Disco suscettore per wafer rivestito in carburo di silicio

Breve descrizione:

Il disco suscettore per wafer rivestito in carburo di silicio di VET Energy è un prodotto ad alte prestazioni, progettato per fornire prestazioni costanti e affidabili per un periodo prolungato. Presenta un'eccellente resistenza al calore e uniformità termica, elevata purezza e resistenza all'erosione, che lo rendono la soluzione perfetta per le applicazioni di lavorazione dei wafer.


Dettagli del prodotto

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Il disco wafer in carburo di silicio è un componente fondamentale utilizzato in vari processi di produzione di semiconduttori. Utilizziamo la nostra tecnologia brevettata per realizzare dischi in carburo di silicio più sicuri, con purezza estremamente elevata, buona uniformità del rivestimento e un'eccellente durata, nonché elevate proprietà di resistenza chimica e stabilità termica.

VET Energy è il produttore leader di prodotti in grafite e carburo di silicio personalizzati con diversi rivestimenti come SiC, TaC, carbonio pirolitico, carbonio vetroso, ecc., ed è in grado di fornire una varietà di componenti personalizzati per l'industria dei semiconduttori e del fotovoltaico. Il nostro team tecnico proviene dai migliori istituti di ricerca nazionali ed è in grado di offrirvi soluzioni di materiali altamente professionali.

Sviluppiamo costantemente processi avanzati per fornire materiali ancora più avanzati e abbiamo elaborato una tecnologia brevettata esclusiva in grado di rendere l'adesione tra il rivestimento e il substrato più salda e meno soggetta a distacco.

Fcaratteristiche dei nostri prodotti:

1. Resistenza all'ossidazione ad alta temperatura fino a 1700°C.
2. Elevata purezza euniformità termica
3. Eccellente resistenza alla corrosione: acidi, alcali, sale e reagenti organici.
4. Elevata durezza, superficie compatta, particelle fini.
5. Maggiore durata e resistenza

malattie cardiovascolari SiC薄膜基本物理性能

Proprietà fisiche di base del SiC CVDrivestimento

性质 / Proprietà

典型数值 / Valore tipico

晶体结构 / Struttura cristallina

Fase β FCC多晶,主要为(111)取向

密度 / Densità

3,21 g/cm³

硬度 / Durezza

2500 tonnellate di carico (carico da 500 g)

晶粒大小 / Granulometria

2~10μm

纯度 / Purezza chimica

99,99995%

热容 / Capacità termica

640 J·kg-1·K-1

升华温度 / Temperatura di sublimazione

2700℃

抗弯强度 / Resistenza alla flessione

415 MPa RT 4 punti

杨氏模量 / Modulo di Young

430 Gpa 4pt curva, 1300℃

导热系数 / ThermalConduttività

300W·m-1·K-1

热膨胀系数 / Espansione termica (CTE)

4,5×10-6K-1

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Vi invitiamo calorosamente a visitare la nostra fabbrica, per approfondire la questione!

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