Dysk susceptorowy wafla powlekanego węglikiem krzemu

Dysk susceptorowy płytki pokrytej węglikiem krzemu (obraz główny)

Krótki opis:

Dysk susceptorowy VET Energy pokryty węglikiem krzemu to produkt o wysokiej wydajności, zaprojektowany z myślą o zapewnieniu stałej i niezawodnej pracy przez długi czas. Charakteryzuje się bardzo dobrą odpornością na ciepło i jednorodnością termiczną, wysoką czystością i odpornością na erozję, co czyni go idealnym rozwiązaniem do zastosowań w obróbce płytek półprzewodnikowych.

Wyślij do nas e-mail Pobierz jako PDF

Szczegóły produktu

Tagi produktów

Dysk z węglika krzemu to kluczowy komponent stosowany w różnych procesach produkcji półprzewodników. Wykorzystujemy naszą opatentowaną technologię, aby wytwarzać bezpieczniejsze dyski z węglika krzemu o wyjątkowo wysokiej czystości, dobrej jednorodności powłoki i doskonałej żywotności, a także wysokiej odporności chemicznej i stabilności termicznej.

VET Energy to prawdziwy producent niestandardowych produktów z grafitu i węglika krzemu z różnymi powłokami, takimi jak SiC, TaC, węgiel pirolityczny, węgiel szklisty itp., oferujący szeroki zakres niestandardowych części dla przemysłu półprzewodnikowego i fotowoltaicznego. Nasz zespół techniczny wywodzi się z czołowych krajowych instytutów badawczych i może zapewnić Państwu bardziej profesjonalne rozwiązania materiałowe.

Nieustannie udoskonalamy zaawansowane procesy, aby dostarczać coraz lepsze materiały. Opracowaliśmy również opatentowaną technologię, która sprawia, że wiązanie między powłoką a podłożem jest silniejsze i mniej podatne na odrywanie.

FCechy naszych produktów:

1. Odporność na utlenianie w wysokiej temperaturze do 1700℃.
2. Wysoka czystość ijednorodność termiczna
3. Doskonała odporność na korozję: kwasy, zasady, sole i odczynniki organiczne.
4. Wysoka twardość, zwarta powierzchnia, drobne cząsteczki.
5. Dłuższa żywotność i większa trwałość

CVD SiC薄膜基本物理性能 Podstawowe właściwości fizyczne SiC CVDpowłoka
性质 / Nieruchomość	典型数值 / Wartość typowa
晶体结构 / Struktura kryształu	Faza β FCC多晶, 主要为 (111) 取向
密度 / Gęstość	3,21 g/cm³
硬度 / Twardość	2500 维氏硬度 (ładunek 500g)
晶粒大小 / Rozmiar ziarna	2~10μm
纯度 / Czystość chemiczna	99,99995%
热容 / Pojemność cieplna	640 J·kg^-1·K^-1
升华温度 / Temperatura sublimacji	2700℃
抗弯强度 / Wytrzymałość na zginanie	415 MPa RT 4-punktowy
杨氏模量 / Moduł Younga	430 Gpa 4-punktowe zgięcie, 1300℃
导热系数 / ThermajaPrzewodność	300 W·m^-1·K^-1
热膨胀系数 / Rozszerzalność cieplna (CTE)	4,5×10^-6K^-1