Кварцавая лодка высокай чысціні для апрацоўкі пласцін

Кварцавая вафельная лодказ'яўляецца ключавым інструментам-носьбітам у вытворчасці паўправаднікоў, вытворчасці фотаэлектрычных элементаў і перадавых даследаваннях і распрацоўках матэрыялаў, прызначаным для стабільнага пераносу і пазіцыянавання пласцін у высокатэмпературных працэсах. Гэты прадукт выраблены з плаўленага крэмнезёму звышвысокай чысціні (SiO2), які валодае выдатнай тэмпературнай устойлівасцю, хімічнай стабільнасцю і звышнізкімі характарыстыкамі забруджвання металам, падыходзіць для дыфузійных печаў, акісляльных печаў, PECVD/LPCVD і іншага абсталявання, шырока выкарыстоўваецца ў пакрыцці пласцін, іённай імплантацыі, высокатэмпературным адпале і іншых асноўных працэсах.

Асноўныя перавагі кварцавай лодкі VET Energy:

• Матэрыял звышвысокай чысціні
  Чысціня ≥99,99%: утрыманне прымешак (Na, K, Fe і г.д.) <5 ppm, што дазваляе пазбегнуць забруджвання пласцін і гарантуе выхад чыпа.
  Нізкі ўзровень ападкаў і адсорбцыі: паверхня суперпаліраваная (Ra ≤ 0,4 мкм) для памяншэння адгезіі часціц і рэшткаў газу.
• Стабільнасць пры высокіх тэмпературах
  Тэмпературны ліміт: працяглая рабочая тэмпература 1100℃, кароткатэрміновы пік 1300℃, без дэфармацыі, без выпадзення крышталяў.
  Нізкі каэфіцыент цеплавога пашырэння (5,5x10-7/℃), выдатная ўстойлівасць да цеплавых удараў, адаптуецца да хуткага павышэння і паніжэння тэмпературы (напрыклад, хуткі адпал RTP).
• Дакладнае канструкцыйнае праектаванне
  Дакладнасць шчылін ±0,1 мм: супадзенне пласцін памерам ад 2 да 12 цаляў, памылка аднастайнасці адлегласці <0,05 мм, што гарантуе адсутнасць зрушэння пласцін.
  Высокая грузападымальнасць: максімальная загрузка 50 пласцін (у пераліку 12-цалевых пласцін) у адну лодку, што забяспечвае стабільную перадачу тонкіх пласцін (≥100 мкм).
• Хімічная інертнасць
  Устойлівасць да карозіі: устойлівая да кіслот (акрамя HF), шчолачаў і арганічных растваральнікаў, сумяшчальная з працэсам ачысткі CMP.
  Выдатная газанепранікальнасць: хуткасць уцечкі <5x10-10 Па·м3/с, падыходзіць для вакуумных і ахоўных газавых асяроддзяў.
• Доўгі тэрмін службы і рамонтапрыдатнасць
  Тэрмін службы ≥ 5000 цыклаў (нармальныя ўмовы працы), паверхню можна шматразова чысціць і выкарыстоўваць, што зніжае агульны кошт.
  Модульная канструкцыя: дазваляе частковую замену (напрыклад, аднаго зуба лодкі), што скарачае час прастою.

Мы прапануем як празрыстыя, так і матавыя паверхні ў адпаведнасці з патрабаваннямі кліента:

ТАА «Нінбо ВЕТ Энергетычныя тэхналогіі» — гэта высокатэхналагічнае прадпрыемства, якое спецыялізуецца на вытворчасці і продажы высакаякасных перадавых матэрыялаў, такіх як графіт, карбід крэмнію, кераміка, апрацоўка паверхняў, такая як пакрыццё SiC, пакрыццё TaC, пакрыццё са шкловугляроду, пакрыццё з піролітычнага вугляроду і г.д. Гэтыя прадукты шырока выкарыстоўваюцца ў фотаэлектрыцы, паўправадніках, новай энергетыцы, металургіі і г.д.

Наша тэхнічная каманда складаецца з вядучых айчынных навукова-даследчых устаноў і распрацавала мноства запатэнтаваных тэхналогій для забеспячэння прадукцыйнасці і якасці прадукцыі, а таксама можа прапанаваць кліентам прафесійныя рашэнні ў галіне матэрыялаў.