VET Energyのグラファイトウェハボートは、半導体、太陽光発電などの業界における成膜プロセス向けに設計された高品質の消耗品です。高純度・高密度のグラファイト素材を使用しており、優れた耐高温性、耐腐食性、寸法安定性などの特性を備え、成膜プロセスにおいて安定したキャリアプラットフォームを提供することで、薄膜成膜の均一性と平坦性を確保します。
VET Energy社製のPECVDグラファイトボートは、高純度等方性グラファイトを使用して製造されており、気孔率15%以下、表面粗さRa≤1.6μmという優れた特性を備えています。この優れた寸法安定性と熱伝導性により、均一な成膜とセル効率の向上を実現します。
SGL社製グラファイト素材：
| 標準パラメータ：R6510 | |||
| 索引 | 試験規格 | 価値 | ユニット |
| 平均粒径 | ISO 13320 | 10 | μm |
| かさ密度 | DIN IEC 60413/204 | 1.83 | g/cm3 |
| 開放多孔性 | DIN66133 | 10 | % |
| 中程度の孔径 | DIN66133 | 1.8 | μm |
| 透過性 | DIN 51935 | 0.06 | cm²/秒 |
| ロックウェル硬度 HR5/100 | DIN IEC60413/303 | 90 | HR |
| 比電気抵抗率 | DIN IEC 60413/402 | 13 | μΩm |
| 曲げ強度 | DIN IEC 60413/501 | 60 | MPa |
| 圧縮強度 | DIN 51910 | 130 | MPa |
| ヤング率 | DIN 51915 | 11.5×10³ | MPa |
| 熱膨張（20～200℃） | DIN 51909 | 4.2×10-6 | K-1 |
| 熱伝導率（20℃） | DIN 51908 | 105 | Wm-1K-1 |
高効率太陽電池製造向けに特別に設計されており、G12大型ウェハの処理に対応しています。最適化されたキャリア設計によりスループットが大幅に向上し、歩留まりの向上と生産コストの削減を実現します。
| アイテム | タイプ | 番号ウェハーキャリア |
| PEVCD グレファイトボート - 156シリーズ | 156-13 グレフィテボート | 144 |
| 156-19 グレフィテボート | 216 | |
| 156-21 グレファイトボート | 240 | |
| 156-23 グラファイトボート | 308 | |
| PEVCD グレファイトボート - 125シリーズ | 125-15 グレファイトボート | 196 |
| 125-19 グレファイトボート | 252 | |
| 125-21 グラファイトボート | 280 |
