Дисковый токоприемник с покрытием из карбида кремния

Краткое описание:

Дисковый токоприемник пластины с покрытием из карбида кремния VET Energy — это высокопроизводительный продукт, разработанный для обеспечения стабильной и надежной работы в течение длительного периода. Он обладает очень хорошей термостойкостью и тепловой однородностью, высокой чистотой, эрозионной стойкостью, что делает его идеальным решением для обработки пластин.


Подробности продукта

Теги продукта

Диск из карбида кремния является ключевым компонентом, используемым в различных процессах производства полупроводников. Мы используем нашу запатентованную технологию, чтобы сделать диск из карбида кремния более безопасным, с чрезвычайно высокой чистотой, хорошей однородностью покрытия и превосходным сроком службы, а также с высокими свойствами химической стойкости и термической стабильности.

VET Energy — настоящий производитель индивидуальных графитовых и карбидкремниевых изделий с различными покрытиями, такими как SiC, TaC, пиролитический углерод, стеклоуглерод и т. д., может поставлять различные индивидуальные детали для полупроводниковой и фотоэлектрической промышленности. Наша техническая команда состоит из ведущих отечественных научно-исследовательских институтов, может предоставить вам более профессиональные решения по материалам.

Мы постоянно разрабатываем передовые процессы для производства более совершенных материалов и разработали эксклюзивную запатентованную технологию, которая позволяет сделать связь между покрытием и подложкой более прочной и менее подверженной отслоению.

FОсобенности нашей продукции:

1. Стойкость к высокотемпературному окислению до 1700°С..
2. Высокая чистота итепловая однородность
3. Отличная коррозионная стойкость: кислоты, щелочи, соли и органические реагенты.
4. Высокая твердость, плотная поверхность, мелкие частицы.
5. Более длительный срок службы и большая прочность

ССЗ SiC薄膜基本物理性能

Основные физические свойства CVD SiCпокрытие

性质 / Свойство

典型数值 / Типичное значение

晶体结构 / Кристаллическая структура

FCC β фаза多晶,主要为(111)取向

密度 / Плотность

3,21 г/см³

硬度 / Твёрдость

2500 维氏硬度 (загрузка 500 г)

晶粒大小 / Размер зерна

2~10мкм

纯度 / Химическая чистота

99,99995%

热容 / Теплоемкость

640 Дж·кг-1·К-1

升华温度 / Температура сублимации

2700℃

抗弯强度 / Прочность на изгиб

415 МПа RT 4-точечный

杨氏模量 / Модуль Юнга

430 ГПа 4-точечный изгиб, 1300℃

导热系数 / ТермалПроводимость

300Вт·м-1·К-1

热膨胀系数 / Тепловое расширение (КТР)

4,5×10-6K-1

1

2

Приглашаем Вас посетить наш завод и обсудить детали!

研发团队

 

生产设备

 

公司客户


  • Предыдущий:
  • Следующий:

  • Онлайн-чат WhatsApp!