Cakram Susceptor Wafer Dilapisi Silikon Karbida

Katrangan Cekak:

Cakram susceptor wafer dilapisi silikon karbida VET Energy minangka produk kinerja dhuwur sing dirancang kanggo nyedhiyakake kinerja sing konsisten lan dipercaya sajrone wektu sing suwe. Cakram iki nduweni tahan panas lan keseragaman termal sing super apik, kemurnian dhuwur, tahan erosi, saengga dadi solusi sing sampurna kanggo aplikasi pangolahan wafer.

Kirim email menyang kita Unduh minangka PDF

Rincian Produk

Tag Produk

Cakram Wafer Silikon Karbida minangka komponen kunci sing digunakake ing macem-macem proses manufaktur semikonduktor. Kita nggunakake teknologi sing dipatenake kanggo nggawe cakram silikon karbida luwih aman kanthi kemurnian sing dhuwur banget, keseragaman lapisan sing apik lan umur layanan sing apik banget, uga tahan kimia lan sifat stabilitas termal sing dhuwur.

VET Energy minangka produsen asli produk grafit lan silikon karbida khusus kanthi lapisan sing beda-beda kaya SiC, TaC, karbon pirolitik, karbon kaca, lan liya-liyane, bisa nyedhiyakake macem-macem bagean khusus kanggo industri semikonduktor lan fotovoltaik. Tim teknis kita asale saka lembaga riset domestik paling dhuwur, bisa nyedhiyakake solusi material sing luwih profesional kanggo sampeyan.

Kita terus-terusan ngembangake proses canggih kanggo nyedhiyakake bahan sing luwih canggih, lan wis nggarap teknologi sing dipatenake eksklusif, sing bisa nggawe ikatan antarane lapisan lan substrat luwih kenceng lan ora gampang copot.

FFitur-fitur produk kita:

1. Tahan oksidasi suhu dhuwur nganti 1700℃.
2. Kemurnian dhuwur lankeseragaman termal
3. Resistensi korosi sing apik banget: reagen asam, alkali, uyah lan organik.
4. Kekerasan dhuwur, permukaan kompak, partikel alus.
5. Umur layanan luwih dawa lan luwih awet

CVD (Kerusakan Jantung) SiC薄膜基本物理性能 Sifat fisik dhasar CVD SiClapisan
性质 / Properti	典型数值 / Nilai Khas
晶体结构 / Struktur Kristal	Fase β FCC多晶，主要为（111）取向
密度 Kapadhetan	3,21 g/cm³
硬度 / Kekerasan	2500 维氏硬度（500g beban）
晶粒大小 / Ukuran Gandum	2 ~ 10μm
纯度 / Kemurnian Kimia	99.99995%
热容 Kapasitas Panas	640 J·kg^-1·K^-1
升华温度 / Suhu Sublimasi	2700℃
抗弯强度 / Kekuwatan Fleksibel	415 MPa RT 4-titik
杨氏模量 / Modulus Young	430 Gpa 4pt tikungan, 1300℃
导热系数 / TermalKonduktivitas	300W·m^-1·K^-1
热膨胀系数 / Ekspansi Termal (CTE)	4.5×10^-6K^-1