Mama taula'i ufiufi CVD

Mama fa'atatau o le ufiufi CVD Ata Fa'aalia

Fa'amatalaga Pupuu:

O le CVD Coating Focus Ring mo le Plasma Etching ua mamanuina e faʻaleleia atili ai le tufatufaina atu o le plasma ma faʻaleleia atili ai le tutusa o le etching i totonu o faiga etch faʻapitoa. O loʻo i ai se substrate malosi o le Si poʻo le SiC faʻatasi ai ma le ufiufi CVD SiC mama maualuga, e maua ai le teteʻe sili atu i le plasma, le gaosia o vaega laiti, ma le umi o le ola tautua. E faʻaaogaina lautele i le ICP ma le CCP plasma etching processes, o lenei focus ring e faʻaitiitia ai aʻafiaga o pito, faʻamautu le amio ion, ma puipuia vaega o le potu mai le soloia ma le faʻaleagaina. O se mea taua tele mo le ausiaina o le maualuga o le fua ma le tutusa o le faagasologa i le gaosiga o semiconductor faʻapitoa.

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Fa'amatalaga o le oloa

Fa'ailoga o Oloa

O le CVD Coating Focus Ring mo le Plasma Etching o se vaega taua tele e faʻaaogaina i faiga faʻapitoa o le semiconductor etching. Ua mamanuina i se fausaga tuʻufaʻatasi o le substrate + CVD coating, o lenei oloa ua mamanuina e faʻaleleia atili ai le tufatufaina atu o le plasma, faʻaleleia atili ai le tutusa o le etching, ma faʻalauteleina ai le umi e ola ai le vaega o le chamber.

I le Vet Energy, matou te faʻaaogaina le tomai loloto i le tekinolosi o le chemical vapor deposition (CVD) ma mea faʻa-seramika faʻaonaponei e tuʻuina atu ai mama faʻatatau e fetaui ma manaʻoga faigata o semiconductor nodes faʻaonaponei, e aofia ai le FinFET ma le 3D NAND processes.

Matafaioi o le Mama Fa'amafa i le Plasma Etching

I faiga e fa'apipi'i ai le plasma (e pei o le ICP ma le CCP reactors), o le mama taula'i e tu'u i tafatafa o le wafer edge ma e taua tele lona sao i le mautu o le fa'agasologa ma le fa'atinoga o le fua.

1. Puleaina o le Tutusa o le Plasma

O le mama taula'i e galue o se tuaoi eletise ma faaletino e fesoasoani e fa'atonutonu le tufatufaina atu o le plasma density i luga o le fogā'ele'ele wafer.

Fa'amanuiaga autū:

● Fa'aleleia atili le tutusa o le fua fa'asolo
● Fa'aitiitia le fesuia'iga mai le ogatotonu i le pito
● Fa'aleleia atili le toe faia o le faagasologa

2. Taui o Aafiaga o le Pito

A aunoa ma se mama fa'atatau, o le fa'aletonu o le ufi plasma i le pito o le wafer e mafai ona o'o atu ai i le le tutusa o le etching.

O le mama taula'i e galue lelei o se "fa'aopoopoga fa'apitoa o le wafer", e fa'aitiitia ai mea fa'aletonu e feso'ota'i ma pito e pei o:

● So'ona olo i pito o le apa
● Fa'aletonu o le fua taua (CD)
● Fa'aletonu o le talaaga

3. Auala o le Ion ma le Puleaina o le Malosiaga

I le faʻaosofiaina o le fanua eletise i le lotoifale, e fesoasoani le mama taulaʻi e faʻamautu ai tulimanu o le ion ma le tufatufaina atu o le malosi, lea e taua tele mo:

● Fa'ailogaina o le fua fa'atatau maualuga (HAR)
● Puleaina o le talaaga anisotropic
● Fa'aitiitia le fa'aleagaina o le puipui i autafa