Discu di suscettore di wafer rivestitu di carburo di siliciu

Descrizzione corta:

U discu suscettore di wafer rivestitu di carburo di siliciu VET Energy hè un pruduttu d'alte prestazioni cuncipitu per furnisce prestazioni consistenti è affidabili per un periodu prolongatu. Hà una resistenza à u calore è uniformità termica super bona, alta purezza, resistenza à l'erosione, chì ne face a suluzione perfetta per l'applicazioni di trasfurmazione di wafer.


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U discu di wafer in carburo di siliciu hè un cumpunente chjave utilizatu in diversi prucessi di fabricazione di semiconduttori. Adupremu a nostra tecnulugia brevettata per fà u discu di carburo di siliciu più sicuru cù una purezza estremamente alta, una bona uniformità di rivestimentu è una eccellente durata di serviziu, è ancu proprietà di alta resistenza chimica è stabilità termica.

VET Energy hè u veru fabricatore di prudutti persunalizati in grafite è carburo di siliciu cù diversi rivestimenti cum'è SiC, TaC, carbone piroliticu, carbone vetrosu, ecc., pò furnisce diverse parti persunalizate per l'industria di semiconduttori è fotovoltaica. A nostra squadra tecnica vene da e migliori istituzioni di ricerca naziunali, pò furnisce suluzioni di materiali più prufessiunali per voi.

Sviluppemu continuamente prucessi avanzati per furnisce materiali più avanzati, è avemu elaboratu una tecnulugia brevettata esclusiva, chì pò fà chì u ligame trà u rivestimentu è u substratu sia più strettu è menu propensu à u distaccu.

Fcaratteristiche di i nostri prudutti:

1. Resistenza à l'ossidazione à alta temperatura finu à 1700.
2. Alta purezza èuniformità termica
3. Eccellente resistenza à a currusione: acidi, alcali, sali è reagenti organici.
4. Alta durezza, superficia compacta, particelle fini.
5. Vita di serviziu più longa è più durevule

CVD SiC薄膜基本物理性能

Proprietà fisiche basiche di CVD SiCrivestimentu

性质 / Pruprietà

典型数值 / Valore Tipicu

晶体结构 / Struttura Cristallina

Fase β di a FCC多晶,主要为(111)取向

密度 / Densità

3,21 g/cm³

硬度 / Durezza

2500 维氏硬度(500g di carica)

晶粒大小 / Grana

2~10μm

纯度 / Purità chimica

99,99995%

热容 / Capacità termica

640 J·kg-1·K-1

升华温度 / Temperatura di sublimazione

2700 ℃

抗弯强度 / Resistenza à a flessione

415 MPa RT à 4 punti

杨氏模量 Modulu di Young

Curvatura 430 Gpa 4pt, 1300℃

导热系数 / ThermalCunduttività

300W·m-1·K-1

热膨胀系数 / Dilatazione Termica (CTE)

4,5 × 10-6K-1

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Vi benvenuti à visità a nostra fabbrica, parlemu più in dettagliu!

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