Avansearre SiC Cantilever Paddle foar Waferferwurking

Koarte beskriuwing:

De Advanced SiC Cantilever Paddle foar Waferferwurking lansearre troch vet-china brûkt hightech SiC-materialen om de effisjinsje en presyzje fan waferferwurking te ferbetterjen. De cantilever paddle fan Vet-china hat poerbêste waarmtebestriding en korrosjebestriding, wêrtroch stabile waferbehannelingsprestaasjes yn rûge produksjeomjouwings wurde garandearre, wêrtroch it in ideale kar is foar it ferbetterjen fan de produksjeopbringst.

Stjoer e-post nei ús Download as PDF

Produktdetail

Produktlabels

De AvansearreSiC Cantilever Paddlefoar Waferferwurking makke troch vet-china biedt in poerbêste oplossing foar healgeleiderproduksje. Dizze cantilever-peddel is makke fan SiC (siliciumkarbid) materiaal, en syn hege hurdens en waarmtebestriding meitsje it mooglik om poerbêste prestaasjes te behâlden yn hege temperatuer en korrosive omjouwings. It ûntwerp fan 'e Cantilever Paddle makket it mooglik om de wafer betrouber te stypjen tidens ferwurking, wêrtroch it risiko op fragmintaasje en skea ferminderet.

SiC Cantilever Paddleis in spesjalisearre komponint dat brûkt wurdt yn apparatuer foar healgeleiderproduksje lykas oksidaasjeovens, diffúzjeovens en gloeiovens, it wichtichste gebrûk is foar it laden en lossen fan wafers, stipet en transportearret wafers tidens prosessen mei hege temperatuer.

Mienskiplike struktuerenfanSiCcantileverpferslaavje: In cantilever-struktuer, oan it iene ein fêst en oan it oare ein frij, hat typysk in plat en peddel-eftich ûntwerp.

VET Energy brûkt materialen fan hege suverens fan rekristallisearre silisiumkarbid om de kwaliteit te garandearjen.

Fysyske eigenskippen fan rekristallisearre silisiumkarbid
Besit	Typyske wearde
Wurktemperatuer (°C)	1600 °C (mei soerstof), 1700 °C (redusearjende omjouwing)
SiC-ynhâld	> 99,96%
Fergese Si-ynhâld	< 0,1%
Bulkdichtheid	2,60-2,70 g/cm³³
Skynbere porositeit	< 16%
Kompresjesterkte	> 600MPa
Kâlde bûgingssterkte	80-90 MPa (20 °C)
Sterkte fan waarme bûging	90-100 MPa (1400 °C)
Termyske útwreiding @1500°C	4.70 10^-6/°C
Termyske geliedingsfermogen @1200°C	23W/m•K
Elastyske modulus	240 GPa
Termyske skokbestindich	Ekstreem goed