Silicio karbidu dengtas plokštelinis susceptoriaus diskas

Trumpas aprašymas:

„VET Energy“ silicio karbidu dengtas plokštelių susceptoriaus diskas yra aukštos kokybės produktas, skirtas užtikrinti pastovų ir patikimą veikimą ilgą laiką. Jis pasižymi itin geru atsparumu karščiui ir terminiu vienodumu, dideliu grynumu, atsparumu erozijai, todėl tai puikus sprendimas plokštelių apdorojimo reikmėms.


Produkto informacija

Produkto žymės

Silicio karbido plokštelinis diskas yra pagrindinis komponentas, naudojamas įvairiuose puslaidininkių gamybos procesuose. Mes naudojame savo patentuotą technologiją, kad pagamintume saugesnį silicio karbido diską, pasižymintį itin dideliu grynumu, geru dangos tolygumu ir puikiu tarnavimo laiku, taip pat dideliu atsparumu cheminėms medžiagoms ir terminiu stabilumu.

„VET Energy“ yra tikras individualiai pritaikytų grafito ir silicio karbido gaminių su įvairiomis dangomis, tokiomis kaip SiC, TaC, pirolizės anglis, stiklo anglis ir kt., gamintojas, galintis tiekti įvairias individualiai pritaikytas dalis puslaidininkių ir fotovoltinių elementų pramonei. Mūsų techninė komanda sudaryta iš geriausių šalies mokslinių tyrimų institucijų, galinti pasiūlyti jums profesionalesnius medžiagų sprendimus.

Nuolat tobuliname pažangius procesus, kad galėtume tiekti pažangesnes medžiagas, ir sukūrėme išskirtinę patentuotą technologiją, kuri gali sustiprinti dangos ir pagrindo sukibimą ir sumažinti jautrumą atsiskyrimui.

Fmūsų gaminių savybės:

1. Aukštos temperatūros oksidacijos atsparumas iki 1700.
2. Didelis grynumas irterminis vienodumas
3. Puikus atsparumas korozijai: rūgštims, šarmams, druskoms ir organiniams reagentams.
4. Didelis kietumas, kompaktiškas paviršius, smulkios dalelės.
5. Ilgesnis tarnavimo laikas ir patvaresnis

ŠSD SiC薄膜基本物理性能

Pagrindinės CVD SiC fizinės savybėsdanga

性质 / Nekilnojamasis turtas

典型数值 / Tipinė vertė

晶体结构 / Kristalų struktūra

FCC β fazė多晶,主要为(111)取向

密度 Tankis

3,21 g/cm³

硬度 / Kietumas

2500 维氏硬度 (500 g apkrova)

晶粒大小 Grūdų dydis

2–10 μm

纯度 / Cheminis grynumas

99,99995%

热容 / Šilumos talpa

640 J·kg-1·K-1

升华温度 / Sublimacijos temperatūra

2700 ℃

抗弯强度 / Lenkimo stipris

415 MPa RT 4 taškų

杨氏模量 / Youngo modulis

430 Gpa 4pt lenkimas, 1300 ℃

导热系数 / TermalLaidumas

300 W·m-1·K-1

热膨胀系数 / Šiluminis plėtimasis (CTE)

4,5 × 10-6K-1

1

2

Nuoširdžiai kviečiame apsilankyti mūsų gamykloje, aptarkime daugiau!

研发团队

 

生产设备

 

公司客户


  • Ankstesnis:
  • Toliau:

  • „WhatsApp“ internetinis pokalbis!