CVDコーティングを施した再結晶シリコンカーバイドウェーハボート

簡単な説明:

VET Energy社製再結晶シリコンカーバイドウェーハボートは、長期にわたり安定した信頼性の高い性能を発揮するように設計された高性能製品です。優れた耐熱性と熱均一性、高純度、耐浸食性を備えており、ウェーハ処理アプリケーションに最適なソリューションです。


製品詳細

製品タグ

再結晶シリコンカーバイドの特性

再結晶炭化ケイ素(R-SiC)は、2000℃以上の高温で生成される、ダイヤモンドに次ぐ硬度を持つ高性能材料です。高温強度、強力な耐腐食性、優れた耐酸化性、優れた耐熱衝撃性など、SiCの優れた特性を多く備えています。

● 優れた機械的特性。再結晶シリコンカーバイドは、炭素繊維よりも高い強度と剛性、高い耐衝撃性を備え、極端な温度環境でも良好な性能を発揮し、様々な状況で優れたカウンターバランス性能を発揮します。さらに、優れた柔軟性も備えており、伸張や曲げによる損傷を受けにくいため、性能が大幅に向上します。

● 高い耐食性。再結晶シリコンカーバイドは、様々な媒体に対して高い耐食性を有し、様々な腐食性媒体の浸食を防止し、機械的特性を長期間維持します。また、強力な接着力を備えているため、長寿命です。さらに、優れた熱安定性も備えており、一定範囲の温度変化に適応し、適用効果を高めます。

● 焼結収縮なし 焼結工程では収縮が発生しないため、残留応力による製品の変形や割れがなく、複雑形状や高精度な部品の製造が可能です。

画像_9497
画像_9503

重結晶炭化硅の物理的特性

再結晶シリコンカーバイドの物理的特性

性质 / 財産

典型的な数値 / 標準値

使用温度/ 動作温度(°C)

1600℃(酸素あり)、1700℃(還元環境)

SiC含有量/ SiC含有量

> 99.96%

自由Si含有量/ フリーSiコンテンツ

0.1%未満

体密度/かさ密度

2.60~2.70 g/cm3

通気率/ 見かけの気孔率

16%未満

耐圧強度/ 圧縮強度

> 600MPa

常温耐弯强度/冷間曲げ強度

80~90 MPa(20℃)

高温耐性强度熱間曲げ強度

90~100 MPa(1400℃)

熱膨張胀系数/ 1500°Cでの熱膨張

4.70 10-6/℃

导熱系数/熱伝導率(1200°C)

23W/m•K

杨氏模量/ 弾性率

240万気圧

耐熱震性/ 耐熱衝撃性

非常に良い

VETエネルギーは そのCVDコーティングを施したカスタマイズされたグラファイトおよび炭化ケイ素製品の真のメーカー、供給できる様々な半導体および太陽光発電産業向けのカスタマイズ部品。 O当社の技術チームは国内トップクラスの研究機関出身で、より専門的な材料ソリューションを提供できます。あなたのために。

当社は、より高度な材料を提供するために、高度なプロセスを継続的に開発しています。そしてコーティングと基材の接着をより強固にし、剥離しにくくする独自の特許技術を開発しました。

CVD SiC膜の基本物理性能

CVD SiCの基本的な物理的特性コーティング

性质 / 財産

典型的な数値 / 標準値

結晶構造 / 結晶構造

FCCβ相多結晶、主である(111)取向

密度 / 密度

3.21 g/cm³

硬度 / 硬度

2500维度硬度(500g荷重)

結晶粒大小 / 粒度

2~10μm

/ 化学純度

99.99995%

熱容 / 熱容量

640 J·kg-1·K-1

昇华温度 / 昇華温度

2700℃

抗强度 / 曲げ強度

415 MPa RT 4点

杨氏模量 / ヤング率

430 Gpa 4点曲げ、1300℃

导熱系数 / サーマl導電率

300W·m-1·K-1

熱膨張胀系数 / 熱膨張率(CTE)

4.5×10-6K-1

1

2

弊社の工場へのご訪問を心より歓迎いたします。ぜひ、さらなる話し合いをさせてください。

研発团队

 

生设备

 

公司客户


  • 前の:
  • 次:

  • WhatsAppオンラインチャット!