Cakram Suseptor Wafer Dilapis Silikon Karbida

Gambar Unggulan Cakram Susceptor Wafer Dilapisi Silikon Karbida

Pedaran Singkat:

Cakram susceptor wafer anu dilapis silikon karbida VET Energy mangrupikeun produk kinerja tinggi anu dirancang pikeun nyayogikeun kinerja anu konsisten sareng tiasa dipercaya salami waktos anu lami. Cakram ieu ngagaduhan résistansi panas sareng keseragaman termal anu super saé, kamurnian anu luhur, résistansi erosi, jantenkeun solusi anu sampurna pikeun aplikasi pamrosésan wafer.

Kirim email ka kami Unduh salaku PDF

Rincian Produk

Tag Produk

Cakram Wafer Silikon Karbida mangrupikeun komponén konci anu dianggo dina rupa-rupa prosés manufaktur semikonduktor. Kami nganggo téknologi anu dipatenkeun pikeun ngajantenkeun cakram silikon karbida langkung aman kalayan kamurnian anu luhur pisan, keseragaman palapis anu saé sareng umur jasa anu saé, ogé résistansi kimia sareng sipat stabilitas termal anu luhur.

VET Energy nyaéta produsén asli produk grafit sareng silikon karbida khusus kalayan lapisan anu béda-béda sapertos SiC, TaC, karbon pirolitik, karbon kaca, jsb., tiasa nyayogikeun rupa-rupa suku cadang khusus pikeun industri semikonduktor sareng fotovoltaik. Tim téknis kami asalna ti lembaga panalungtikan domestik top, tiasa nyayogikeun solusi bahan anu langkung profésional pikeun anjeun.

Kami terus-terusan ngembangkeun prosés canggih pikeun nyayogikeun bahan anu langkung canggih, sareng parantos ngadamel téknologi anu dipatenkeun sacara éksklusif, anu tiasa ngajantenkeun beungkeutan antara palapis sareng substrat langkung pageuh sareng kirang rentan leupas.

Fciri-ciri produk kami:

1. Résistansi oksidasi suhu luhur nepi ka 1700℃.
2. Kamurnian anu luhur sarengkeseragaman termal
3. Résistansi korosi anu saé pisan: réagen asam, alkali, uyah sareng organik.
4. Karasa luhur, permukaan kompak, partikel anu lemes.
5. Umur layanan anu langkung lami sareng langkung awét

CVD (Panyakit Jantung jeung Lambung) SiC薄膜基本物理性能 Sipat fisik dasar CVD SiCpalapis
性质 / Harta	典型数值 / Nilai Khas
晶体结构 / Struktur Kristal	Fase β FCC多晶，主要为（111）取向
密度 / Kapadetan	3,21 g/cm³
硬度 / Karasa	2500 维氏硬度（500g beban）
晶粒大小 / Ukuran Gandum	2 ~ 10μm
纯度 / Kamurnian Kimia	99.99995%
热容 / Kapasitas Panas	640 J·kg^-1·K^-1
升华温度 / Suhu Sublimasi	2700℃
抗弯强度 / Kakuatan Fleksibel	415 MPa RT 4-titik
杨氏模量 / Modulus Young	430 Gpa 4pt tikungan, 1300℃
导热系数 / TermalKonduktivitas	300W·m^-1·K^-1
热膨胀系数 / Ékspansi Termal (CTE)	4.5×10^-6K^-1