Susceptorový disk s povlakom z karbidu kremíka

Obrázok susceptora s povlakom z karbidu kremíka

Stručný popis:

Susceptorový disk na doštičky od spoločnosti VET Energy s povlakom z karbidu kremíka je vysoko výkonný produkt navrhnutý tak, aby poskytoval konzistentný a spoľahlivý výkon počas dlhého obdobia. Má vynikajúcu tepelnú odolnosť a tepelnú rovnomernosť, vysokú čistotu a odolnosť voči erózii, vďaka čomu je ideálnym riešením pre aplikácie spracovania doštičiek.

Pošlite nám e-mail Stiahnuť ako PDF

Detaily produktu

Značky produktov

Platnička z karbidu kremíka je kľúčovou súčasťou používanou v rôznych procesoch výroby polovodičov. Používame našu patentovanú technológiu na výrobu bezpečnejšieho disku z karbidu kremíka s extrémne vysokou čistotou, dobrou rovnomernosťou povlaku a vynikajúcou životnosťou, ako aj vysokou chemickou odolnosťou a tepelnou stabilitou.

Spoločnosť VET Energy je skutočným výrobcom zákazkových grafitových a karbidových produktov s rôznymi povlakmi ako SiC, TaC, pyrolytický uhlík, sklovitý uhlík atď., a môže dodať rôzne zákazkové diely pre polovodičový a fotovoltaický priemysel. Náš technický tím pochádza z popredných domácich výskumných inštitúcií a môže vám poskytnúť profesionálnejšie materiálové riešenia.

Neustále vyvíjame pokročilé procesy, aby sme poskytovali ešte zdokonalenejšie materiály, a vyvinuli sme exkluzívnu patentovanú technológiu, ktorá dokáže pevnejšie spojiť náter a podklad a znížiť jeho náchylnosť na oddeľovanie.

Fvlastnosti našich produktov:

1. Odolnosť voči oxidácii pri vysokých teplotách až do 1700℃.
2. Vysoká čistota atepelná rovnomernosť
3. Vynikajúca odolnosť proti korózii: kyseliny, zásady, soli a organické činidlá.
4. Vysoká tvrdosť, kompaktný povrch, jemné častice.
5. Dlhšia životnosť a odolnejšie

Kardiovaskulárne ochorenie (KVO) SiC薄膜基本物理性能 Základné fyzikálne vlastnosti CVD SiCnáter
性质 / Nehnuteľnosť	典型数值 / Typická hodnota
晶体结构 / Kryštálová štruktúra	FCC β fáza多晶，主要为（111）取向
密度 / Hustota	3,21 g/cm³
硬度 / Tvrdosť	2500 维氏硬度（500g náplň）
晶粒大小 / Veľkosť zrna	2~10μm
纯度 / Chemická čistota	99,99995 %
热容 / Tepelná kapacita	640 J·kg^-1·K^-1
升华温度 / Teplota sublimácie	2700 ℃
抗弯强度 / Pevnosť v ohybe	415 MPa RT 4-bodový
杨氏模量 Youngov modul pružnosti	430 Gpa, ohyb 4pt, 1300℃
导热系数 / TermalVodivosť	300 W·m^-1·K^-1
热膨胀系数 / Tepelná rozťažnosť (CTE)	4,5 × 10^-6K^-1