VET Energy PECVDローディングトレイは、PECVD（プラズマ化学気相成長）プロセス用に設計された精密キャリアです。この高品質な堆積グラファイトトレイは、高純度・高密度のグラファイト材料で作られており、優れた耐高温性、耐腐食性、寸法安定性などの特性を備えています。PECVDプロセスに安定したキャリアプラットフォームを提供し、膜堆積の均一性と平坦性を確保します。
VET EnergyのPECVDローディングトレイは、半導体、太陽光発電、LEDなどの分野で広く使用されています。例えば：
▪ 半導体：シリコンウェーハやエピタキシャルウェーハなどの半導体材料のPECVDプロセス。
▪ 太陽光発電：太陽電池薄膜用の PECVD プロセス。
▪ LED: LED チップ用の PECVD プロセス。
製品の利点
▪フィルム品質の向上:均一なフィルム堆積を保証し、フィルム品質を向上させます。
▪機器の寿命を延ばす:耐腐食性に優れ、PECVD 装置の耐用年数を延ばします。
▪生産コストを削減:高品質のグラファイトトレイは廃棄率を低減し、生産コストを削減します。
SGLのグラファイト材料：
| 標準パラメータ: R6510 | |||
| 索引 | 試験基準 | 価値 | ユニット |
| 平均粒径 | ISO 13320 | 10 | μm |
| かさ密度 | DIN IEC 60413/204 | 1.83 | g/cm3 |
| 開放気孔率 | DIN66133 | 10 | % |
| 中程度の孔径 | DIN66133 | 1.8 | μm |
| 透過性 | DIN 51935 | 0.06 | cm²/秒 |
| ロックウェル硬度 HR5/100 | DIN IEC60413/303 | 90 | HR |
| 比電気抵抗率 | DIN IEC 60413/402 | 13 | μΩm |
| 曲げ強度 | DIN IEC 60413/501 | 60 | MPa |
| 圧縮強度 | DIN 51910 | 130 | MPa |
| ヤング率 | DIN 51915 | 11.5×10³ | MPa |
| 熱膨張（20～200℃） | DIN 51909 | 4.2×10-6 | K-1 |
| 熱伝導率（20℃） | DIN 51908 | 105 | Wm-1K-1 |
高効率太陽電池製造向けに特別に設計されており、G12の大型ウェハ処理をサポートします。最適化されたキャリア設計によりスループットが大幅に向上し、歩留まりの向上と生産コストの削減を実現します。
| アイテム | タイプ | ウエハキャリア番号 |
| PEVCD グレファイトボート - 156シリーズ | 156-13 グレファイトボート | 144 |
| 156-19 グレファイトボート | 216 | |
| 156-21 グレファイトボート | 240 | |
| 156-23 グラファイトボート | 308 | |
| PEVCD グレファイトボート - 125シリーズ | 125-15 グレファイトボート | 196 |
| 125-19 グレファイトボート | 252 | |
| 125-21 グラファイトボート | 280 |
