TaC gecoate grafietring

VET Energy richt zich op R&D en productie van hoogwaardige CVD-tantaalcarbide (TaC)-gecoate grafietringen en zet zich in voor het leveren van oplossingen voor kernverbruiksmaterialen voor de halfgeleider-, fotovoltaïsche en hogetemperatuurindustrie. Onze onafhankelijk ontwikkelde chemische dampdepositie (CVD)-technologie vormt door middel van nauwkeurige processen een dichte en uniforme tantaalcarbidecoating op het oppervlak van het grafietsubstraat. Dit verbetert de hoge temperatuurbestendigheid (> 3000 ℃), corrosiebestendigheid en thermische schokbestendigheid van het product aanzienlijk, waardoor de levensduur met meer dan drie keer wordt verlengd en de totale kosten voor klanten worden verlaagd.

Onze technische voordelen:
1. Hoge temperatuur oxidatiebestendigheid
In een luchttemperatuur van 1200℃ bedraagt ​​de oxidatiegewichtstoename ≤0,05 mg/cm²/u. Dit is meer dan 3 keer de oxidatiebestendigheid van gewoon grafiet en is geschikt voor hoogfrequente verwarmings-/koelcyclusomstandigheden.
2. Weerstand tegen corrosie van gesmolten silicium/metaal
TaC-coating is extreem inert voor metalen zoals vloeibaar silicium (1600℃), gesmolten aluminium/koper, enz., waardoor structureel falen van traditionele geleideringen vanwege metaalpenetratie wordt voorkomen. TaC-coating is met name geschikt voor vermogenhalfgeleiders en de productie van derde-generatie halfgeleiders.
3. Ultra-lage deeltjesverontreiniging
Met het CVD-proces wordt een coatingdichtheid van >99,5% en een oppervlakteruwheid van Ra≤0,2μm bereikt, waardoor het risico op deeltjesafscheiding uit de bron wordt verminderd en aan de strenge reinheidseisen voor de productie van 12-inch wafers wordt voldaan.
4. Nauwkeurige maatcontrole
Door het toepassen van CNC-precisiebewerking bedraagt ​​de maattolerantie van het grafietsubstraat ±0,01 mm en de algehele vervorming na coating <±5 μm, wat geschikt is voor installatie in ruimtes voor zeer precieze apparatuur.