Metheo ea graphite e koahetsoeng ka SiC e atisa ho sebelisoa ho tšehetsa le ho futhumatsa li-substrate tsa kristale e le 'ngoe ka har'a lisebelisoa tsa tšepe-organic chemical vapor deposition (MOCVD). Botsitso ba mocheso, ho tšoana ha mocheso le liparamente tse ling tsa ts'ebetso ea motheo oa graphite e koahetsoeng ka SiC li bapala karolo ea bohlokoa boleng ba kholo ea thepa ea epitaxial, kahoo ke karolo ea bohlokoa ea lisebelisoa tsa MOCVD.
Mokgweng wa tlhahiso ya wafer, dikarolo tsa epitaxial di hahuwa hape hodima dikarolo tse ding tsa wafer ho nolofatsa tlhahiso ya disebediswa. Disebediswa tse tlwaelehileng tse ntšang mabone a LED di hloka ho lokisa dikarolo tsa epitaxial tsa GaAs hodima dikarolo tsa silicon; Lera la epitaxial la SiC le hodiswa hodima karolo e tsamaisang motlakase ya SiC bakeng sa kaho ya disebediswa tse kang SBD, MOSFET, jj., bakeng sa dikopo tse phahameng tsa motlakase, tsa motlakase o phahameng le tsa matla a mang; Lera la epitaxial la GaN le hahuwa hodima karolo e thibelang motlakase ya SiC e semi-insulated ho hahuwa HEMT le disebediswa tse ding bakeng sa dikopo tsa RF tse kang puisano. Tshebetso ena e ke ke ya arolwa ho disebediswa tsa CVD.
Lisebelisoang tsa CVD, substrate e ke ke ea beoa ka ho toba holim'a tšepe kapa ea beoa feela motheong bakeng sa ho beoa ha epitaxial, hobane e kenyelletsa phallo ea khase (e otlolohileng, e otlolohileng), mocheso, khatello, ho lokisoa, ho tšolloa ha litšila le likarolo tse ling tsa lintlha tse susumetsang. Ka hona, ho hlokahala ho sebelisa motheo, ebe u beha substrate holim'a disc, ebe u sebelisa theknoloji ea CVD ho beoa ha epitaxial holim'a substrate, e leng setsi sa graphite se koahetsoeng ke SiC (se tsejoang hape e le terei).
Metheo ea graphite e koahetsoeng ka SiC e atisa ho sebelisoa ho tšehetsa le ho futhumatsa li-substrate tsa kristale e le 'ngoe ka har'a lisebelisoa tsa tšepe-organic chemical vapor deposition (MOCVD). Botsitso ba mocheso, ho tšoana ha mocheso le liparamente tse ling tsa ts'ebetso ea motheo oa graphite e koahetsoeng ka SiC li bapala karolo ea bohlokoa boleng ba kholo ea thepa ea epitaxial, kahoo ke karolo ea bohlokoa ea lisebelisoa tsa MOCVD.
Ho beoa ha mouoane oa lik'hemik'hale tsa tšepe-organic (MOCVD) ke theknoloji e ka sehloohong bakeng sa kholo ea epitaxial ea lifilimi tsa GaN ka LED e putsoa. E na le melemo ea ts'ebetso e bonolo, sekhahla sa kholo se laoloang le bohloeki bo phahameng ba lifilimi tsa GaN. Jwalo ka karolo ea bohlokoa ka kamoreng ea karabelo ea lisebelisoa tsa MOCVD, motheo oa bearing o sebelisoang bakeng sa kholo ea epitaxial ea filimi ea GaN o hloka ho ba le melemo ea ho hanyetsa mocheso o phahameng, ho tsamaisa mocheso ka mokhoa o ts'oanang, botsitso bo botle ba lik'hemik'hale, ho hanyetsa ho matla ha mocheso, jj. Thepa ea Graphite e ka fihlela maemo a kaholimo.
Jwalo ka e nngwe ya dikarolo tsa mantlha tsa disebediswa tsa MOCVD, motheo wa graphite ke mmele o jarang le o futhumatsang wa substrate, e leng se etsang qeto ka ho toba ka ho tshwana le bohloeki ba thepa ya filimi, kahoo boleng ba yona bo ama ka ho toba ho lokiswa ha lakane ya epitaxial, mme ka nako e ts'oanang, ka keketseho ya palo ya tshebediso le phetoho ya maemo a mosebetsi, e bonolo haholo ho e apara, e leng ya dintho tse ka jewang.
Leha graphite e na le conductivity e ntle ea mocheso le botsitso, e na le monyetla o motle e le karolo ea motheo ea lisebelisoa tsa MOCVD, empa ts'ebetsong ea tlhahiso, graphite e tla senya phofo ka lebaka la masala a likhase tse senyang le lintho tse phelang tsa tšepe, 'me bophelo ba tšebeletso ea motheo oa graphite bo tla fokotseha haholo. Ka nako e ts'oanang, phofo ea graphite e oang e tla baka tšilafalo ho chip.
Ho hlaha ha theknoloji ea ho koahela ho ka fana ka ho tiisa phofo ea bokaholimo, ho ntlafatsa conductivity ea mocheso, le ho leka-lekanya kabo ea mocheso, e leng theknoloji e ka sehloohong ea ho rarolla bothata bona. Motheo oa graphite tikolohong ea tšebeliso ea lisebelisoa tsa MOCVD, sekoahelo sa bokaholimo ba motheo oa graphite se lokela ho fihlela litšobotsi tse latelang:
(1) Motheo oa graphite o ka phutheloa ka botlalo, 'me boima ba oona bo botle, ho seng joalo motheo oa graphite o bonolo ho bola ka har'a khase e senyang.
(2) Matla a kopanyo le motheo oa graphite a phahame ho netefatsa hore lesela ha le oele habonolo kamora lipotoloho tse 'maloa tsa mocheso o phahameng le mocheso o tlase.
(3) E na le botsitso bo botle ba lik'hemik'hale ho qoba ho hloleha ha ho roala mochesong o phahameng le sepakapakeng se senyang.
SiC e na le melemo ea ho hanyetsa mafome, ho khanna mocheso ka matla, ho hanyetsa ho thothomela ha mocheso le botsitso bo phahameng ba lik'hemik'hale, 'me e ka sebetsa hantle sepakapakeng sa GaN epitaxial. Ho phaella moo, coefficient ea katoloso ea mocheso ea SiC e fapana hanyane haholo le ea graphite, kahoo SiC ke thepa e khethiloeng bakeng sa ho koahela bokaholimo ba setsi sa graphite.
Hona jwale, SiC e tlwaelehileng haholo-holo ke mofuta wa 3C, 4H le 6H, mme tshebediso ya SiC ya mefuta e fapaneng ya kristale e fapane. Mohlala, 4H-SiC e ka hlahisa disebediswa tse nang le matla a maholo; 6H-SiC ke yona e tsitsitseng ka ho fetisisa mme e ka hlahisa disebediswa tsa photoelectric; Ka lebaka la sebopeho sa yona se tshwanang le sa GaN, 3C-SiC e ka sebediswa ho hlahisa lera la GaN epitaxial le ho etsa disebediswa tsa SiC-GaN RF. 3C-SiC e boetse e tsejwa haholo e le β-SiC, mme tshebediso ya bohlokwa ya β-SiC ke filimi le thepa ya ho roala, kahoo β-SiC hajoale ke thepa e ka sehloohong ya ho roala.
Nako ea poso: Phato-04-2023