실리콘 카바이드 웨이퍼 디스크는 다양한 반도체 제조 공정에 사용되는 핵심 구성 요소입니다. 당사는 특허 기술을 사용하여 매우 높은 순도, 양호한 코팅 균일성, 우수한 사용 수명은 물론 높은 내화학성 및 열 안정성 특성을 갖춘 안전한 실리콘 카바이드 디스크를 만들고 있습니다.
VET 에너지는 SiC, TaC, 열분해 탄소, 유리질 탄소 등 다양한 코팅을 적용한 맞춤형 흑연 및 탄화규소 제품을 생산하는 진정한 제조업체입니다. 반도체 및 태양광 산업에 필요한 다양한 맞춤형 부품을 공급할 수 있습니다. 국내 유수의 연구 기관 출신으로 구성된 기술팀은 고객에게 더욱 전문적인 소재 솔루션을 제공합니다.
당사는 더욱 진보된 소재를 제공하기 위해 끊임없이 첨단 공정을 개발하고 있으며, 코팅과 기질 사이의 결합을 더욱 단단하게 하고 분리 가능성을 낮추는 독점적인 특허 기술을 개발했습니다.
F우리 제품의 특징:
1. 최대 1700도 고온 산화 저항성섭씨.
2. 고순도 및열 균일성
3. 우수한 내식성: 산, 알칼리, 소금 및 유기 시약.
4. 경도가 높고, 표면이 치밀하며, 입자가 미세합니다.
5. 더 긴 서비스 수명과 더 내구성이 뛰어납니다.
| CVD SiC薄膜基本식물리성能 CVD SiC의 기본 물리적 특성코팅 | |
| 성별 / 재산 | 典型数值 / 일반적인 값 |
| 晶体结构 / 결정 구조 | FCC β상多晶，主要为（111) 取向 |
| 크기 / 밀도 | 3.21g/cm³ |
| 정도 / 경도 | 2500 维氏硬도(500g 부하) |
| 晶粒大小 / 입자 크기 | 2~10㎛ |
| 정도 / 화학적 순도 | 99.99995% |
| 발열 / 열용량 | 640 J·kg-1·케이-1 |
| 升华温도 / 승화 온도 | 2700℃ |
| 抗弯强島 / 굽힘 강도 | 415 MPa RT 4점 |
| 杨氏模량 / 영률 | 430 Gpa 4pt 굽힘, 1300℃ |
| 导熭系数 / 테르마엘전도도 | 300W·m-1·케이-1 |
| 热膨胀系数 / 열팽창(CTE) | 4.5×10-6K-1 |
우리 공장을 방문해 주셔서 진심으로 환영합니다. 더 자세한 이야기를 나눠보도록 하겠습니다!
