VET EnergyのPECVDローディングトレイは、PECVD（プラズマ強化化学気相成長法）プロセス用に設計された精密キャリアです。この高品質な成膜用グラファイトトレイは、高純度・高密度のグラファイト素材で作られています。優れた耐高温性、耐腐食性、寸法安定性などの特性を備えています。PECVDプロセスにおいて安定したキャリアプラットフォームを提供し、成膜の均一性と平坦性を確保します。
VET Energy社のPECVDローディングトレイは、半導体、太陽光発電、LEDなどの分野で幅広く使用されています。例えば、以下のような用途があります。
▪ 半導体：シリコンウェーハやエピタキシャルウェーハなどの半導体材料に対するPECVDプロセス。
▪ 太陽光発電：太陽電池薄膜用のPECVDプロセス。
▪ LED：LEDチップ用のPECVDプロセス。
製品の利点
▪フィルムの品質を向上させる：均一な成膜を確保し、膜の品質を向上させる。
▪機器の寿命を延ばす：優れた耐食性により、PECVD装置の耐用年数を延ばします。
▪生産コストを削減する：高品質のグラファイトトレイを使用することで、不良率を低減し、生産コストを削減できます。
SGL社製グラファイト素材：
| 標準パラメータ：R6510 | |||
| 索引 | 試験規格 | 価値 | ユニット |
| 平均粒径 | ISO 13320 | 10 | μm |
| かさ密度 | DIN IEC 60413/204 | 1.83 | g/cm3 |
| 開放多孔性 | DIN66133 | 10 | % |
| 中程度の孔径 | DIN66133 | 1.8 | μm |
| 透過性 | DIN 51935 | 0.06 | cm²/秒 |
| ロックウェル硬度 HR5/100 | DIN IEC60413/303 | 90 | HR |
| 比電気抵抗率 | DIN IEC 60413/402 | 13 | μΩm |
| 曲げ強度 | DIN IEC 60413/501 | 60 | MPa |
| 圧縮強度 | DIN 51910 | 130 | MPa |
| ヤング率 | DIN 51915 | 11.5×10³ | MPa |
| 熱膨張（20～200℃） | DIN 51909 | 4.2×10-6 | K-1 |
| 熱伝導率（20℃） | DIN 51908 | 105 | Wm-1K-1 |
高効率太陽電池製造向けに特別に設計されており、G12大型ウェハの処理に対応しています。最適化されたキャリア設計によりスループットが大幅に向上し、歩留まりの向上と生産コストの削減を実現します。
| アイテム | タイプ | 番号ウェハーキャリア |
| PEVCD グレファイトボート - 156シリーズ | 156-13 グレフィテボート | 144 |
| 156-19 グレフィテボート | 216 | |
| 156-21 グレファイトボート | 240 | |
| 156-23 グラファイトボート | 308 | |
| PEVCD グレファイトボート - 125シリーズ | 125-15 グレファイトボート | 196 |
| 125-19 グレファイトボート | 252 | |
| 125-21 グラファイトボート | 280 |
