Mit Siliziumkarbid beschichtete Wafer-Suszeptorscheibe

Siliziumkarbidbeschichtete Wafer-Suszeptorscheibe – Ausgewähltes Bild

Kurze Beschreibung:

Die mit Siliziumkarbid beschichtete Wafersuszeptorscheibe von VET Energy ist ein Hochleistungsprodukt, das für eine konstante und zuverlässige Leistung über einen langen Zeitraum entwickelt wurde. Sie zeichnet sich durch hervorragende Hitzebeständigkeit und thermische Gleichmäßigkeit, hohe Reinheit und Erosionsbeständigkeit aus und ist damit die perfekte Lösung für die Waferverarbeitung.

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Produktdetail

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Siliziumkarbid-Waferscheiben sind eine Schlüsselkomponente in verschiedenen Halbleiterherstellungsprozessen. Wir verwenden unsere patentierte Technologie, um sicherere Siliziumkarbidscheiben mit extrem hoher Reinheit, guter Beschichtungsgleichmäßigkeit und ausgezeichneter Lebensdauer sowie hoher chemischer Beständigkeit und thermischer Stabilität herzustellen.

VET Energy ist der führende Hersteller maßgeschneiderter Graphit- und Siliziumkarbidprodukte mit verschiedenen Beschichtungen wie SiC, TaC, pyrolytischem Kohlenstoff, Glaskohlenstoff usw. und liefert kundenspezifische Teile für die Halbleiter- und Photovoltaikindustrie. Unser technisches Team stammt aus führenden inländischen Forschungseinrichtungen und bietet Ihnen professionelle Materiallösungen.

Wir entwickeln kontinuierlich fortschrittliche Prozesse, um noch fortschrittlichere Materialien bereitzustellen, und haben eine exklusive patentierte Technologie entwickelt, die die Bindung zwischen der Beschichtung und dem Substrat fester und weniger anfällig für Ablösungen machen kann.

FEigenschaften unserer Produkte:

1. Hohe Temperatur-Oxidationsbeständigkeit bis zu 1700℃.
2. Hohe Reinheit undthermische Gleichmäßigkeit
3. Hervorragende Korrosionsbeständigkeit: Säure, Lauge, Salz und organische Reagenzien.
4. Hohe Härte, kompakte Oberfläche, feine Partikel.
5. Längere Lebensdauer und langlebiger

Herz-Kreislauf-Erkrankungen SiC薄膜基本物理性能 Grundlegende physikalische Eigenschaften von CVD-SiCBeschichtung
性质 / Eigentum	典型数值 / Typischer Wert
晶体结构 / Kristallstruktur	FCC-β-Phase多晶, 主要为（111）取向
密度 / Dichte	3,21 g/cm³
硬度 / Härte	2500 U/min (500 g Ladung)
晶粒大小 / Korngröße	2 bis 10 μm
纯度 / Chemische Reinheit	99,99995 %
热容 / Wärmekapazität	640 J·kg^-1·K^-1
升华温度 / Sublimationstemperatur	2700℃
抗弯强度 / Biegefestigkeit	415 MPa RT 4-Punkt
杨氏模量 / Elastizitätsmodul	430 Gpa 4pt Biegung, 1300℃
导热系数 / ThermalLeitfähigkeit	300 W·m^-1·K^-1
热膨胀系数 / Wärmeausdehnung (CTE)	4,5 × 10^-6K^-1