TaC-gecoate grafietring

VET Energy richt zich op de R&D en productie van hoogwaardige CVD-gecoate tantaalcarbide (TaC) grafietringen en streeft ernaar essentiële verbruiksmaterialen te leveren voor de halfgeleider-, fotovoltaïsche en hogetemperatuurindustrie. Onze zelfontwikkelde CVD-technologie (Chemical Vapor Deposition) vormt door middel van precisieprocessen een dichte en uniforme tantaalcarbidecoating op het oppervlak van het grafietsubstraat. Dit verbetert de hoge temperatuurbestendigheid (>3000℃), corrosiebestendigheid en thermische schokbestendigheid van het product aanzienlijk, verlengt de levensduur met meer dan een factor 3 en verlaagt de totale kosten voor de klant.

Onze technische voordelen:
1. Hoge oxidatieweerstand
In een luchtatmosfeer van 1200℃ bedraagt ​​de oxidatiegewichtstoename ≤0,05 mg/cm²/u, wat meer dan drie keer de oxidatiebestendigheid van gewoon grafiet is en het geschikt maakt voor omstandigheden met een hoogfrequent verwarmings- en koelcyclus.
2. Weerstand tegen corrosie door gesmolten silicium/metaal
De TaC-coating is extreem inert ten opzichte van metalen zoals vloeibaar silicium (1600℃), gesmolten aluminium/koper, enz., waardoor structurele schade aan traditionele geleidingsringen als gevolg van metaalpenetratie wordt voorkomen. Deze coating is met name geschikt voor vermogenshalfgeleiders en de productie van halfgeleiders van de derde generatie.
3. Ultralage deeltjesverontreiniging
Het CVD-proces bereikt een coatingdichtheid van >99,5% en een oppervlakteruwheid van Ra≤0,2 μm, waardoor het risico op deeltjesafgifte vanuit de bron wordt verminderd en wordt voldaan aan de strenge reinheidseisen voor de productie van 12-inch wafers.
4. Nauwkeurige maatcontrole
Dankzij CNC-precisiebewerking bedraagt ​​de maattolerantie van het grafietsubstraat ±0,01 mm en de totale vervorming na coating <±5 μm, waardoor het geschikt is voor installatie in precisiekamers van hoogspanningsapparatuur.