VET Energyのグラファイトウェーハボートは、半導体、太陽光発電などの産業における堆積プロセス向けにカスタマイズされた高品質の消耗品です。高純度・高密度のグラファイト材料で作られたこの製品は、優れた耐高温性、耐腐食性、寸法安定性などの特性を備えており、堆積プロセスに安定したキャリアプラットフォームを提供し、薄膜堆積の均一性と平坦性を確保します。
VET EnergyのPECVDグラファイトボートは、高純度アイソスタティックグラファイトを使用し、気孔率15%未満、表面粗さRa≤1.6μmを実現しています。優れた寸法安定性と熱伝導性により、均一な膜堆積とセル効率の向上を実現します。
SGLのグラファイト材料：
| 標準パラメータ: R6510 | |||
| 索引 | 試験基準 | 価値 | ユニット |
| 平均粒径 | ISO 13320 | 10 | μm |
| かさ密度 | DIN IEC 60413/204 | 1.83 | g/cm3 |
| 開放気孔率 | DIN66133 | 10 | % |
| 中程度の孔径 | DIN66133 | 1.8 | μm |
| 透過性 | DIN 51935 | 0.06 | cm²/秒 |
| ロックウェル硬度 HR5/100 | DIN IEC60413/303 | 90 | HR |
| 比電気抵抗率 | DIN IEC 60413/402 | 13 | μΩm |
| 曲げ強度 | DIN IEC 60413/501 | 60 | MPa |
| 圧縮強度 | DIN 51910 | 130 | MPa |
| ヤング率 | DIN 51915 | 11.5×10³ | MPa |
| 熱膨張（20～200℃） | DIN 51909 | 4.2×10-6 | K-1 |
| 熱伝導率（20℃） | DIN 51908 | 105 | Wm-1K-1 |
高効率太陽電池製造向けに特別に設計されており、G12の大型ウェハ処理をサポートします。最適化されたキャリア設計によりスループットが大幅に向上し、歩留まりの向上と生産コストの削減を実現します。
| アイテム | タイプ | ウエハキャリア番号 |
| PEVCD グレファイトボート - 156シリーズ | 156-13 グレファイトボート | 144 |
| 156-19 グレファイトボート | 216 | |
| 156-21 グレファイトボート | 240 | |
| 156-23 グラファイトボート | 308 | |
| PEVCD グレファイトボート - 125シリーズ | 125-15 グレファイトボート | 196 |
| 125-19 グレファイトボート | 252 | |
| 125-21 グラファイトボート | 280 |
