Substrati/supporti in grafite con rivestimento in carburo di silicio per semiconduttori

Breve descrizione:

Il suscettore in grafite rivestita in SiC di VET Energy è un prodotto ad alte prestazioni progettato per fornire prestazioni costanti e affidabili per un periodo prolungato. Presenta un'eccellente resistenza al calore e uniformità termica, elevata purezza e resistenza all'erosione, che lo rendono la soluzione perfetta per le applicazioni di lavorazione dei wafer.


  • Luogo di origine:Zhejiang, Cina (continente)
  • Numero di modello:Barca3004
  • Composizione chimica:Grafite rivestita in SiC
  • Resistenza alla flessione:470 MPa
  • Conduttività termica:300 W/mK
  • Qualità:Perfetto
  • Funzione:CVD-SiC
  • Applicazione:Semiconduttore/Fotovoltaico
  • Densità:3,21 g/cc
  • Dilatazione termica:4 10-6/K
  • Cenere: <5 ppm
  • Campione:Disponibile
  • Codice HS:6903100000
  • Dettagli del prodotto

    Tag dei prodotti

    Il suscettore in grafite rivestito in SiC è un componente chiave utilizzato in vari processi di produzione di semiconduttori. Utilizziamo la nostra tecnologia brevettata per realizzare il suscettore con purezza estremamente elevata, buona uniformità del rivestimento e un'eccellente durata utile, nonché elevate proprietà di resistenza chimica e stabilità termica.

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    Caratteristiche dei nostri prodotti:

    1. Resistenza all'ossidazione ad alta temperatura fino a 1700℃.
    2. Elevata purezza e uniformità termica
    3. Eccellente resistenza alla corrosione: acidi, alcali, sale e reagenti organici.

    4. Elevata durezza, superficie compatta, particelle fini.
    5. Maggiore durata e resistenza

    malattie cardiovascolari SiC薄膜基本物理性能

    Proprietà fisiche di base del SiC CVDrivestimento

    性质 / Proprietà

    典型数值 / Valore tipico

    晶体结构 / Struttura cristallina

    Fase β FCC多晶,主要为(111)取向

    密度 / Densità

    3,21 g/cm³

    硬度 / Durezza

    2500 tonnellate di carico (carico da 500 g)

    晶粒大小 / Granulometria

    2~10μm

    纯度 / Purezza chimica

    99,99995%

    热容 / Capacità termica

    640 J·kg-1·K-1

    升华温度 / Temperatura di sublimazione

    2700℃

    抗弯强度 / Resistenza alla flessione

    415 MPa RT 4 punti

    杨氏模量 / Modulo di Young

    430 Gpa 4pt curva, 1300℃

    导热系数 / ThermalConduttività

    300W·m-1·K-1

    热膨胀系数 / Espansione termica (CTE)

    4,5×10-6K-1

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    VET Energy è il vero produttore di prodotti personalizzati in grafite e carburo di silicio con diversi rivestimenti come rivestimento in SiC, rivestimento in TaC, rivestimento in carbonio vetroso, rivestimento in carbonio pirolitico, ecc., in grado di fornire vari componenti personalizzati per l'industria dei semiconduttori e del fotovoltaico.

    Il nostro team tecnico proviene dai migliori istituti di ricerca nazionali ed è in grado di fornirvi le soluzioni più professionali in materia di materiali.

    Sviluppiamo costantemente processi avanzati per fornire materiali ancora più avanzati e abbiamo elaborato una tecnologia brevettata esclusiva in grado di rendere l'adesione tra il rivestimento e il substrato più salda e meno soggetta a distacco.

    Vi invitiamo calorosamente a visitare la nostra fabbrica, per approfondire la questione!

    研发团队

     

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