Vassoio per fogli epitassiali in carburo di silicio per forno epitassiale per semiconduttori

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Breve descrizione:

Il vassoio epitassiale in carburo di silicio VET Energy è un prodotto ad alte prestazioni progettato per fornire prestazioni costanti e affidabili per un periodo prolungato. Presenta un'eccellente resistenza al calore e uniformità termica, elevata purezza e resistenza all'erosione, che lo rendono la soluzione perfetta per le applicazioni di lavorazione dei wafer.

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Dettagli del prodotto

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Il vassoio in fogli di carburo di silicio è un componente chiave utilizzato in vari processi di produzione di semiconduttori. Utilizziamo la nostra tecnologia brevettata per realizzare vassoi in fogli di carburo di silicio con purezza estremamente elevata, buona uniformità di rivestimento e un'eccellente durata, oltre a un'elevata resistenza chimica e proprietà di stabilità termica.

VET Energy è il produttore leader di prodotti in grafite e carburo di silicio personalizzati con diversi rivestimenti come SiC, Tac, carbonio pirolitico, carbonio vetroso, ecc., ed è in grado di fornire una varietà di componenti personalizzati per l'industria dei semiconduttori e del fotovoltaico. Il nostro team tecnico proviene dai migliori istituti di ricerca nazionali ed è in grado di offrirvi soluzioni di materiali altamente professionali.

Sviluppiamo costantemente processi avanzati per fornire materiali ancora più avanzati e abbiamo elaborato una tecnologia brevettata esclusiva in grado di rendere l'adesione tra il rivestimento e il substrato più salda e meno soggetta a distacco.

Caratteristiche dei nostri prodotti:

1. Resistenza all'ossidazione ad alta temperatura fino a 1700℃.
2. Elevata purezza e uniformità termica
3. Eccellente resistenza alla corrosione: acidi, alcali, sale e reagenti organici.
4. Elevata durezza, superficie compatta, particelle fini.
5. Maggiore durata e resistenza

malattie cardiovascolari SiC薄膜基本物理性能 Proprietà fisiche di base del SiC CVDrivestimento
性质 / Proprietà	典型数值 / Valore tipico
晶体结构 / Struttura cristallina	Fase β FCC多晶,主要为（111）取向
密度 / Densità	3,21 g/cm³
硬度 / Durezza	2500 tonnellate di carico (carico da 500 g)
晶粒大小 / Granulometria	2~10μm
纯度 / Purezza chimica	99,99995%
热容 / Capacità termica	640 J·kg^-1·K^-1
升华温度 / Temperatura di sublimazione	2700℃
抗弯强度 / Resistenza alla flessione	415 MPa RT 4 punti
杨氏模量 / Modulo di Young	430 Gpa 4pt curva, 1300℃
导热系数 / ThermalConduttività	300W·m^-1·K^-1
热膨胀系数 / Espansione termica (CTE)	4,5×10^-6K^-1