グラファイトボート

PECVDグラファイトボートは、プラズマ化学気相成長（PECVD）プロセスにおいてシリコンウェーハを搬送するための重要な部品です。主に太陽電池のパッシベーション膜および反射防止膜の形成プロセスで使用されます。

VET Energyは、高品質のPECVDグラファイトボートと関連サービスを提供しています。当社の製品は、長寿命、優れた温度均一性、最適化されたガス流量分布を特徴としています。革新的な設計と厳格な品質管理により、当社は業界をリードするグラファイトボートソリューションプロバイダーとなっています。当社は CAS の専門技術チームと自社の研究所を擁しており、次のような大きな利点があります。 ▪ 独立した研究開発能力 ▪ 精密製造 ▪ プロフェッショナルな技術チーム ▪ 包括的な品質システム ▪ 迅速な対応サービス ▪ カスタマイズ機能

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