Susceptorski disk pločice obložen silicijum-karbidom

Kratak opis:

VET Energy susceptorski disk pločice obložen silicijum-karbidom je visokoperformansni proizvod dizajniran da pruži konzistentne i pouzdane performanse tokom dužeg perioda. Ima super dobru otpornost na toplotu i termičku ujednačenost, visoku čistoću i otpornost na eroziju, što ga čini savršenim rješenjem za primjene u obradi pločica.


Detalji proizvoda

Oznake proizvoda

Silicijum karbidni disk je ključna komponenta koja se koristi u raznim procesima proizvodnje poluprovodnika. Koristimo našu patentiranu tehnologiju kako bismo napravili silicijum karbidni disk sigurnijim sa izuzetno visokom čistoćom, dobrom ujednačenošću premaza i odličnim vijekom trajanja, kao i visokom hemijskom otpornošću i termičkom stabilnošću.

VET Energy je pravi proizvođač prilagođenih proizvoda od grafita i silicijum karbida s različitim premazima poput SiC, TaC, pirolitičkog ugljika, staklastog ugljika itd., koji može isporučiti razne prilagođene dijelove za poluprovodničku i fotonaponsku industriju. Naš tehnički tim dolazi iz vodećih domaćih istraživačkih institucija i može vam pružiti profesionalnija rješenja za materijale.

Neprestano razvijamo napredne procese kako bismo obezbijedili još naprednije materijale i razvili smo ekskluzivnu patentiranu tehnologiju koja može učiniti vezu između premaza i podloge čvršćom i manje sklonom odvajanju.

Fkarakteristike naših proizvoda:

1. Otpornost na oksidaciju na visokim temperaturama do 1700.
2. Visoka čistoća itermička ujednačenost
3. Odlična otpornost na koroziju: kiseline, alkalije, soli i organski reagensi.
4. Visoka tvrdoća, kompaktna površina, fine čestice.
5. Duži vijek trajanja i izdržljiviji

KVB SiC薄膜基本物理性能

Osnovna fizička svojstva CVD SiC-apremaz

性质 / Nekretnina

典型数值 / Tipična vrijednost

晶体结构 / Kristalna struktura

FCC β faza多晶,主要为(111)取向

密度 / Gustoća

3,21 g/cm³

硬度 / Tvrdoća

2500 维氏硬度 (500g opterećenje)

晶粒大小 / Veličina zrna

2~10μm

纯度 / Hemijska čistoća

99,99995%

热容 / Toplotni kapacitet

640 J·kg-1·K-1

升华温度 / Temperatura sublimacije

2700℃

抗弯强度 / Čvrstoća na savijanje

415 MPa RT 4-tačkasti

杨氏模量 Youngov modul

430 Gpa savijanje od 4pt, 1300℃

导热系数 / TermalProvodljivost

300 W·m-1·K-1

热膨胀系数 / Termičko širenje (CTE)

4,5×10-6K-1

1

2

Srdačno vas pozdravljamo da posjetite našu fabriku, hajde da dalje razgovaramo!

研发团队

 

生产设备

 

公司客户


  • Prethodno:
  • Sljedeće:

  • Online chat putem WhatsApp-a!