SiC Wafer Boat En Holder Foar Fertikale Oven

SiC Wafer Boat En Holder Foar Fertikale Oven

Silisiumkarbide waferboatis primêr bedoeld foar it stypjen en transportearjen fan wafers yn hege-temperatuer termyske prosessen fan healgeleiderwafers lykas diffúzje, oksidaasje en gloeien. De prestaasjes hawwe direkt ynfloed op de kwaliteit fan it waferprodukt en de produksje-effisjinsje.

De strukturele ûntwerpen fan silisiumkarbide waferboat:
Hat typysk in sleuven- of kam-achtige struktuer;
Meardere slots foar it pleatsen en skieden fan wafers;
Untworpen om rekken te hâlden mei de ferdieling fan gasstream, wêrtroch unifoarme ferwaarming en koeling garandearre wurde;
Geskikt foar fertikale oven en horizontale oven;
Untworpen foar ferskate maten lykas 3 inch, 4 inch, 6 inch, 8 inch, 12 inch wafers.

De silisiumkarbide waferboaten fan VET Energy wurde makke mei avansearre sintertechnology en binne spesifyk ûntworpen om te foldwaan oan de strange easken foar prosesdragers fan avansearre healgeleiderproduksje. Harren superieure technyske foardielen wurde benammen wjerspegele yn 'e folgjende aspekten:

1. Ultimative suverens en ultra-lege fersmoarging
Mei help fan ultra-heech-suvere grûnstoffen soargje wy derfoar dat it produkt in ekstreem leech metaalionengehalte hat (minder as 1 ppm foar Na, K, Fe en Ca). Minimale delslach by hege temperatueren foarkomt effektyf waferfersmoarging, wêrtroch in hege chipopbringst en betrouberens garandearre wurde, wêrtroch't se in ideale kar binne foar dyjingen dy't stribje nei prosesperfeksje.
2. Uitstekende termyske prestaasjes en stabiliteit
Us SiC-waferboat hat in ekstreem hege termyske geliedingsfermogen en poerbêste termyske skokbestindigens. Se kinne rappe temperatuerfluktuaasjes fan keamertemperatuer oant 1600 ℃ wjerstean sûnder te barsten of te deformearjen, wêrtroch't de werhelling en konsistinsje fan it proses garandearre wurdt, en net-plande downtime fanwegen problemen mei de drager signifikant ferminderet.
3. Bûtengewoane korrosjebestriding en meganyske sterkte
Hege hurdens en sterke slijtvastheid, tegearre mei útsûnderlike wjerstân tsjin soere en alkaline omjouwings, oertreft kwarts en grafyt fierwei. De útsûnderlike meganyske sterkte foarkomt effektyf dieltsjegeneraasje by faak automatisearre ôfhanneling, wêrtroch't de libbensdoer signifikant ferlingd wurdt en de totale eksploitaasjekosten fermindere wurde.
4. Presyzjeûntwerp en poerbêste konsistinsje
Troch gebrûk te meitsjen fan avansearre foarmjouwings- en ferwurkingstechnologyen soargje wy derfoar dat elke waferboat krekte geometryske ôfmjittings en poerbêste oerflakkrektens hat, wêrtroch't unifoarme waferôfstân en stabile luchtstream wurde garandearre.