Cwch Wafer Chwartsyn offeryn cludwr allweddol mewn gweithgynhyrchu lled-ddargludyddion, cynhyrchu celloedd ffotofoltäig ac ymchwil a datblygu deunyddiau uwch, wedi'i gynllunio ar gyfer trosglwyddo a lleoli wafer yn sefydlog mewn prosesau tymheredd uchel. Mae'r cynnyrch hwn wedi'i wneud o silica wedi'i asio purdeb uwch-uchel (SiO2), gyda gwrthiant tymheredd rhagorol, sefydlogrwydd cemegol a nodweddion halogiad metel isel iawn, sy'n addas ar gyfer ffwrnais trylediad, ffwrnais ocsideiddio, PECVD/LPCVD ac offer arall, a ddefnyddir yn helaeth mewn cotio wafer, mewnblannu ïonau, anelio tymheredd uchel a phrosesau craidd eraill.
Manteision Craidd cwch cwarts VET Energy:
- Deunydd purdeb uwch-uchel
Purdeb ≥99.99%: Cynnwys amhuredd (Na, K, Fe, ac ati) <5ppm, gan osgoi halogiad wafer a gwarantu cynnyrch sglodion.
Gwlybaniaeth ac amsugniad isel: mae'r wyneb wedi'i sgleinio'n dda iawn (Ra≤0.4μm) i leihau adlyniad gronynnau a gweddillion nwy. - Sefydlogrwydd tymheredd uchel
Terfyn tymheredd: Tymheredd gweithio hirdymor o 1100 ℃, brig tymor byr o 1300 ℃, dim anffurfiad, dim glawiad crisial.
Cyfernod ehangu thermol isel (5.5x10-7/℃), ymwrthedd sioc thermol rhagorol, addasadwy i broses codi a chwympo tymheredd cyflym (e.e. anelio cyflym RTP). - Dyluniad strwythurol manwl gywir
Manwl gywirdeb y slot ± 0.1mm: paru wafferi 2”i 12”, gwall unffurfiaeth bylchau <0.05mm, gan sicrhau nad oes gan wafferi wrthbwyso.
Capasiti llwyth uchel: Llwyth uchaf o 50 wafer (o ran waferi 12”) mewn un cwch, gan gefnogi trosglwyddiad sefydlog o waferi tenau (≥100um). - Anadweithiolrwydd cemegol
Gwrthiant cyrydiad: Yn gwrthsefyll cyrydiad asid (ac eithrio HF), alcali a thoddyddion organig, yn gydnaws â phroses glanhau CMP.
Tyndra nwy rhagorol: Cyfradd gollyngiadau <5x10-10 Pa.m3/s, addas ar gyfer amgylcheddau gwactod a nwy amddiffynnol. - Bywyd hir a chynaliadwyedd
Disgwyliad oes ≥ 5000 o gylchoedd (amodau gwaith arferol), gellir glanhau a defnyddio'r wyneb dro ar ôl tro, gan leihau'r gost gyffredinol.
Dyluniad modiwlaidd: yn cefnogi ailosod rhannol (e.e. dant cwch sengl), gan leihau amser segur.
Rydym yn cynnig arwynebau tryloyw a barugog yn unol â gofynion y cwsmer:
Mae Ningbo VET Energy Technology Co., Ltd yn fenter uwch-dechnoleg sy'n canolbwyntio ar gynhyrchu a gwerthu deunyddiau uwch o'r radd flaenaf, y deunyddiau a'r dechnoleg gan gynnwys graffit, silicon carbide, cerameg, triniaeth arwyneb fel cotio SiC, cotio TaC, cotio carbon gwydrog, cotio carbon pyrolytig, ac ati, defnyddir y cynhyrchion hyn yn helaeth mewn ffotofoltäig, lled-ddargludyddion, ynni newydd, meteleg, ac ati.
Daw ein tîm technegol o sefydliadau ymchwil domestig gorau, ac maent wedi datblygu nifer o dechnolegau patent i sicrhau perfformiad ac ansawdd cynnyrch, a gallant hefyd ddarparu atebion deunydd proffesiynol i gwsmeriaid.
