SiC дан талст нь 1:1 стехиометрийн харьцаатай Si ба C гэсэн хоёр элементээс бүрдсэн IV-IV бүлгийн нэгдлийн хагас дамжуулагч материал юм. Хатуулаг нь алмазын дараа ордог.
SiC бэлтгэх цахиурын оксидын нүүрстөрөгчийн бууралтын аргыг голчлон дараах химийн урвалын томъёонд үндэслэдэг.
Цахиурын оксидын нүүрстөрөгчийн ангижруулалтын урвалын процесс нь харьцангуй нарийн төвөгтэй бөгөөд урвалын температур нь эцсийн бүтээгдэхүүнд шууд нөлөөлдөг.
Цахиурын карбидыг бэлтгэх явцад түүхий эдийг эхлээд эсэргүүцлийн зууханд хийнэ. Эсэргүүцлийн зуух нь хоёр үзүүрт хананаас бүрдэх бөгөөд төв хэсэгтээ бал чулуун электрод байрладаг бөгөөд зуухны цөм нь хоёр электродыг холбодог. Зуухны цөмийн захад урвалд оролцож буй түүхий эдийг эхлээд байрлуулж, дараа нь дулаан хадгалахад ашигладаг материалыг захад байрлуулна. Хайлуулах ажил эхлэхэд эсэргүүцлийн зуухыг идэвхжүүлж, температур нь 2600-2700 хэм хүртэл нэмэгддэг. Цахилгаан дулааны энерги нь зуухны цөмийн гадаргуугаар дамжин цэнэг рүү шилжиж, аажмаар халдаг. Цэнэгийн температур 1450 хэмээс хэтрэх үед химийн урвал явагдаж, цахиурын карбид болон нүүрстөрөгчийн дутуу ислийн хий үүсдэг. Хайлуулах үйл явц үргэлжлэх тусам цэнэг дэх өндөр температурын талбай аажмаар тэлж, үүссэн цахиурын карбидын хэмжээ мөн нэмэгдэх болно. Цахиурын карбид нь зууханд тасралтгүй үүсдэг бөгөөд ууршилт болон хөдөлгөөнөөр талстууд аажмаар ургаж, эцэст нь цилиндр хэлбэртэй талстууд болж цуглардаг.
2600 хэмээс дээш өндөр температурын улмаас болор дотор хананы нэг хэсэг задарч эхэлдэг. Задралаас үүссэн цахиурын элемент нь цэнэг дэх нүүрстөрөгчийн элементтэй дахин нэгдэж шинэ цахиурын карбид үүсгэдэг.
Цахиурын карбидын (SiC) химийн урвал дуусч, зуух хөрсний дараа дараагийн алхам эхэлж болно. Эхлээд зуухны ханыг буулгаж, дараа нь зууханд байгаа түүхий эдийг сонгож, давхаргаар нь ангилдаг. Сонгосон түүхий эдийг бидний хүссэн мөхлөгт материалыг гаргаж авахын тулд бутлана. Дараа нь түүхий эд дэх хольцыг усаар угаах эсвэл хүчил ба шүлтийн уусмалаар цэвэрлэх, мөн соронзон ялгах болон бусад аргаар зайлуулдаг. Цэвэрлэсэн түүхий эдийг хатааж, дараа нь дахин шигших шаардлагатай бөгөөд эцэст нь цэвэр цахиурын карбидын нунтаг гаргаж авах боломжтой. Шаардлагатай бол эдгээр нунтагыг хэлбэржүүлэх эсвэл нарийн нунтаглах гэх мэт бодит хэрэглээний дагуу цаашид боловсруулж, илүү нарийн цахиурын карбидын нунтаг гаргаж авах боломжтой.
Тодорхой алхамууд дараах байдалтай байна:
(1) Түүхий эд
Ногоон цахиурын карбидын бичил нунтагыг том ширхэгтэй ногоон цахиурын карбидыг бутлах замаар гаргаж авдаг. Цахиурын карбидын химийн найрлага 99%-иас их, чөлөөт нүүрстөрөгч ба төмрийн исэл 0.2%-иас бага байх ёстой.
(2) Эвдэрсэн
Цахиурын карбидын элсийг нарийн нунтаг болгон бутлахын тулд Хятадад одоогоор хоёр аргыг ашиглаж байгаа бөгөөд нэг нь завсарлагатай нойтон бөмбөлөгт тээрэм бутлах, нөгөө нь агаарын урсгалын нунтаг тээрэм ашиглан бутлах явдал юм.
(3) Соронзон тусгаарлалт
Цахиурын карбидын нунтагыг нарийн нунтаг болгон бутлахын тулд ямар ч аргыг ашигласан байсан нойтон соронзон ялгах болон механик соронзон ялгах аргыг ихэвчлэн ашигладаг. Учир нь нойтон соронзон ялгах үед тоос шороо байхгүй, соронзон материалууд бүрэн ялгардаг, соронзон ялгах дараах бүтээгдэхүүн нь бага төмөр агуулдаг бөгөөд соронзон материалаар ялгардаг цахиурын карбидын нунтаг мөн бага байдаг.
(4) Усны тусгаарлалт
Ус ялгах аргын үндсэн зарчим нь усанд өөр өөр диаметртэй цахиурын карбидын хэсгүүдийн тунах хурдыг ашиглан ширхэгийн хэмжээгээр ангилах явдал юм.
(5) Хэт авианы шинжилгээ
Хэт авианы технологи хөгжихийн хэрээр бичил нунтаг технологийн хэт авианы скрининг хийхэд өргөн хэрэглэгдэж байгаа бөгөөд энэ нь хүчтэй шингээлт, амархан бөөгнөрөх, өндөр статик цахилгаан, өндөр нарийн чанар, өндөр нягтрал, гэрлийн хувийн таталцал зэрэг скринингийн асуудлыг үндсэндээ шийдэж чадна.
(6) Чанарын хяналт шалгалт
Микронунтагны чанарын үзлэгт химийн найрлага, ширхэгийн хэмжээний найрлага болон бусад зүйлс багтана. Үзлэгийн арга, чанарын стандартын талаар "Цахиурын карбидын техникийн нөхцөл"-өөс үзнэ үү.
(7) Нунтаглах тоос үүсэх
Бичил нунтагыг бүлэглэж, шигшсэний дараа материалын толгойг нунтаглах нунтаг бэлтгэхэд ашиглаж болно. Нунтаглах нунтаг үйлдвэрлэх нь хаягдлыг бууруулж, бүтээгдэхүүний сүлжээг уртасгах боломжтой.
Нийтэлсэн цаг: 2024 оны 5-р сарын 13