Графітавае кольца з пакрыццём TaC

Кампанія VET Energy спецыялізуецца на даследаваннях, распрацоўках і вытворчасці высокапрадукцыйных графітавых кольцаў з пакрыццём з карбіду тантала (TaC), атрыманых метадам хімічнага осаду з паравой фазы (CVD), і імкнецца прадастаўляць асноўныя рашэнні ў галіне расходных матэрыялаў для паўправадніковай, фотаэлектрычнай і высокатэмпературнай прамысловасці. Наша незалежна распрацаваная тэхналогія хімічнага асаджэння з паравой фазы (CVD) утварае шчыльнае і аднастайнае пакрыццё з карбіду тантала на паверхні графітавай падкладкі з дапамогай дакладных працэсаў, значна паляпшаючы ўстойлівасць прадукту да высокіх тэмператур (>3000℃), каразійную стойкасць і ўстойлівасць да цеплавых удараў, падаўжаючы тэрмін службы больш чым у 3 разы і зніжаючы агульныя выдаткі кліентаў.

Нашы тэхнічныя перавагі:
1. Устойлівасць да акіслення пры высокай тэмпературы
У паветранай атмасферы пры тэмпературы 1200℃ хуткасць павелічэння вагі пры акісленні складае ≤0,05 мг/см²/г, што больш чым у 3 разы перавышае тэрмін службы звычайнага графіту пры акісленні, і падыходзіць для цыклаў высокачастотнага нагрэву-астуджэння.
2. Устойлівасць да карозіі расплаўленага крэмнію/металу
Пакрыццё TaC надзвычай інертнае да металаў, такіх як вадкі крэмній (1600℃), расплаўлены алюміній/медзь і г.д., што дазваляе пазбегнуць структурных разбурэнняў традыцыйных накіроўвальных кольцаў з-за пранікнення металу, асабліва падыходзіць для вытворчасці сілавых паўправаднікоў і паўправаднікоў трэцяга пакалення.
3. Звышнізкае забруджванне часціцамі
Працэс CVD дазваляе дасягнуць шчыльнасці пакрыцця >99,5% і шурпатасці паверхні Ra ≤0,2 мкм, што зніжае рызыку выпадзення часціц з крыніцы і адпавядае строгім патрабаванням чысціні пры вытворчасці 12-цалевых пласцін.
4. Дакладны кантроль памеру
Дзякуючы дакладнай апрацоўцы на станках з ЧПУ, дапушчальная адхіленне памеру графітавай падкладкі складае ±0,01 мм, а агульная дэфармацыя пасля нанясення пакрыцця складае <±5 мкм, што падыходзіць для ўстаноўкі ў камерах высокадакладнага абсталявання.