Графітове кільце з покриттям TaC

Компанія VET Energy зосереджується на дослідженнях, розробках та виробництві високопродуктивних графітових кілець з покриттям з карбіду танталу (TaC), отриманим методом CVD, і прагне надавати основні рішення з витратних матеріалів для напівпровідникової, фотоелектричної та високотемпературної промисловості. Наша незалежно розроблена технологія хімічного осадження з парової фази (CVD) утворює щільне та рівномірне покриття з карбіду танталу на поверхні графітової підкладки за допомогою точних процесів, значно покращуючи стійкість продукту до високих температур (>3000℃), корозійну стійкість та стійкість до теплових ударів, подовжуючи термін служби більш ніж у 3 рази та знижуючи загальні витрати клієнтів.

Наші технічні переваги:
1. Стійкість до окислення за високих температур
У повітряній атмосфері з температурою 1200℃ швидкість збільшення маси при окисленні становить ≤0,05 мг/см²/год, що більш ніж у 3 рази перевищує термін стійкості до окислення звичайного графіту, і підходить для умов високочастотного циклу нагрівання-охолодження.
2. Стійкість до корозії розплавленого кремнію/металу
Покриття TaC надзвичайно інертне до металів, таких як рідкий кремній (1600℃), розплавлений алюміній/мідь тощо, що запобігає структурному руйнуванню традиційних напрямних кілець через проникнення металу, особливо підходить для виробництва силових напівпровідників та напівпровідників третього покоління.
3. Наднизьке забруднення частинками
Процес CVD досягає щільності покриття >99,5% та шорсткості поверхні Ra ≤ 0,2 мкм, що знижує ризик випадання частинок від джерела та відповідає суворим вимогам чистоти при виробництві 12-дюймових пластин.
4. Точний контроль розміру
Завдяки прецизійній обробці на верстатах з ЧПК допуск розміру графітової підкладки становить ±0,01 мм, а загальна деформація після нанесення покриття <±5 мкм, що підходить для встановлення у камерах високоточних пристроїв.