A na-ejikarị ntọala graphite e ji SiC kpuchie akwado ma kpoo otu kristal dị iche iche na ngwa nchekwa anwụrụ ọkụ (MOCVD). Nkwụsi ike okpomọkụ, ịdị n'otu okpomọkụ na paramita arụmọrụ ndị ọzọ nke ntọala graphite e ji SiC kpuchie na-arụ ọrụ dị mkpa na ịdị mma nke uto ihe epitaxial, yabụ ọ bụ isi ihe dị mkpa nke akụrụngwa MOCVD.
N'ime usoro mmepụta wafer, a na-ewukwasị akwa epitaxial n'elu ụfọdụ ihe ndị e ji wafer rụọ iji mee ka mmepụta ngwaọrụ dị mfe. Ngwaọrụ ndị na-ewepụta ọkụ LED nkịtị kwesịrị ịkwadebe akwa epitaxial nke GaAs na ihe ndị e ji silicon rụọ; A na-akụ akwa epitaxial SiC na ihe ndị e ji SiC rụọ maka owuwu ngwaọrụ dịka SBD, MOSFET, wdg, maka voltaji dị elu, ọkụ eletrik dị elu na ngwa ike ndị ọzọ; A na-ewu akwa epitaxial GaN na ihe ndị e ji SiC kpuchie ọkara iji wulite HEMT na ngwaọrụ ndị ọzọ maka ngwa RF dị ka nkwukọrịta. Usoro a enweghị ikewapụ na ngwaọrụ CVD.
N'ime ngwa CVD, enweghị ike itinye ihe mkpuchi ahụ kpọmkwem na ígwè ahụ ma ọ bụ naanị tinye ya na ntọala maka itinye ihe mkpuchi epitaxial, n'ihi na ọ gụnyere mmiri gas (kwụ ọtọ, kwụ ọtọ), okpomọkụ, nrụgide, ndozi, iwepụ ihe ndị na-emerụ emerụ na akụkụ ndị ọzọ nke ihe ndị na-emetụta ya. Ya mere, ọ dị mkpa iji ntọala, wee tinye ihe mkpuchi ahụ na diski ahụ, wee jiri teknụzụ CVD mee ihe mkpuchi epitaxial na substrate ahụ, nke bụ ntọala graphite a kpụchara akpụ nke SiC (a makwaara dị ka tray).
A na-ejikarị ntọala graphite e ji SiC kpuchie akwado ma kpoo otu kristal dị iche iche na ngwa nchekwa anwụrụ ọkụ (MOCVD). Nkwụsi ike okpomọkụ, ịdị n'otu okpomọkụ na paramita arụmọrụ ndị ọzọ nke ntọala graphite e ji SiC kpuchie na-arụ ọrụ dị mkpa na ịdị mma nke uto ihe epitaxial, yabụ ọ bụ isi ihe dị mkpa nke akụrụngwa MOCVD.
Ndobe anwụrụ kemịkalụ metal-organic (MOCVD) bụ teknụzụ bụ isi maka uto epitaxial nke ihe nkiri GaN na LED anụnụ anụnụ. O nwere uru dị na ọrụ dị mfe, ọnụego uto a na-achịkwa na ịdị ọcha dị elu nke ihe nkiri GaN. Dịka ihe dị mkpa na ụlọ mmeghachi omume nke akụrụngwa MOCVD, ntọala bearing eji maka uto epitaxial film GaN kwesịrị inwe uru nke iguzogide okpomọkụ dị elu, njikwa okpomọkụ otu, nkwụsi ike kemịkalụ dị mma, iguzogide ujo okpomọkụ siri ike, wdg. Ihe graphite nwere ike iru ọnọdụ ndị dị n'elu.
Dịka otu n'ime ihe ndị bụ isi nke akụrụngwa MOCVD, isi graphite bụ ihe na-ebu ma na-ekpo ọkụ nke substrate ahụ, nke na-ekpebi kpọmkwem otu na ịdị ọcha nke ihe nkiri ahụ, yabụ ịdị mma ya na-emetụta nkwadebe nke mpempe akwụkwọ epitaxial ozugbo, ma n'otu oge ahụ, na mmụba nke ọnụọgụ ojiji na mgbanwe nke ọnọdụ ọrụ, ọ dị mfe iyi, nke bụ nke ihe oriri.
Ọ bụ ezie na graphite nwere ezigbo ike na nkwụsi ike nke okpomọkụ, ọ nwere uru dị mma dịka ihe dị mkpa na akụrụngwa MOCVD, mana n'usoro mmepụta, graphite ga-emebi ntụ ahụ n'ihi ihe fọdụrụ nke gas na-emebi emebi na ihe ndị dị ndụ n'ime ígwè, ndụ ọrụ nke ntọala graphite ga-ebelata nke ukwuu. N'otu oge ahụ, ntụ graphite na-ada ada ga-akpata mmetọ na mgbawa ahụ.
Mmalite nke teknụzụ mkpuchi nwere ike inye ndochi ntụ elu, mee ka ike okpomọkụ dịkwuo mma, ma mee ka nkesa okpomọkụ hara nhata, nke aghọọla teknụzụ bụ isi iji dozie nsogbu a. Ntọala graphite na ngwaọrụ MOCVD na-eji gburugburu ebe obibi, mkpuchi elu graphite kwesịrị izute njirimara ndị a:
(1) A pụrụ ijikọta isi graphite ahụ nke ọma, njupụta ya dịkwa mma, ma ọ bụghị ya, isi graphite ahụ dị mfe ịgbaze n'ime gas na-emebi emebi.
(2) Ike njikọta ya na ntọala graphite dị elu iji hụ na mkpuchi ahụ adịghị mfe ịda mgbe ọtụtụ oge okpomọkụ dị elu na obere okpomọkụ gasịrị.
(3) O nwere ezigbo nkwụsi ike kemịkalụ iji zere mmebi mkpuchi n'oge okpomọkụ dị elu na ikuku na-emebi emebi.
SiC nwere uru dị na iguzogide nchara, oke ike okpomọkụ, oke ike ọgwụgwụ okpomọkụ na oke ike kemịkalụ, ọ nwekwara ike ịrụ ọrụ nke ọma na ikuku epitaxial GaN. Na mgbakwunye, oke ike mmụba okpomọkụ nke SiC dị obere na nke graphite, yabụ SiC bụ ihe a na-ahọrọ maka mkpuchi elu nke ntọala graphite.
Ugbu a, SiC a na-ahụkarị bụ ụdị 3C, 4H na 6H, ojiji SiC nke ụdị kristal dị iche iche dịkwa iche. Dịka ọmụmaatụ, 4H-SiC nwere ike imepụta ngwaọrụ ike dị elu; 6H-SiC bụ nke kachasị kwụsie ike ma nwee ike imepụta ngwaọrụ fotoelectric; N'ihi nhazi ya yiri nke GaN, enwere ike iji 3C-SiC mepụta oyi akwa epitaxial GaN ma mepụta ngwaọrụ SiC-GaN RF. A makwaara 3C-SiC dịka β-SiC, ojiji dị mkpa nke β-SiC bụkwa ihe nkiri na ihe mkpuchi, yabụ β-SiC bụ ugbu a ihe bụ isi maka mkpuchi.
Oge ozi: Ọgọst-04-2023