Mahitaji ya sekta ya semiconductor ya mahitaji ya nyenzo za grafiti ni ya juu sana, saizi ndogo ya chembe ya grafiti ina usahihi wa juu, upinzani wa joto la juu, nguvu ya juu, hasara ndogo na faida zingine, kama vile: ukungu wa bidhaa za grafiti zilizochomwa.Kwa sababu vifaa vya grafiti vinavyotumika katika tasnia ya nusu-semiconductor (ikiwa ni pamoja na hita na die zake zilizochomwa) vinahitajika kuhimili michakato ya kupasha joto na kupoeza mara kwa mara, ili kuongeza muda wa matumizi ya vifaa vya grafiti, kwa kawaida inahitajika kwamba vifaa vya grafiti vinavyotumika viwe na utendaji thabiti na utendaji kazi wa kuhimili joto.
01 Vifaa vya grafiti kwa ajili ya ukuaji wa fuwele za nusu nusu
Michakato yote inayotumika kukuza fuwele za nusu-semiconductor inafanya kazi chini ya halijoto ya juu na mazingira ya babuzi. Eneo la joto la tanuru ya ukuaji wa fuwele kwa kawaida huwa na vifaa vya grafiti vyenye usafi wa hali ya juu vinavyostahimili joto na kutu, kama vile hita, kitu cha kuchomea, silinda ya insulation, silinda ya mwongozo, elektrodi, kishikilia kitu cha kuchomea, nati ya elektrodi, n.k.
Tunaweza kutengeneza sehemu zote za grafiti za vifaa vya uzalishaji wa fuwele, ambazo zinaweza kutolewa moja moja au katika seti, au sehemu za grafiti zilizobinafsishwa za ukubwa mbalimbali kulingana na mahitaji ya mteja. Ukubwa wa bidhaa unaweza kupimwa mahali pa kazi, na kiwango cha majivu cha bidhaa zilizokamilika kinaweza kuwa kidogo.kuliko 5ppm.
02 Vifaa vya grafiti kwa epitaksi ya semiconductor
Mchakato wa Epitaxial unarejelea ukuaji wa safu ya nyenzo moja ya fuwele yenye mpangilio sawa wa kimiani kama substrate kwenye substrate moja ya fuwele. Katika mchakato wa epitaxial, wafer hupakiwa kwenye diski ya grafiti. Utendaji na ubora wa diski ya grafiti huchukua jukumu muhimu katika ubora wa safu ya epitaxial ya wafer. Katika uwanja wa uzalishaji wa epitaxial, grafiti nyingi ya usafi wa hali ya juu na msingi wa grafiti ya usafi wa hali ya juu yenye mipako ya SIC inahitajika.
Msingi wa grafiti wa kampuni yetu kwa epitaksi ya semiconductor una matumizi mbalimbali, unaweza kuendana na vifaa vingi vinavyotumika sana katika tasnia, na una usafi wa hali ya juu, mipako sare, maisha bora ya huduma, na upinzani mkubwa wa kemikali na uthabiti wa joto.
03 Vifaa vya grafiti kwa ajili ya kupandikiza ioni
Upandikizaji wa ioni hurejelea mchakato wa kuharakisha boriti ya plasma ya boroni, fosforasi na arseniki kwa nishati fulani, na kisha kuiingiza kwenye safu ya uso wa nyenzo ya wafer ili kubadilisha sifa za nyenzo za safu ya uso. Vipengele vya kifaa cha upandikizaji wa ioni vitatengenezwa kwa nyenzo zenye usafi wa hali ya juu zenye upinzani bora wa joto, upitishaji joto, kutu kidogo kunakosababishwa na boriti ya ioni na kiwango kidogo cha uchafu. Grafiti yenye usafi wa hali ya juu inakidhi mahitaji ya matumizi, na inaweza kutumika kwa bomba la kuruka, mipasuko mbalimbali, elektrodi, vifuniko vya elektrodi, mifereji, vizima boriti, n.k. vya vifaa vya upandikizaji wa ioni.
Hatuwezi tu kutoa kifuniko cha kinga ya grafiti kwa mashine mbalimbali za kupandikiza ioni, lakini pia kutoa elektrodi za grafiti zenye usafi wa hali ya juu na vyanzo vya ioni zenye upinzani mkubwa wa kutu wa vipimo mbalimbali. Mifumo inayotumika: Eaton, Azcelis, Quatum, Varian, Nissin, AMAT, LAM na vifaa vingine. Zaidi ya hayo, tunaweza pia kutoa kauri inayolingana, tungsten, molybdenum, bidhaa za alumini na sehemu zilizofunikwa.
04 Vifaa vya kuhami joto vya grafiti na vingine
Vifaa vya kuhami joto vinavyotumika katika vifaa vya uzalishaji wa nusu-semiconductor ni pamoja na feri ngumu ya grafiti, feri laini, foil ya grafiti, karatasi ya grafiti, na kamba ya grafiti.
Malighafi zetu zote ni grafiti kutoka nje, ambayo inaweza kukatwa kulingana na ukubwa maalum wa mahitaji ya mteja au kuuzwa kwa ujumla.
Trei ya kaboni-kaboni hutumika kama kibebaji cha mipako ya filamu katika mchakato wa uzalishaji wa seli za silicon monocrystalline ya jua na silicon polycrystalline. Kanuni ya kufanya kazi ni: ingiza chipu ya silicon kwenye trei ya CFC na uitume kwenye bomba la tanuru ili kusindika mipako ya filamu.
