Barca di quarzo ad elevata purezza per la lavorazione dei wafer

Barca a wafer di quarzoÈ uno strumento di supporto fondamentale nella produzione di semiconduttori, celle fotovoltaiche e nella ricerca e sviluppo di materiali avanzati, progettato per il trasferimento e il posizionamento stabile dei wafer in processi ad alta temperatura. Questo prodotto è realizzato in silice fusa (SiO2) ad altissima purezza, con eccellente resistenza alla temperatura, stabilità chimica e bassissima contaminazione da metalli, adatto per forni a diffusione, forni a ossidazione, PECVD/LPCVD e altre apparecchiature, ampiamente utilizzato nel rivestimento dei wafer, nell'impiantazione ionica, nella ricottura ad alta temperatura e in altri processi chiave.

I principali vantaggi dell'imbarcazione al quarzo di VET Energy:

• Materiale di purezza ultraelevata
  Purezza ≥99,99%: Contenuto di impurità (Na, K, Fe, ecc.) <5 ppm, evitando la contaminazione dei wafer e garantendo la resa dei chip.
  Bassa precipitazione e adsorbimento: la superficie è superlucidata (Ra≤0,4μm) per ridurre l'adesione delle particelle e i residui gassosi.
• Stabilità alle alte temperature
  Limite di temperatura: temperatura di esercizio a lungo termine di 1100℃, picco a breve termine di 1300℃, nessuna deformazione, nessuna precipitazione di cristalli.
  Basso coefficiente di dilatazione termica (5,5x10⁻⁷/℃), eccellente resistenza agli shock termici, adattabile a processi di rapido aumento e diminuzione della temperatura (ad esempio, ricottura rapida RTP).
• Progettazione strutturale precisa
  Precisione della fessura ±0,1 mm: abbinamento di wafer da 2" a 12", errore di uniformità della spaziatura <0,05 mm, garantendo che i wafer non presentino disallineamenti.
  Elevata capacità di carico: carico massimo di 50 wafer (da 12”) in un'unica unità, garantendo un trasferimento stabile di wafer sottili (≥100 µm).
• inerzia chimica
  Resistenza alla corrosione: resistente agli acidi (eccetto HF), agli alcali e ai solventi organici, compatibile con il processo di pulizia CMP.
  Eccellente tenuta ai gas: tasso di perdita <5x10⁻¹⁰ Pa.m³/s, adatto per ambienti sottovuoto e con gas protettivi.
• Lunga durata e facilità di manutenzione
  Durata prevista ≥ 5000 cicli (in condizioni di lavoro normali), la superficie può essere pulita e riutilizzata ripetutamente, riducendo i costi complessivi.
  Design modulare: consente la sostituzione parziale (ad esempio un singolo dente di una barca), riducendo i tempi di inattività.

Offriamo superfici sia trasparenti che satinate, a seconda delle esigenze del cliente:

Ningbo VET Energy Technology Co., Ltd è un'azienda high-tech specializzata nella produzione e vendita di materiali avanzati di alta gamma. I materiali e le tecnologie utilizzati includono grafite, carburo di silicio, ceramiche e trattamenti superficiali come rivestimenti in SiC, TaC, carbonio vetroso, carbonio pirolitico, ecc. Questi prodotti trovano ampio impiego nei settori del fotovoltaico, dei semiconduttori, delle nuove energie, della metallurgia, ecc.

Il nostro team tecnico proviene dai migliori istituti di ricerca nazionali e ha sviluppato numerose tecnologie brevettate per garantire le prestazioni e la qualità del prodotto, oltre a essere in grado di fornire ai clienti soluzioni professionali in materia di materiali.