VET Energy se concentre sur la R&D et la production d'anneaux en graphite revêtus de carbure de tantale (TaC) CVD hautes performances et s'engage à fournir des solutions de consommables de base pour les industries des semi-conducteurs, du photovoltaïque et des hautes températures. Notre technologie de dépôt chimique en phase vapeur (CVD) développée en interne forme un revêtement dense et uniforme de carbure de tantale à la surface du substrat en graphite grâce à des procédés de précision. Cela améliore considérablement la résistance aux hautes températures (> 3000 °C), à la corrosion et aux chocs thermiques du produit, prolongeant sa durée de vie de plus de trois fois et réduisant les coûts globaux pour le client.
Nos atouts techniques :
1. Résistance à l'oxydation à haute température
Dans une atmosphère d'air de 1200℃, le taux de gain de poids d'oxydation est ≤0,05 mg/cm²/h, ce qui représente plus de 3 fois la durée de vie de résistance à l'oxydation du graphite ordinaire et convient aux conditions de cycle de chauffage-refroidissement à haute fréquence.
2. Résistance à la corrosion du silicium/métal fondu
Le revêtement TaC est extrêmement inerte envers les métaux tels que le silicium liquide (1600℃), l'aluminium/cuivre fondu, etc., évitant ainsi la défaillance structurelle des anneaux de guidage traditionnels due à la pénétration du métal, particulièrement adapté aux semi-conducteurs de puissance et à la fabrication de semi-conducteurs de troisième génération.
3. Contamination particulaire ultra-faible
Le procédé CVD permet d'obtenir une densité de revêtement de > 99,5 % et une rugosité de surface de Ra ≤ 0,2 μm, réduisant ainsi le risque de perte de particules de la source et répondant aux exigences strictes de propreté de la fabrication de plaquettes de 12 pouces.
4. Contrôle précis de la taille
En adoptant l'usinage de précision CNC, la tolérance de taille du substrat en graphite est de ± 0,01 mm et la déformation globale après revêtement est < ± 5 μm, ce qui convient à l'installation dans des chambres d'équipement de haute précision.
| 碳化钽涂层物理特性物理特性 Propriétés physiques de TaC revêtement | |
| 密度/ Densité | 14,3 (g/cm³) |
| 比辐射率 / Émissivité spécifique | 0,3 |
| 热膨胀系数 / Coefficient de dilatation thermique | 6.3 10-6/K |
| 努氏硬度/ Dureté (HK) | 2000 HK |
| 电阻 / Résistance | 1×10-5 Ohm*cm |
| 热稳定性 / Stabilité thermique | <2500℃ |
| 石墨尺寸变化 / Changements de taille du graphite | -10~-20 um |
| 涂层厚度 / Épaisseur du revêtement | Valeur typique ≥30 um (35 um ± 10 um) |
Ningbo VET Energy Technology Co., Ltd est une entreprise de haute technologie axée sur le développement et la production de matériaux avancés haut de gamme, les matériaux et la technologie comprenant le graphite, le carbure de silicium, la céramique, le traitement de surface comme le revêtement SiC, le revêtement TaC, le revêtement en carbone vitreux, le revêtement en carbone pyrolytique, etc., ces produits sont largement utilisés dans le photovoltaïque, les semi-conducteurs, les nouvelles énergies, la métallurgie, etc.
Notre équipe technique provient des meilleures institutions de recherche nationales et a développé plusieurs technologies brevetées pour garantir les performances et la qualité des produits, et peut également fournir aux clients des solutions matérielles professionnelles.
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