Siliziumkarbidbeschichtete Wafer-Susceptor-Disc

Kuerz Beschreiwung:

D'VET Energy Siliziumkarbid-beschichtete Wafer-Susceptor-Scheif ass e performant Produkt, dat entwéckelt gouf fir eng konsequent a verlässlech Leeschtung iwwer eng länger Zäit ze bidden. Si huet eng super gutt Hëtztbeständegkeet an thermesch Uniformitéit, eng héich Rengheet an eng Erosiounsbeständegkeet, wat se zur perfekter Léisung fir Waferveraarbechtungsapplikatioune mécht.


Produktdetailer

Produkt Tags

Siliziumkarbid-Waferscheiwen sinn e Schlësselbestanddeel, deen a verschiddene Prozesser vun der Hallefleederherstellung benotzt gëtt. Mir benotzen eis patentéiert Technologie, fir d'Siliziumkarbid-Scheif mat extrem héijer Rengheet, gudder Beschichtungsuniformitéit an enger exzellenter Liewensdauer, souwéi héijer chemescher Resistenz an thermescher Stabilitéit ze maachen.

VET Energy ass den eigentleche Produzent vu personaliséierte Graphit- a Siliziumkarbidprodukter mat verschiddene Beschichtungen wéi SiC, TaC, pyrolytesche Kuelestoff, Glaskuelestoff, etc., a kann verschidden personaliséiert Deeler fir d'Hallefleeder- a Photovoltaikindustrie liwweren. Eis technesch Equipe kënnt aus féierende nationale Fuerschungsinstituter a kann Iech méi professionell Materialléisungen ubidden.

Mir entwéckelen kontinuéierlech fortgeschratt Prozesser fir méi fortgeschratt Materialien ze liwweren, an hunn eng exklusiv patentéiert Technologie entwéckelt, déi d'Verbindung tëscht der Beschichtung an dem Substrat méi enk a manner ufälleg fir Ofléisen mécht.

FEegeschafte vun eise Produkter:

1. Héichtemperatur-Oxidatiounsbeständegkeet bis zu 1700.
2. Héich Rengheet anthermesch Uniformitéit
3. Excellent Korrosiounsbeständegkeet: Säure, Alkali, Salz an organesch Reagenzien.
4. Héich Härkeet, kompakt Uewerfläch, fein Partikelen.
5. Méi laang Liewensdauer a méi haltbar

CVD SiC薄膜基本物理性能

Basis physikalesch Eegeschafte vu CVD SiCBeschichtung

性质 / Immobilie

典型数值 / Typesche Wäert

晶体结构 / Kristallstruktur

FCC β Phase多晶,主要为(111) 取向

密度 / Dicht

3,21 g/cm³

硬度 / Häert

2500 维氏硬度(500g Belaaschtung)

晶粒大小 / Kärengréisst

2~10μm

纯度 / Chemesch Rengheet

99,99995%

热容 / Hëtztkapazitéit

640 J·kg-1·K-1

升华温度 / Sublimatiounstemperatur

2700℃

抗弯强度 / Biegfestigkeit

415 MPa RT 4-Punkt

杨氏模量 / Young säi Modul

430 Gpa 4pt Bieg, 1300℃

导热系数 / ThermalKonduktivitéit

300W·m-1·K-1

热膨胀系数 / Thermesch Expansioun (CTE)

4,5×10-6K-1

1

2

Mir wëllkomm Iech häerzlech wëllkomm fir eis Fabréck ze besichen, loosst eis weider diskutéieren!

研发团队

 

生产设备

 

公司客户


  • Virdrun:
  • Weider:

  • WhatsApp Online Chat!