Substrati/supporti di grafite con rivestimento in carburo di silicio per semiconduttori

Breve descrizione:

Il supporto in grafite rivestito in SiC di VET Energy è un prodotto ad alte prestazioni progettato per garantire prestazioni costanti e affidabili per un lungo periodo. Offre un'eccellente resistenza al calore e uniformità termica, elevata purezza e resistenza all'erosione, caratteristiche che lo rendono la soluzione ideale per le applicazioni di lavorazione dei wafer.

Luogo di origine:Zhejiang, Cina (continente)

Numero di modello:Barca3004

Composizione chimica:grafite rivestita di SiC

Resistenza flessionale:470 MPa

Conduttività termica:300 W/mK

Qualità:Perfetto

Funzione:CVD-SiC

Applicazione:Semiconduttori/Fotovoltaico

Densità:3,21 g/cc

Dilatazione termica:4 10-6/K

Cenere: <5 ppm

Campione:Disponibile

Codice HS:6903100000

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Dettagli del prodotto

Etichette prodotto

Il suscettore in grafite rivestito di SiC è un componente chiave utilizzato in diversi processi di produzione di semiconduttori. Utilizziamo la nostra tecnologia brevettata per realizzare il suscettore con una purezza estremamente elevata, un'ottima uniformità del rivestimento, una durata eccellente, nonché un'elevata resistenza chimica e stabilità termica.

Caratteristiche dei nostri prodotti:

1. Resistenza all'ossidazione ad alta temperatura fino a 1700℃.
2. Elevata purezza e uniformità termica
3. Eccellente resistenza alla corrosione: acidi, alcali, sali e reagenti organici.
4. Elevata durezza, superficie compatta, particelle fini.
5. Maggiore durata e maggiore resistenza

Malattia cardiovascolare SiC薄膜基本物理性能 Proprietà fisiche di base del SiC CVDrivestimento
性质 / Proprietà	典型数值 / Valore tipico
晶体结构 / Struttura cristallina	Fase β FCC多晶,主要为（111）取向
密度 / Densità	3,21 g/cm³
硬度 / Durezza	2500 tonnellate di carico (carico di 500 g)
晶粒大小 / Dimensione del grano	2~10μm
纯度 / Purezza chimica	99,99995%
热容 / Capacità termica	640 J·kg^-1·K^-1
升华温度 / Temperatura di sublimazione	2700℃
抗弯强度 / Resistenza alla flessione	415 MPa RT 4 punti
杨氏模量 Modulo di Young	430 GPa piegatura a 4 punti, 1300℃
导热系数 / ThermalConduttività	300 W·m^-1·K^-1
热膨胀系数 / Dilatazione termica (CTE)	4,5×10^-6K^-1

VET Energy è un produttore affidabile di prodotti personalizzati in grafite e carburo di silicio con diversi rivestimenti, come rivestimento in SiC, rivestimento in TaC, rivestimento in carbonio vetroso, rivestimento in carbonio pirolitico, ecc., e può fornire vari componenti personalizzati per l'industria dei semiconduttori e del fotovoltaico.

Il nostro team tecnico, composto da professionisti provenienti dai migliori istituti di ricerca nazionali, è in grado di offrirvi soluzioni più professionali in termini di materiali.

Sviluppiamo costantemente processi avanzati per fornire materiali sempre più performanti e abbiamo messo a punto una tecnologia brevettata esclusiva in grado di rendere l'adesione tra il rivestimento e il substrato più forte e meno soggetta al distacco.

Vi diamo un caloroso benvenuto a visitare il nostro stabilimento, saremo lieti di discuterne ulteriormente!