SiC コーティングされたグラファイト サセプターは、さまざまな半導体製造プロセスで使用される重要なコンポーネントです。当社では特許取得済みの技術を使用して、極めて高い純度、優れたコーティング均一性、優れた耐用年数、および高い耐薬品性と熱安定性を備えたサセプターを製造しています。
当社の製品の特徴:
1. 1700℃までの高温酸化耐性。
2. 高純度と熱均一性
3. 優れた耐腐食性：酸、アルカリ、塩、有機試薬。
4. 硬度が高く、表面が緻密で、粒子が細かい。
5. 長寿命と耐久性の向上
| CVD SiC膜の基本物理性能 CVD SiCの基本的な物理的特性コーティング | |
| 性质 / 財産 | 典型的な数値 / 標準値 |
| 結晶構造 / 結晶構造 | FCCβ相多結晶、主である（111）取向 |
| 密度 / 密度 | 3.21 g/cm³ |
| 硬度 / 硬度 | 2500维度硬度（500g荷重） |
| 結晶粒大小 / 粒度 | 2～10μm |
| 度 / 化学純度 | 99.99995% |
| 熱容 / 熱容量 | 640 J·kg-1·K-1 |
| 昇华温度 / 昇華温度 | 2700℃ |
| 抗强度 / 曲げ強度 | 415 MPa RT 4点 |
| 杨氏模量 / ヤング率 | 430 Gpa 4点曲げ、1300℃ |
| 导熱系数 / サーマl導電率 | 300W·m-1·K-1 |
| 熱膨張胀系数 / 熱膨張率(CTE) | 4.5×10-6K-1 |
VET Energy は、SiC コーティング、TaC コーティング、ガラス状炭素コーティング、熱分解炭素コーティングなどのさまざまなコーティングを施したカスタマイズされたグラファイトおよび炭化ケイ素製品の実際の製造業者であり、半導体および太陽光発電業界向けのさまざまなカスタマイズされた部品を供給できます。
当社の技術チームは国内トップクラスの研究機関出身者で構成されており、より専門的な材料ソリューションを提供できます。
当社は、より高度な材料を提供するために高度なプロセスを継続的に開発しており、コーティングと基材の結合をより強固にし、剥離しにくくする独自の特許技術を開発しました。
弊社の工場へのご訪問を心より歓迎いたします。ぜひ、さらなる話し合いをさせてください。
