De met SiC gecoate grafietsusceptor is een essentieel onderdeel dat in diverse halfgeleiderproductieprocessen wordt gebruikt. We gebruiken onze gepatenteerde technologie om de susceptor te produceren met een extreem hoge zuiverheid, een goede coatinguniformiteit en een uitstekende levensduur, evenals een hoge chemische bestendigheid en thermische stabiliteit.
Kenmerken van onze producten:
1. Bestand tegen oxidatie bij hoge temperaturen tot 1700℃.
2. Hoge zuiverheid en thermische uniformiteit
3. Uitstekende corrosiebestendigheid: bestand tegen zuren, basen, zouten en organische reagentia.
4. Hoge hardheid, compact oppervlak, fijne deeltjes.
5. Langere levensduur en duurzamer
| Hart- en vaatziekten SiC薄膜基本物理性能 Basis fysische eigenschappen van CVD SiCcoating | |
| 性质 / Eigendom | 典型数值 / Typische waarde |
| Ik denk dat dit het geval is / Kristalstructuur | FCC β-fase多晶，主要为（111）取向 |
| 密度 / Dikte | 3,21 g/cm³ |
| 硬度 / Hardheid | 2500 维氏硬度(500g belasting) |
| 晶粒大小 / Korrelgrootte | 2~10 μm |
| 纯度 / Chemische zuiverheid | 99,99995% |
| 热容 / Warmtecapaciteit | 640 J·kg-1·K-1 |
| 升华温度 / Sublimatietemperatuur | 2700℃ |
| Geen probleem / Buigsterkte | 415 MPa RT 4-punts |
| 杨氏模量 / Young's modulus | 430 GPA 4-punts buiging, 1300℃ |
| 导热系数 / ThermalGeleidbaarheid | 300W·m-1·K-1 |
| 热膨胀系数 / Thermische uitzetting (CTE) | 4,5×10-6K-1 |
VET Energy is een echte fabrikant van op maat gemaakte grafiet- en siliciumcarbideproducten met verschillende coatings zoals SiC-coating, TaC-coating, glasachtige koolstofcoating, pyrolytische koolstofcoating, enz., en kan diverse op maat gemaakte onderdelen leveren voor de halfgeleider- en fotovoltaïsche industrie.
Ons technische team is afkomstig van vooraanstaande binnenlandse onderzoeksinstellingen en kan u professionelere materiaaloplossingen bieden.
We ontwikkelen voortdurend geavanceerde processen om steeds betere materialen te leveren en hebben een exclusieve, gepatenteerde technologie ontwikkeld die de hechting tussen de coating en het substraat sterker maakt en de kans op loslaten verkleint.
Wij heten u van harte welkom in onze fabriek. Laten we de mogelijkheden bespreken!
