SiC איין קריסטאַל איז אַ גרופּע IV-IV קאַמפּאַונד האַלב-קאָנדוקטאָר מאַטעריאַל צוזאַמענגעשטעלט פון צוויי עלעמענטן, Si און C, אין אַ סטאָיכיאָמעטריש פאַרהעלטעניש פון 1:1. זיין כאַרדנאַס איז צווייט נאָר צו דיאַמאָנט.
די קאַרבאָן רעדוקציע פון סיליקאָן אָקסייד מעטאָדע צו צוגרייטן SiC איז דער הויפּט באַזירט אויף דער פאלגענדער כעמישער רעאַקציע פאָרמולע:
דער רעאַקציע פּראָצעס פון קאַרבאָן רעדוקציע פון סיליקאָן אָקסייד איז לעפיערעך קאָמפּליצירט, אין וועלכן די רעאַקציע טעמפּעראַטור ווירקט גלייך אויף דעם לעצטן פּראָדוקט.
אין דעם צוגרייטונג פּראָצעס פון סיליקאָן קאַרבייד, ווערן די רוי מאַטעריאַלן ערשט געלייגט אין אַ קעגנשטעל אויוון. דער קעגנשטעל אויוון באַשטייט פון ענד ווענט ביי ביידע עקן, מיט אַ גראַפיט עלעקטראָד אין צענטער, און דער אויוון קערן פֿאַרבינדט די צוויי עלעקטראָדן. אויף דער פּעריפעריע פון דעם אויוון קערן, ווערן די רוי מאַטעריאַלן וואָס נעמען אָנטייל אין דער רעאַקציע ערשט געלייגט, און דערנאָך ווערן די מאַטעריאַלן געניצט פֿאַר היץ קאָנסערוואַציע געלייגט אויף דער פּעריפעריע. ווען די שמעלץ הייבט זיך אָן, ווערט דער קעגנשטעל אויוון ענערדזשייזט און די טעמפּעראַטור שטייגט צו 2,600 ביז 2,700 גראַד צעלזיוס. עלעקטרישע היץ ענערגיע ווערט איבערגעגעבן צו דער לאַדונג דורך דער ייבערפלאַך פון דעם אויוון קערן, וואָס פאַראורזאַכט אַז עס זאָל ביסלעכווייַז ווערן געהייצט. ווען די טעמפּעראַטור פון דער לאַדונג איבערשטייגט 1450 גראַד צעלזיוס, פּאַסירט אַ כעמישע רעאַקציע צו דזשענערירן סיליקאָן קאַרבייד און טשאַד מאָנאָקסייד גאַז. ווי דער שמעלץ פּראָצעס גייט ווייטער, וועט די הויך-טעמפּעראַטור געגנט אין דער לאַדונג ביסלעכווייַז יקספּאַנדירן, און די סומע פון סיליקאָן קאַרבייד וואָס ווערט דזשענערירט וועט אויך פאַרגרעסערן. סיליקאָן קאַרבייד ווערט קעסיידער געשאפן אין דעם אויוון, און דורך פארדאַמפּונג און באַוועגונג, וואַקסן די קריסטאַלן ביסלעכווייַז און עווענטועל זאַמלען זיך אין צילינדרישע קריסטאַלן.
א טייל פון דער אינעווייניגסטער וואַנט פון דעם קריסטאַל הייבט אָן צו צעפאַלן צוליב דער הויכער טעמפּעראַטור וואָס איבערשטייגט 2,600 גראַד צעלזיוס. דער סיליקאָן עלעמענט וואָס ווערט פּראָדוצירט דורך דער צעפאַלונג וועט זיך ווידער פֿאַרבינדן מיטן קוילן־עלעמענט אין דער לאַדונג צו שאַפֿן נײַעם סיליקאָן קאַרביד.
ווען די כעמישע רעאקציע פון סיליקאן קארבייד (SiC) איז פארטיג און דער אויוון איז אפגעקילט, קען מען אנהייבן דער נעקסטער שריט. ערשטנס ווערן די ווענט פון אויוון אפגענוצט, און דערנאך ווערן די רוי מאטעריאלן אין אויוון אויסגעקליבן און גראדירט שיכט ביי שיכט. די אויסגעקליבענע רוי מאטעריאלן ווערן צעקוועטשט צו באקומען דעם גראנולארן מאטעריאל וואס מיר ווילן. דערנאך ווערן די אומריינקייטן אין די רוי מאטעריאלן אוועקגענומען דורך וואסער וואשן אדער רייניגן מיט זויערע און אלקאלי לייזונגען, ווי אויך מאגנעטישע צעשיידונג און אנדערע מעטאדן. די רייניגע רוי מאטעריאלן דארפן ווערן געטריקנט און דערנאך נאכאמאל געזיפט, און צום סוף קען מען באקומען ריין סיליקאן קארבייד פודער. אויב נויטיג, קענען די פודערס ווייטער פארארבעט ווערן לויטן אמת'ן באנוץ, ווי למשל שאפן אדער פיין מאלן, צו פראדוצירן פיינערן סיליקאן קארבייד פודער.
ספּעציפֿישע טריט זענען ווי גייט:
(1) רוי מאַטעריאַלן
גרין סיליקאן קאַרבייד מיקראָ פּודער ווערט פּראָדוצירט דורך צעקוועטשן גראָבער גרין סיליקאן קאַרבייד. די כעמישע צוזאַמענשטעלונג פון סיליקאן קאַרבייד זאָל זיין גרעסער ווי 99%, און פרייער טשאַד און אייַזן אָקסייד זאָל זיין ווייניקער ווי 0.2%.
(2) צעבראכן
צו צעקוועטשן סיליקאָן קאַרבייד זאַמד אין פיין פּודער, ווערן איצט צוויי מעטאָדן גענוצט אין כינע, איינע איז די ינטערמיטאַנט נאַס פּילקע מיל צעקוועטשן, און די אַנדערע איז צעקוועטשן מיט אַ לופט לויפן פּודער מיל.
(3) מאַגנעטישע צעשיידונג
נישט קיין חילוק וועלכע מעטאָדע מען ניצט צו צעקוועטשן סיליקאָן קאַרבייד פּודער אין פיין פּודער, מען ניצט געוויינטלעך נאַסע מאַגנעטישע צעשיידונג און מעכאַנישע מאַגנעטישע צעשיידונג. דאָס איז ווײַל עס איז נישטאָ קיין שטויב בעת נאַסע מאַגנעטישע צעשיידונג, די מאַגנעטישע מאַטעריאַלן ווערן גאָר צעשיידט, דער פּראָדוקט נאָך מאַגנעטישע צעשיידונג כּולל ווייניקער אייַזן, און דער סיליקאָן קאַרבייד פּודער וואָס די מאַגנעטישע מאַטעריאַלן נעמען אַוועק איז אויך ווייניקער.
(4) וואַסער צעשיידונג
דער גרונט־פּרינציפּ פֿון דער וואַסער־טרענקונג־מעטאָדע איז צו נוצן די פֿאַרשידענע זעצונג־גיכקייטן פֿון סיליקאָן־קאַרביד־פּאַרטיקלען פֿון פֿאַרשידענע דיאַמעטערס אין וואַסער צו דורכפֿירן פּאַרטיקל־גרייס־סאָרטירונג.
(5) אולטראַסאָניק סקרינינג
מיט דער אַנטוויקלונג פון אַלטראַסאַניק טעכנאָלאָגיע, עס איז אויך וויידלי געניצט אין אַלטראַסאַניק סקרינינג פון מיקראָ-פּודער טעכנאָלאָגיע, וואָס קענען בייסיקלי סאָלווע סקרינינג פּראָבלעמס אַזאַ ווי שטאַרק אַדסאָרפּטיאָן, גרינג אַגלאָמעריישאַן, הויך סטאַטיק עלעקטרע, הויך פייננאַס, הויך געדיכטקייַט, און ליכט ספּעציפיש גראַוויטי.
(6) קוואַליטעט דורכקוק
מיקראָפּודער קוואַליטעט דורכקוק כולל כעמישע זאַץ, פּאַרטיקל גרייס זאַץ און אנדערע זאכן. פֿאַר דורכקוק מעטאָדן און קוואַליטעט סטאַנדאַרדס, ביטע זען "סיליקאָן קאַרבייד טעכנישע באדינגונגען".
(7) פּראָדוקציע פֿון מאָלן שטויב
נאכדעם וואס דער מיקרא-פודער ווערט גרופירט און געזיפּט, קען מען ניצן דעם מאַטעריאַל-קאָפּ צו צוגרייטן מײַל-פודער. די פּראָדוקציע פון מײַל-פודער קען רעדוצירן אָפּפאַל און פֿאַרלענגערן די פּראָדוקט-קייט.
פּאָסט צייט: 13טן מײַ 2024