Diska tas-Susċettur tal-Wafer Miksija bil-Karbur tas-Silikon

Deskrizzjoni Qasira:

Id-diska susċettur tal-wejfer miksija bil-karbur tas-silikon VET Energy hija prodott ta' prestazzjoni għolja ddisinjat biex jipprovdi prestazzjoni konsistenti u affidabbli fuq perjodu estiż. Għandha reżistenza għas-sħana u uniformità termali super tajba, purità għolja, reżistenza għall-erożjoni, li tagħmilha s-soluzzjoni perfetta għal applikazzjonijiet tal-ipproċessar tal-wejfers.

Ibgħatilna email Niżżel bħala PDF

Dettalji tal-Prodott

Tikketti tal-Prodott

Id-Diska tal-Wafer tas-Silicon Carbide hija komponent ewlieni użat f'diversi proċessi tal-manifattura tas-semikondutturi. Aħna nużaw it-teknoloġija brevettata tagħna biex nagħmlu d-diska tas-silikon carbide aktar sigura b'purità għolja ħafna, uniformità tajba tal-kisi u ħajja ta' servizz eċċellenti, kif ukoll proprjetajiet ta' reżistenza kimika għolja u stabbiltà termali.

VET Energy huwa l-manifattur reali ta' prodotti personalizzati tal-grafita u l-karbur tas-silikon b'kisi differenti bħal SiC, TaC, karbonju pirolitiku, karbonju tal-ħġieġ, eċċ., jista' jipprovdi diversi partijiet personalizzati għall-industrija tas-semikondutturi u l-fotovoltajka. It-tim tekniku tagħna ġej minn istituzzjonijiet ta' riċerka domestiċi ewlenin, jista' jipprovdi soluzzjonijiet materjali aktar professjonali għalik.

Aħna niżviluppaw kontinwament proċessi avvanzati biex nipprovdu materjali aktar avvanzati, u ħdimna teknoloġija brevettata esklussiva, li tista' tagħmel it-twaħħil bejn il-kisi u s-sottostrat aktar issikkat u anqas suxxettibbli li jinqala'.

Fkaratteristiċi tal-prodotti tagħna:

1. Reżistenza għall-ossidazzjoni f'temperatura għolja sa 1700℃.
2. Purità għolja uuniformità termali
3. Reżistenza eċċellenti għall-korrużjoni: reaġenti aċidużi, alkali, melħ u organiċi.
4. Ebusija għolja, wiċċ kompatt, partiċelli fini.
5. Ħajja ta' servizz itwal u aktar durabbli

CVD SiC薄膜基本物理性能 Proprjetajiet fiżiċi bażiċi tas-CVD SiCkisi
性质 / Proprjetà	典型数值 / Valur Tipiku
晶体结构 / Struttura tal-Kristall	Fażi β tal-FCC多晶，主要为（111）取向
密度 / Densità	3.21 g/ċm³
硬度 / Ebusija	2500 维氏硬度（tagħbija ta' 500g）
晶粒大小 / Daqs tal-Qamħ	2~10μm
纯度 / Purità Kimika	99.99995%
热容 / Kapaċità tas-Sħana	640 J·kg^-1·K^-1
升华温度 / Temperatura tas-Sublimazzjoni	2700℃
抗弯强度 / Saħħa Flessurali	415 MPa RT 4 punti
杨氏模量 / Modulu ta' Young	430 Gpa 4pt liwja, 1300℃
导热系数 / TermalKonduttività	300W·m^-1·K^-1
热膨胀系数 / Espansjoni Termali (CTE)	4.5×10^-6K^-1