Àwọn ìpìlẹ̀ graphite tí a fi SiC bo ni a sábà máa ń lò láti ṣe àtìlẹ́yìn àti láti mú kí àwọn ohun èlò ìṣàlẹ̀ kristali kan ṣoṣo gbóná nínú àwọn ohun èlò ìpamọ́ èéfín kemikali irin-organic (MOCVD). Ìdúróṣinṣin ooru, ìṣọ̀kan ooru àti àwọn pàrámítà iṣẹ́ mìíràn ti ìpìlẹ̀ graphite tí a fi SiC bo ṣe ipa pàtàkì nínú dídára ìdàgbàsókè ohun èlò epitaxial, nítorí náà ó jẹ́ kókó pàtàkì ti ohun èlò MOCVD.
Nínú ìlànà ṣíṣe wafer, a tún kọ́ àwọn fẹlẹfẹlẹ epitaxial síi lórí àwọn substrates wafer kan láti mú kí iṣẹ́ àwọn ẹ̀rọ rọrùn. Àwọn ẹ̀rọ tí ń yọ ìmọ́lẹ̀ LED déédéé nílò láti pèsè àwọn fẹlẹfẹlẹ epitaxial ti GaAs lórí àwọn substrates silicon; A ń gbin Layer epitaxial SiC lórí substrates conductive SiC fún ìkọ́lé àwọn ẹ̀rọ bíi SBD, MOSFET, àti bẹ́ẹ̀ bẹ́ẹ̀ lọ, fún àwọn ohun èlò agbára gíga, ìṣàn omi gíga àti àwọn ohun èlò agbára mìíràn; A ń kọ́ Layer epitaxial GaN lórí substrates SiC semi-insulated láti tún kọ́ HEMT àti àwọn ẹ̀rọ mìíràn fún àwọn ohun èlò RF bíi ìbánisọ̀rọ̀. Ìlànà yìí kò ṣeé yà sọ́tọ̀ kúrò nínú ẹ̀rọ CVD.
Nínú ẹ̀rọ CVD, a kò le fi ohun èlò ìpìlẹ̀ náà sí orí irin náà tàbí kí a kàn gbé e sórí ìpìlẹ̀ fún ìpìlẹ̀ epitaxial, nítorí pé ó ní í ṣe pẹ̀lú ìṣàn gaasi (petele, inaro), iwọn otutu, titẹ, ìdúró, ìtújáde àwọn ohun ìbàjẹ́ àti àwọn apá mìíràn ti àwọn ohun tí ó ní ipa lórí rẹ̀. Nítorí náà, ó ṣe pàtàkì láti lo ìpìlẹ̀ kan, lẹ́yìn náà kí a gbé ohun èlò ìpìlẹ̀ náà sí orí disiki náà, lẹ́yìn náà, kí a lo ìmọ̀-ẹ̀rọ CVD láti fi ohun èlò ìpìlẹ̀ epitaxial sí orí ohun èlò ìpìlẹ̀ náà, èyí tí í ṣe ìpìlẹ̀ graphite tí a fi SiC bo (tí a tún mọ̀ sí atẹ́).
Àwọn ìpìlẹ̀ graphite tí a fi SiC bo ni a sábà máa ń lò láti ṣe àtìlẹ́yìn àti láti mú kí àwọn ohun èlò ìṣàlẹ̀ kristali kan ṣoṣo gbóná nínú àwọn ohun èlò ìpamọ́ èéfín kemikali irin-organic (MOCVD). Ìdúróṣinṣin ooru, ìṣọ̀kan ooru àti àwọn pàrámítà iṣẹ́ mìíràn ti ìpìlẹ̀ graphite tí a fi SiC bo ṣe ipa pàtàkì nínú dídára ìdàgbàsókè ohun èlò epitaxial, nítorí náà ó jẹ́ kókó pàtàkì ti ohun èlò MOCVD.
Ìdásílẹ̀ èéfín kẹ́míkà onírin-àti-àti-ara (MOCVD) ni ìmọ̀-ẹ̀rọ pàtàkì fún ìdàgbàsókè epitaxial ti àwọn fíìmù GaN nínú LED aláwọ̀ búlúù. Ó ní àwọn àǹfààní ti ìṣiṣẹ́ tí ó rọrùn, ìwọ̀n ìdàgbàsókè tí a lè ṣàkóso àti mímọ́ ga ti àwọn fíìmù GaN. Gẹ́gẹ́ bí ohun pàtàkì nínú yàrá ìṣesí ti ohun èlò MOCVD, ìpìlẹ̀ bearing tí a lò fún ìdàgbàsókè epitaxial film GaN gbọ́dọ̀ ní àwọn àǹfààní ti resistance otutu gíga, conductivity thermal déédé, ìdúróṣinṣin kẹ́míkà tí ó dára, resistance hot shock líle, àti bẹ́ẹ̀ bẹ́ẹ̀ lọ. Ohun èlò Graphite lè bá àwọn ipò tí a mẹ́nu kàn lókè mu.
Gẹ́gẹ́ bí ọ̀kan lára àwọn ohun pàtàkì nínú ohun èlò MOCVD, ìpìlẹ̀ graphite ni ara tí ń gbé àti gbígbóná ti substrate náà, èyí tí ó ń pinnu ìṣọ̀kan àti mímọ́ ti ohun èlò fíìmù náà, nítorí náà, dídára rẹ̀ ní ipa taara lórí ìpèsè ìwé epitaxial, àti ní àkókò kan náà, pẹ̀lú ìbísí iye àwọn lílò àti ìyípadà àwọn ipò iṣẹ́, ó rọrùn láti wọ̀, tí ó jẹ́ ti àwọn ohun èlò tí a lè lò.
Bó tilẹ̀ jẹ́ pé graphite ní agbára ìgbóná àti ìdúróṣinṣin tó dára, ó ní àǹfààní tó dára gẹ́gẹ́ bí ohun èlò ìpìlẹ̀ MOCVD, ṣùgbọ́n nínú iṣẹ́ ṣíṣe, graphite yóò ba lúúlúú jẹ́ nítorí àṣẹ́kù àwọn gáàsì oníbàjẹ́ àti àwọn ohun èlò onírin, àti pé iṣẹ́ ìpìlẹ̀ graphite yóò dínkù gidigidi. Ní àkókò kan náà, graphite tó ń já bọ́ yóò fa ìbàjẹ́ sí ërún náà.
Ìfarahàn ìmọ̀ ẹ̀rọ ìbòrí lè pèsè ìdúró lulú ojú ilẹ̀, mú kí ìgbóná agbára pọ̀ sí i, kí ó sì ṣe àfikún ìpínkiri ooru, èyí tí ó ti di ìmọ̀ ẹ̀rọ pàtàkì láti yanjú ìṣòro yìí. Ìpìlẹ̀ graphite nínú ohun èlò MOCVD ń lo àyíká, ìbòrí graphite ìpìlẹ̀ ojú ilẹ̀ yẹ kí ó bá àwọn ànímọ́ wọ̀nyí mu:
(1) A le fi ipilẹ graphite we ipilẹ naa patapata, iwuwo naa si dara, bibẹẹkọ ipilẹ graphite rọrun lati jẹ ibajẹ ninu gaasi ibajẹ.
(2) Agbára àpapọ̀ pẹ̀lú ìpìlẹ̀ graphite ga láti rí i dájú pé ìbòrí náà kò rọrùn láti jábọ́ lẹ́yìn ọ̀pọ̀ ìgbà tí ó bá ti di ...
(3) Ó ní ìdúróṣinṣin kẹ́míkà tó dára láti yẹra fún ìbàjẹ́ ìbòrí ní iwọ̀n otútù gíga àti afẹ́fẹ́ ìbàjẹ́.
SiC ní àwọn àǹfààní ti resistance ipata, agbara igbona giga, resistance mọnamọna ooru ati iduroṣinṣin kemikali giga, o si le ṣiṣẹ daradara ni afẹfẹ epitaxial GaN. Ni afikun, iye imugboroosi ooru ti SiC yatọ pupọ si ti graphite, nitorinaa SiC ni ohun elo ti o fẹran julọ fun ibora dada ti ipilẹ graphite.
Lọ́wọ́lọ́wọ́, SiC tí ó wọ́pọ̀ jẹ́ irú 3C, 4H àti 6H, àti lílo SiC ti àwọn oríṣiríṣi kírísítà yàtọ̀ síra. Fún àpẹẹrẹ, 4H-SiC lè ṣe àwọn ẹ̀rọ agbára gíga; 6H-SiC ni ó dúró ṣinṣin jùlọ ó sì lè ṣe àwọn ẹ̀rọ photoelectric; Nítorí ìṣètò rẹ̀ tí ó jọ GaN, a lè lo 3C-SiC láti ṣe fẹlẹfẹlẹ epitaxial GaN àti láti ṣe àwọn ẹ̀rọ SiC-GaN RF. 3C-SiC ni a tún mọ̀ sí β-SiC, àti lílo pàtàkì ti β-SiC jẹ́ gẹ́gẹ́ bí ohun èlò fíìmù àti ìbòrí, nítorí náà β-SiC ni ohun èlò pàtàkì fún ìbòrí lọ́wọ́lọ́wọ́.
Àkókò ìfìwéránṣẹ́: Oṣù Kẹjọ-04-2023