PECVDグラファイトウェーハサポート

VET EnergyのPECVDプロセス用グラファイトウェーハサポートは、PECVD（プラズマ化学気相成長）プロセス用に設計されたコア消耗品です。高純度・高密度のグラファイト材料で作られており、優れた耐高温性、耐腐食性、寸法安定性などの特性を備えており、PECVDプロセスに安定したサポートプラットフォームを提供し、膜堆積の均一性と平坦性を確保します。

VET Energy グラファイト ウェーハ サポートの「グラファイト サポート」設計は、ウェーハを効果的にサポートできるだけでなく、高温高圧 PECVD 環境での熱安定性も提供し、プロセスの安定性を確保します。

VET Energy PECVD プロセス グラファイト ウェーハ サポートには次の特性があります。

▪高純度：不純物含有量が極めて低く、フィルムの汚染を防ぎ、フィルムの品質を保証します。

▪高密度：高密度、高機械的強度、高温高圧PECVD環境に耐えることができます。

▪優れた寸法安定性：高温でも寸法変化が少なく、プロセスの安定性が確保されます。

▪優れた熱伝導性：熱を効果的に伝達し、ウェハの過熱を防ぎます。

▪強力な耐腐食性：各種腐食性ガスやプラズマによる侵食に耐えます。

▪カスタマイズサービス:さまざまなサイズと形状のグラファイト サポート テーブルを、お客様のニーズに合わせてカスタマイズできます。