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炭素／炭素複合材料（以下「C / C または CFC」炭素繊維強化複合材料（カーボンファイバープリフォーム）は、炭素をベースとし、炭素繊維とその製品で強化された複合材料の一種です。炭素の慣性と炭素繊維の高い強度を併せ持ち、優れた機械的特性、耐熱性、耐腐食性、摩擦減衰性、熱伝導性、電気伝導性を備えています。
CVD-SiCこのコーティングは、均一な構造、緻密な材料、耐高温性、耐酸化性、高純度、耐酸性・耐アルカリ性、耐有機試薬性といった特徴を持ち、安定した物理的・化学的性質を有しています。
高純度グラファイト材料と比較すると、グラファイトは400℃で酸化が始まり、酸化による粉末の損失を引き起こし、周辺機器や真空チャンバーの環境汚染、高純度環境の不純物の増加につながる。
しかし、SiCコーティングは1600度でも物理的および化学的安定性を維持できるため、現代産業、特に半導体産業で広く使用されています。
当社は、グラファイト、セラミックス、その他の材料の表面にCVD法によるSiCコーティング加工サービスを提供しています。この加工では、炭素とシリコンを含む特殊ガスを高温で反応させ、高純度のSiC分子を生成します。生成された分子はコーティング対象材料の表面に堆積し、SiC保護層を形成します。形成されたSiCはグラファイト基材にしっかりと結合し、グラファイト基材に特殊な特性を付与します。これにより、グラファイト表面は緻密で、気孔がなく、耐高温性、耐腐食性、耐酸化性に優れたものとなります。
主な特徴：
1. 高温酸化耐性：
1600℃という高温でも、酸化耐性は非常に良好です。
2. 高純度：高温塩素化条件下での化学気相堆積法により製造。
3. 耐侵食性：高硬度、緻密な表面、微細粒子。
4. 耐腐食性：酸、アルカリ、塩、有機試薬。
CVD-SICコーティングの主な仕様：
| SiC-CVD | ||
| 密度 | (g/cc)
| 3.21 |
| 曲げ強度 | (Mpa)
| 470 |
| 熱膨張 | (10-6/K) | 4
|
| 熱伝導率 | （W/mK） | 300
|
