ຜົງ SiC ຜະລິດໄດ້ແນວໃດ?

ຜລຶກຊິລິໂຄນດ່ຽວ SiC ເປັນວັດສະດຸເຄິ່ງຕົວນຳປະສົມກຸ່ມ IV-IV ທີ່ປະກອບດ້ວຍສອງອົງປະກອບຄື Si ແລະ C ໃນອັດຕາສ່ວນສະໂຕຄິໂອເມຕຣິກ 1:1. ຄວາມແຂງຂອງມັນສູງເປັນອັນດັບສອງຮອງຈາກເພັດ.

ວິທີການຫຼຸດຜ່ອນຄາບອນຂອງຊິລິກອນອອກໄຊເພື່ອກະກຽມ SiC ແມ່ນອີງໃສ່ສູດປະຕິກິລິຍາເຄມີຕໍ່ໄປນີ້:

ຂະບວນການປະຕິກິລິຍາຂອງການຫຼຸດຜ່ອນຄາບອນຂອງຊິລິໂຄນອອກໄຊແມ່ນຂ້ອນຂ້າງສັບສົນ, ເຊິ່ງອຸນຫະພູມປະຕິກິລິຍາມີຜົນກະທົບໂດຍກົງຕໍ່ຜະລິດຕະພັນສຸດທ້າຍ.

ໃນຂະບວນການກະກຽມຊິລິກອນຄາໄບ, ວັດຖຸດິບຈະຖືກວາງໄວ້ໃນເຕົາເຜົາແບບຕ້ານທານກ່ອນ. ເຕົາເຜົາແບບຕ້ານທານປະກອບດ້ວຍຝາສຸດທ້າຍທັງສອງສົ້ນ, ໂດຍມີຂົ້ວໄຟຟ້າແກຣໄຟຢູ່ໃຈກາງ, ແລະແກນເຕົາເຜົາເຊື່ອມຕໍ່ຂົ້ວໄຟຟ້າສອງອັນ. ຢູ່ບໍລິເວນອ້ອມຮອບຂອງແກນເຕົາເຜົາ, ວັດຖຸດິບທີ່ເຂົ້າຮ່ວມໃນປະຕິກິລິຍາຈະຖືກວາງໄວ້ກ່ອນ, ແລະຫຼັງຈາກນັ້ນວັດສະດຸທີ່ໃຊ້ສຳລັບການຮັກສາຄວາມຮ້ອນຈະຖືກວາງໄວ້ບໍລິເວນອ້ອມຮອບ. ເມື່ອການຫຼອມເລີ່ມຕົ້ນ, ເຕົາເຜົາແບບຕ້ານທານຈະຖືກກະຕຸ້ນພະລັງງານ ແລະ ອຸນຫະພູມຈະເພີ່ມຂຶ້ນເປັນ 2,600 ຫາ 2,700 ອົງສາເຊນຊຽດ. ພະລັງງານຄວາມຮ້ອນໄຟຟ້າຈະຖືກຖ່າຍທອດໄປຫາປະຈຸຜ່ານໜ້າດິນຂອງແກນເຕົາເຜົາ, ເຮັດໃຫ້ມັນຄ່ອຍໆຮ້ອນຂຶ້ນ. ເມື່ອອຸນຫະພູມຂອງປະຈຸເກີນ 1450 ອົງສາເຊນຊຽດ, ປະຕິກິລິຍາເຄມີຈະເກີດຂຶ້ນເພື່ອສ້າງຊິລິກອນຄາໄບ ແລະ ອາຍແກັສຄາບອນມໍນອກໄຊ. ໃນຂະນະທີ່ຂະບວນການຫຼອມຍັງສືບຕໍ່, ພື້ນທີ່ທີ່ມີອຸນຫະພູມສູງໃນປະຈຸຈະຄ່ອຍໆຂະຫຍາຍອອກ, ແລະ ປະລິມານຂອງຊິລິກອນຄາໄບທີ່ຜະລິດອອກມາກໍ່ຈະເພີ່ມຂຶ້ນເຊັ່ນກັນ. ຊິລິກອນຄາໄບຖືກສ້າງຕັ້ງຂຶ້ນຢ່າງຕໍ່ເນື່ອງໃນເຕົາເຜົາ, ແລະ ຜ່ານການລະເຫີຍ ແລະ ການເຄື່ອນໄຫວ, ຜລຶກຈະຄ່ອຍໆເຕີບໃຫຍ່ ແລະ ໃນທີ່ສຸດກໍ່ລວມຕົວກັນເປັນຜລຶກຮູບຊົງກະບອກ.

ສ່ວນໜຶ່ງຂອງຝາດ້ານໃນຂອງຜລຶກເລີ່ມເນົ່າເປື່ອຍຍ້ອນອຸນຫະພູມສູງເກີນ 2,600 ອົງສາເຊນຊຽດ. ທາດຊິລິກອນທີ່ເກີດຈາກການເນົ່າເປື່ອຍຈະລວມຕົວກັບທາດຄາບອນໃນປະຈຸເພື່ອສ້າງຊິລິກອນຄາໄບໃໝ່.

ເມື່ອປະຕິກິລິຍາເຄມີຂອງຊິລິກອນຄາໄບ (SiC) ສຳເລັດແລ້ວ ແລະ ເຕົາໄຟໄດ້ເຢັນລົງແລ້ວ, ຂັ້ນຕອນຕໍ່ໄປສາມາດເລີ່ມຕົ້ນໄດ້. ກ່ອນອື່ນໝົດ, ຝາຂອງເຕົາໄຟຈະຖືກຮື້ອອກ, ແລະຫຼັງຈາກນັ້ນວັດຖຸດິບໃນເຕົາໄຟຈະຖືກຄັດເລືອກ ແລະ ຈັດລຽງຊັ້ນໆ. ວັດຖຸດິບທີ່ເລືອກຈະຖືກບົດເພື່ອໃຫ້ໄດ້ວັດຖຸດິບທີ່ເປັນເມັດທີ່ພວກເຮົາຕ້ອງການ. ຕໍ່ໄປ, ສິ່ງເຈືອປົນໃນວັດຖຸດິບຈະຖືກກຳຈັດອອກໂດຍການລ້າງດ້ວຍນ້ຳ ຫຼື ການທຳຄວາມສະອາດດ້ວຍສານລະລາຍກົດ ແລະ ດ່າງ, ພ້ອມທັງການແຍກແມ່ເຫຼັກ ແລະ ວິທີການອື່ນໆ. ວັດຖຸດິບທີ່ທຳຄວາມສະອາດແລ້ວຕ້ອງໄດ້ຕາກແຫ້ງ ແລະ ຈາກນັ້ນກໍ່ກັ່ນຕອງອີກຄັ້ງ, ແລະ ສຸດທ້າຍກໍ່ສາມາດໄດ້ຮັບຜົງຊິລິກອນຄາໄບບໍລິສຸດ. ຖ້າຈຳເປັນ, ຜົງເຫຼົ່ານີ້ສາມາດປຸງແຕ່ງຕໍ່ໄປໄດ້ຕາມການນຳໃຊ້ຕົວຈິງ, ເຊັ່ນ: ການປັ້ນຮູບ ຫຼື ການບົດລະອຽດ, ເພື່ອຜະລິດຜົງຊິລິກອນຄາໄບທີ່ລະອຽດກວ່າ.

ຂັ້ນຕອນສະເພາະມີດັ່ງນີ້:

(1) ວັດຖຸດິບ

ຜົງຊິລິກອນຄາໄບສີຂຽວແມ່ນຜະລິດໂດຍການບົດຊິລິກອນຄາໄບສີຂຽວທີ່ຫຍາບກວ່າ. ສ່ວນປະກອບທາງເຄມີຂອງຊິລິກອນຄາໄບຄວນຈະຫຼາຍກວ່າ 99%, ແລະຄາບອນອິດສະຫຼະ ແລະ ທາດເຫຼັກອອກໄຊຄວນຈະໜ້ອຍກວ່າ 0.2%.

(2) ແຕກຫັກ

ການບົດດິນຊາຍຊິລິໂຄນຄາໄບໃຫ້ເປັນຜົງລະອຽດ, ປະຈຸບັນມີສອງວິທີທີ່ໃຊ້ໃນປະເທດຈີນ, ວິທີໜຶ່ງແມ່ນການບົດດ້ວຍເຄື່ອງບົດລູກບານປຽກເປັນໄລຍະໆ, ແລະອີກວິທີໜຶ່ງແມ່ນການບົດໂດຍໃຊ້ເຄື່ອງບົດຜົງແບບໄຫຼວຽນຂອງອາກາດ.

(3) ການແຍກແມ່ເຫຼັກ

ບໍ່ວ່າຈະໃຊ້ວິທີໃດກໍ່ຕາມເພື່ອບົດຜົງຊິລິກອນຄາໄບໃຫ້ເປັນຜົງລະອຽດ, ການແຍກແມ່ເຫຼັກປຽກ ແລະ ການແຍກແມ່ເຫຼັກກົນຈັກມັກຖືກນຳໃຊ້. ນີ້ແມ່ນຍ້ອນວ່າບໍ່ມີຝຸ່ນໃນລະຫວ່າງການແຍກແມ່ເຫຼັກປຽກ, ວັດສະດຸແມ່ເຫຼັກຈະຖືກແຍກອອກໝົດ, ຜະລິດຕະພັນຫຼັງຈາກການແຍກແມ່ເຫຼັກມີທາດເຫຼັກໜ້ອຍລົງ, ແລະ ຜົງຊິລິກອນຄາໄບທີ່ຖືກວັດສະດຸແມ່ເຫຼັກກຳຈັດອອກໄປກໍ່ໜ້ອຍລົງເຊັ່ນກັນ.

(4) ການແຍກນໍ້າ

ຫຼັກການພື້ນຖານຂອງວິທີການແຍກນໍ້າແມ່ນການໃຊ້ຄວາມໄວໃນການຕົກຕະກອນຂອງອະນຸພາກຊິລິກອນຄາໄບທີ່ມີເສັ້ນຜ່າສູນກາງແຕກຕ່າງກັນໃນນໍ້າເພື່ອປະຕິບັດການຄັດແຍກຂະໜາດອະນຸພາກ.

(5) ການກວດດ້ວຍຄື້ນສຽງຄວາມຖີ່ສູງ

ດ້ວຍການພັດທະນາເຕັກໂນໂລຊີ ultrasonic, ມັນຍັງໄດ້ຖືກນໍາໃຊ້ຢ່າງກວ້າງຂວາງໃນການກວດສອບ ultrasonic ຂອງເຕັກໂນໂລຊີຜົງຈຸນລະພາກ, ເຊິ່ງໂດຍພື້ນຖານແລ້ວສາມາດແກ້ໄຂບັນຫາການກວດສອບເຊັ່ນ: ການດູດຊຶມທີ່ເຂັ້ມແຂງ, ການລວມຕົວງ່າຍ, ໄຟຟ້າສະຖິດສູງ, ຄວາມລະອຽດສູງ, ຄວາມໜາແໜ້ນສູງ, ແລະຄວາມຖ່ວງຈໍາເພາະຂອງແສງ.

(6) ການກວດກາຄຸນນະພາບ

ການກວດກາຄຸນນະພາບຂອງຜົງຈຸນລະພາກປະກອບມີສ່ວນປະກອບທາງເຄມີ, ສ່ວນປະກອບຂະໜາດຂອງອະນຸພາກ ແລະ ລາຍການອື່ນໆ. ສຳລັບວິທີການກວດກາ ແລະ ມາດຕະຖານຄຸນນະພາບ, ກະລຸນາອ້າງອີງເຖິງ “ເງື່ອນໄຂທາງເທັກນິກຂອງຊິລິຄອນຄາໄບ.”

(7) ການຜະລິດຝຸ່ນບົດ

ຫຼັງຈາກຜົງຈຸນລະພາກຖືກຈັດກຸ່ມ ແລະ ກັ່ນຕອງແລ້ວ, ຫົວວັດສະດຸສາມາດຖືກນໍາໃຊ້ເພື່ອກະກຽມຜົງບົດ. ການຜະລິດຜົງບົດສາມາດຫຼຸດຜ່ອນສິ່ງເສດເຫຼືອ ແລະ ຂະຫຍາຍລະບົບຕ່ອງໂສ້ຜະລິດຕະພັນ.