실리콘 카바이드 웨이퍼 디스크는 다양한 반도체 제조 공정에 사용되는 핵심 부품입니다. 당사는 특허 기술을 활용하여 매우 높은 순도, 우수한 코팅 균일성, 뛰어난 수명은 물론 높은 내화학성 및 열 안정성을 갖춘 더욱 안전한 실리콘 카바이드 디스크를 생산합니다.
VET Energy는 SiC, TaC, 열분해 탄소, 유리질 탄소 등 다양한 코팅이 적용된 맞춤형 흑연 및 탄화규소 제품을 생산하는 전문 제조업체로서, 반도체 및 태양광 산업에 필요한 다양한 맞춤형 부품을 공급할 수 있습니다. 당사의 기술팀은 국내 최고 연구기관 출신으로 구성되어 있으며, 더욱 전문적인 소재 솔루션을 제공합니다.
당사는 더욱 우수한 소재를 제공하기 위해 첨단 공정을 지속적으로 개발해 왔으며, 코팅과 기판 사이의 접착력을 강화하고 박리 가능성을 줄이는 독자적인 특허 기술을 개발했습니다.
F저희 제품의 특징:
1. 최대 1700℃의 고온 산화 저항성℃.
2. 높은 순도 및열 균일성
3. 뛰어난 내식성: 산, 알칼리, 염 및 유기 시약에 강함.
4. 높은 경도, 치밀한 표면, 미세한 입자.
5. 더 긴 수명과 뛰어난 내구성
| 심혈관 질환 SiC薄膜基本식물리성能 CVD SiC의 기본 물리적 특성코팅 | |
| 성별 / 재산 | 典型数值 / 일반적인 값 |
| 晶体结构 결정 구조 | FCC β상多晶，主要为（111) 取向 |
| 크기 / 밀도 | 3.21 g/cm³ |
| 정도 경도 | 2500 维氏硬도(500g 부하) |
| 晶粒大小 / 곡물 크기 | 2~10μm |
| 정도 화학적 순도 | 99.99995% |
| 발열 / 열용량 | 640 J·kg-1·케이-1 |
| 升华温도 승화 온도 | 2700℃ |
| 抗弯强島 굽힘 강도 | 415 MPa RT 4점 |
| 杨氏模량 / 영률 | 430 Gpa 4점 굽힘, 1300℃ |
| 导熭系数 / 써마엘전도도 | 300W·m-1·케이-1 |
| 热膨胀系数 열팽창(CTE) | 4.5×10-6K-1 |
저희 공장 방문을 진심으로 환영합니다! 더 자세한 이야기를 나눠보도록 하겠습니다.
