Графитни прстен са TaC премазом

Компанија VET Energy се фокусира на истраживање и развој и производњу високо ефикасних графитних прстенова обложених CVD методом, и посвећена је пружању основних решења за потрошне материјале за полупроводничку, фотонапонску и индустрију високих температура. Наша независно развијена технологија хемијског таложења из парне фазе (CVD) формира густ и уједначен премаз тантал карбида на површини графитне подлоге кроз прецизне процесе, значајно побољшавајући отпорност производа на високе температуре (>3000℃), отпорност на корозију и отпорност на термички удар, продужавајући век трајања за више од 3 пута и смањујући свеобухватне трошкове купаца.

Наше техничке предности:
1. Отпорност на оксидацију на високим температурама
У ваздушној атмосфери од 1200 ℃, брзина повећања оксидационе тежине је ≤0,05 мг/цм²/х, што је више од 3 пута дуже од века отпорности на оксидацију обичног графита, и погодно је за услове циклуса високог загревања и хлађења.
2. Отпорност на корозију растопљеног силицијума/метала
TaC премаз је изузетно инертан према металима као што су течни силицијум (1600℃), растопљени алуминијум/бакар итд., избегавајући структурни квар традиционалних вођица прстенова услед продирања метала, посебно погодан за производњу енергетских полупроводника и полупроводника треће генерације.
3. Ултра-ниска контаминација честицама
CVD процес постиже густину премаза од >99,5% и храпавост површине од Ra ≤ 0,2μm, смањујући ризик од осипања честица са извора и испуњавајући строге захтеве чистоће за производњу 12-инчних плочица.
4. Прецизна контрола величине
Усвајањем прецизне CNC обраде, толеранција величине графитне подлоге је ±0,01 мм, а укупна деформација након премазивања је <±5μм, што је погодно за уградњу у коморе високопрецизне опреме.