikon rikristallizzat ta' purità għolja biex tiggarantixxi l-kwalità.

Proprjetajiet fiżiċi tal-Karbur tas-Silikon Rikristallizzat

Proprjetà

Valur Tipiku

Temperatura tax-xogħol (°C)

1600°C (bl-ossiġnu), 1700°C (ambjent li jnaqqas)

Kontenut tas-SiC

> 99.96%

Kontenut Si b'xejn

< 0.1%

Densità tal-massa

2.60-2.70 g/ċm3

Porożità apparenti

< 16%

Saħħa tal-kompressjoni

> 600MPa

Saħħa tal-liwi fil-kesħa

80-90 MPa (20°Ċ)

Saħħa tal-liwi sħun

90-100 MPa (1400°Ċ)

Espansjoni termali @1500°C

4.70 10-6/°Ċ

Konduttività termali @1200°C

23W/m•K

Modulu elastiku

240 GPa

Reżistenza għal xokk termali

Tajjeb ħafna

Il-vantaġġi tal-Advanced SiC Cantilever Paddle ta' VET Energy għall-Ipproċessar tal-Wafer huma:

-Stabbiltà f'temperatura għolja: tista' tintuża f'ambjenti 'l fuq minn 1600°C;

-Koeffiċjent baxx ta' espansjoni termali: iżomm l-istabbiltà dimensjonali, u b'hekk inaqqas ir-riskju ta' tgħawwiġ tal-wejfer;

-Purità għolja: riskju aktar baxx ta' kontaminazzjoni tal-metall;

-Inerzja kimika: reżistenti għall-korrużjoni, adattata għal diversi ambjenti tal-gass;

-Saħħa u ebusija għolja: Reżistenti għall-ilbies, ħajja twila ta' servizz;

-Konduttività termali tajba: tgħin fit-tisħin uniformi tal-wejfer.

Pala tal-Cantilever10
Pala tal-Cantilever16
研发团队2
生产设备1
公司客户1

  • Preċedenti:
  • Li jmiss:

  • Chat Online fuq WhatsApp!