SiC គ្រីស្តាល់តែមួយគឺជាសម្ភារៈ semiconductor សមាសធាតុក្រុម IV-IV ដែលមានធាតុផ្សំពីរគឺ Si និង C ក្នុងសមាមាត្រ stoichiometric នៃ 1: 1 ។ ភាពរឹងរបស់វាស្ថិតនៅលំដាប់ទីពីរបន្ទាប់ពីពេជ្រ។
វិធីសាស្រ្តកាត់បន្ថយកាបូននៃស៊ីលីកុនអុកស៊ីដដើម្បីរៀបចំ SiC គឺផ្អែកលើរូបមន្តប្រតិកម្មគីមីដូចខាងក្រោមៈ
ដំណើរការប្រតិកម្មនៃការថយចុះកាបូននៃអុកស៊ីដស៊ីលីកុនគឺស្មុគស្មាញដែលសីតុណ្ហភាពប្រតិកម្មប៉ះពាល់ដោយផ្ទាល់ដល់ផលិតផលចុងក្រោយ។
នៅក្នុងដំណើរការនៃការរៀបចំស៊ីលីកុនកាបូនវត្ថុធាតុដើមត្រូវបានដាក់ដំបូងនៅក្នុងឡដែលធន់ទ្រាំ។ ចង្រ្កានធន់ទ្រាំមានជញ្ជាំងចុងនៅចុងទាំងពីរ ដោយមានអេឡិចត្រូតក្រាហ្វីតនៅចំកណ្តាល ហើយស្នូលចង្រ្កានភ្ជាប់អេឡិចត្រូតទាំងពីរ។ នៅលើបរិវេណនៃស្នូល furnace វត្ថុធាតុដើមដែលចូលរួមក្នុងប្រតិកម្មត្រូវបានដាក់ដំបូងហើយបន្ទាប់មកវត្ថុធាតុដើមដែលប្រើសម្រាប់ការរក្សាកំដៅត្រូវបានដាក់នៅលើបរិវេណ។ នៅពេលដែលការរលាយចាប់ផ្តើម ឡដែលធន់ទ្រាំនឹងថាមពល ហើយសីតុណ្ហភាពកើនឡើងដល់ 2,600 ទៅ 2,700 អង្សាសេ។ ថាមពលកំដៅអគ្គីសនីត្រូវបានផ្ទេរទៅបន្ទុកតាមរយៈផ្ទៃនៃស្នូល furnace ដែលបណ្តាលឱ្យវាត្រូវបានកំដៅបន្តិចម្តង ៗ ។ នៅពេលដែលសីតុណ្ហភាពនៃបន្ទុកលើសពី 1450 អង្សាសេ ប្រតិកម្មគីមីកើតឡើងដើម្បីបង្កើតស៊ីលីកុនកាបូន និងឧស្ម័នកាបូនម៉ូណូអុកស៊ីត។ នៅពេលដែលដំណើរការរលាយនៅតែបន្ត តំបន់ដែលមានសីតុណ្ហភាពខ្ពស់នៅក្នុងបន្ទុកនឹងពង្រីកបន្តិចម្តងៗ ហើយបរិមាណស៊ីលីកុនកាបូនដែលបានបង្កើតក៏នឹងកើនឡើងផងដែរ។ Silicon carbide ត្រូវបានបង្កើតឡើងជាបន្តបន្ទាប់នៅក្នុងចង្រ្កាន ហើយតាមរយៈការហួត និងចលនា គ្រីស្តាល់លូតលាស់បន្តិចម្តងៗ ហើយនៅទីបំផុតប្រមូលផ្តុំទៅជាគ្រីស្តាល់ស៊ីឡាំង។
ផ្នែកនៃជញ្ជាំងខាងក្នុងនៃគ្រីស្តាល់ចាប់ផ្តើមរលួយដោយសារតែសីតុណ្ហភាពខ្ពស់លើសពី 2,600 អង្សាសេ។ ធាតុស៊ីលីកុនដែលផលិតដោយការបំបែកនឹងផ្សំជាមួយធាតុកាបូននៅក្នុងបន្ទុក ដើម្បីបង្កើតជាស៊ីលីកុនកាបូនថ្មី។
នៅពេលដែលប្រតិកម្មគីមីនៃស៊ីលីកុនកាបូន (SiC) ត្រូវបានបញ្ចប់ ហើយឡបានត្រជាក់ចុះ ជំហានបន្ទាប់អាចចាប់ផ្តើម។ ទីមួយជញ្ជាំងនៃចង្រ្កានត្រូវបានរុះរើហើយបន្ទាប់មកវត្ថុធាតុដើមនៅក្នុងឡត្រូវបានជ្រើសរើសនិងដាក់ថ្នាក់ដោយស្រទាប់។ វត្ថុធាតុដើមដែលបានជ្រើសរើសត្រូវបានកំទេចដើម្បីទទួលបានវត្ថុធាតុដើមដែលយើងចង់បាន។ បន្ទាប់មក ភាពមិនបរិសុទ្ធនៅក្នុងវត្ថុធាតុដើមត្រូវបានយកចេញតាមរយៈការលាងទឹក ឬការលាងសម្អាតជាមួយនឹងដំណោះស្រាយអាស៊ីត និងអាល់កាឡាំង ក៏ដូចជាការបំបែកម៉ាញេទិក និងវិធីសាស្ត្រផ្សេងៗទៀត។ វត្ថុធាតុដើមដែលបានសម្អាតត្រូវស្ងួតហួតហែង ហើយបន្ទាប់មកពិនិត្យម្តងទៀត ហើយទីបំផុតម្សៅស៊ីលីកុនកាបូនសុទ្ធអាចទទួលបាន។ ប្រសិនបើចាំបាច់ ម្សៅទាំងនេះអាចត្រូវបានកែច្នៃបន្ថែមទៅតាមការប្រើប្រាស់ជាក់ស្តែង ដូចជាការកាត់រាង ឬការកិនល្អ ដើម្បីផលិតម្សៅស៊ីលីកុន កាបូអ៊ីដ កាន់តែល្អិតល្អន់។
ជំហានជាក់លាក់មានដូចខាងក្រោម៖
(1) វត្ថុធាតុដើម
ម្សៅមីក្រូកាបូនស៊ីលីកុនពណ៌បៃតងត្រូវបានផលិតដោយកំទេចស៊ីលីកុនកាបូនកាបូនពណ៌បៃតង។ សមាសធាតុគីមីនៃស៊ីលីកុនកាបូនគួរតែធំជាង 99% ហើយកាបូននិងអុកស៊ីដដែកដោយឥតគិតថ្លៃគួរតែមានតិចជាង 0.2% ។
(២) ខូច
ដើម្បីកំទេចខ្សាច់ស៊ីលីកុនកាបូនទៅជាម្សៅល្អ វិធីសាស្រ្តពីរត្រូវបានប្រើប្រាស់នាពេលបច្ចុប្បន្ននៅក្នុងប្រទេសចិន មួយគឺការកិនគ្រាប់សើមបណ្តោះអាសន្ន និងមួយទៀតគឺការកំទេចដោយប្រើម៉ាស៊ីនកិនម្សៅខ្យល់។
(3) ការបំបែកម៉ាញេទិក
មិនថាវិធីណាដែលត្រូវបានប្រើដើម្បីកំទេចម្សៅស៊ីលីកុនកាបូនទៅជាម្សៅល្អទេ ការបំបែកម៉ាញេទិកសើម និងការបំបែកម៉ាញេទិកមេកានិចជាធម្មតាត្រូវបានគេប្រើ។ នេះគឺដោយសារតែមិនមានធូលីដីកំឡុងពេលបំបែកម៉ាញេទិកសើម វត្ថុធាតុម៉ាញេទិកត្រូវបានបំបែកចេញទាំងស្រុង ផលិតផលបន្ទាប់ពីការបំបែកម៉ាញេទិកមានជាតិដែកតិច ហើយម្សៅស៊ីលីកុនកាបូនដែលត្រូវបានយកចេញដោយវត្ថុធាតុម៉ាញ៉េទិចក៏តិចជាងដែរ។
(4) ការបំបែកទឹក
គោលការណ៍ជាមូលដ្ឋាននៃវិធីសាស្ត្របំបែកទឹកគឺត្រូវប្រើល្បឿនដោះស្រាយផ្សេងគ្នានៃភាគល្អិតស៊ីលីកុនកាបូនដែលមានអង្កត់ផ្ចិតខុសៗគ្នាក្នុងទឹក ដើម្បីធ្វើការតម្រៀបទំហំភាគល្អិត។
(5) ការពិនិត្យអ៊ុលត្រាសោន
ជាមួយនឹងការអភិវឌ្ឍន៍នៃបច្ចេកវិទ្យា ultrasonic វាត្រូវបានប្រើប្រាស់យ៉ាងទូលំទូលាយនៅក្នុងការពិនិត្យ ultrasonic នៃបច្ចេកវិទ្យាមីក្រូម្សៅ ដែលជាមូលដ្ឋានអាចដោះស្រាយបញ្ហាអេក្រង់ដូចជា adsorption ខ្លាំង ការប្រមូលផ្តុំងាយស្រួល អគ្គិសនីឋិតិវន្តខ្ពស់ ភាពល្អិតល្អន់ខ្ពស់ ដង់ស៊ីតេខ្ពស់ និងទំនាញជាក់លាក់ពន្លឺ។
(6) ការត្រួតពិនិត្យគុណភាព
ការត្រួតពិនិត្យគុណភាពមីក្រូម្សៅរួមមានសមាសធាតុគីមី សមាសភាពទំហំភាគល្អិត និងវត្ថុផ្សេងៗទៀត។ សម្រាប់វិធីសាស្រ្តត្រួតពិនិត្យ និងស្តង់ដារគុណភាព សូមមើល "លក្ខខណ្ឌបច្ចេកទេសស៊ីលីកុនកាបូន។"
(7) កិនផលិតកម្មធូលី
បន្ទាប់ពីម្សៅមីក្រូត្រូវបានដាក់ជាក្រុម និងពិនិត្យរួច ក្បាលសម្ភារៈអាចត្រូវបានប្រើដើម្បីរៀបចំម្សៅកិន។ ការផលិតម្សៅកិនអាចកាត់បន្ថយកាកសំណល់ និងពង្រីកខ្សែសង្វាក់ផលិតផល។
ពេលវេលាផ្សាយ៖ ឧសភា-១៣-២០២៤