Disque suscepteur de plaquette revêtu de carbure de silicium

Brève description :

Le disque suscepteur de plaquettes revêtu de carbure de silicium VET Energy est un produit haute performance conçu pour offrir des performances constantes et fiables sur une longue période. Il présente une excellente résistance à la chaleur et une excellente uniformité thermique, une grande pureté et une résistance à l'érosion, ce qui en fait la solution idéale pour les applications de traitement de plaquettes.


Détails du produit

Étiquettes de produit

Le disque de plaquette en carbure de silicium est un composant clé utilisé dans divers processus de fabrication de semi-conducteurs. Nous utilisons notre technologie brevetée pour rendre le disque en carbure de silicium plus sûr avec une pureté extrêmement élevée, une bonne uniformité de revêtement et une excellente durée de vie, ainsi que des propriétés de résistance chimique et de stabilité thermique élevées.

VET Energy est un fabricant de produits sur mesure en graphite et carbure de silicium avec différents revêtements (SiC, TaC, carbone pyrolytique, carbone vitreux, etc.). Nous pouvons fournir diverses pièces sur mesure pour les industries des semi-conducteurs et du photovoltaïque. Notre équipe technique, issue des meilleurs instituts de recherche nationaux, peut vous proposer des solutions de matériaux plus professionnelles.

Nous développons continuellement des procédés avancés pour fournir des matériaux plus avancés et avons mis au point une technologie brevetée exclusive, qui peut rendre la liaison entre le revêtement et le substrat plus étroite et moins sujette au détachement.

Fcaractéristiques de nos produits :

1. Résistance à l'oxydation à haute température jusqu'à 1700°C.
2. Haute pureté etuniformité thermique
3. Excellente résistance à la corrosion : acides, alcalis, sels et réactifs organiques.
4. Dureté élevée, surface compacte, particules fines.
5. Durée de vie plus longue et plus durable

maladies cardiovasculaires SiC薄膜基本物理性能

Propriétés physiques de base du SiC CVDrevêtement

性质 / Propriété

典型数值 / Valeur typique

晶体结构 / Structure cristalline

Phase β du FCC多晶,主要为(111)

密度 / Densité

3,21 g/cm³

硬度 / Dureté

2 500 维氏硬度 (charge de 500 g)

晶粒大小 / Granulométrie

2 à 10 μm

纯度 / Pureté chimique

99,99995%

热容 / Capacité thermique

640 J·kg-1·K-1

升华温度 / Température de sublimation

2700℃

抗弯强度 / Résistance à la flexion

415 MPa RT 4 points

杨氏模量 / Module de Young

430 Gpa 4pt courbé, 1300℃

导热系数 / ThermalConductivité

300 W·m-1·K-1

热膨胀系数 / Dilatation thermique (CTE)

4,5 × 10-6K-1

1

2

Nous vous invitons chaleureusement à visiter notre usine, discutons-en davantage !

研发团队

 

生产设备

 

公司客户


  • Précédent:
  • Suivant:

  • Chat en ligne WhatsApp !