Grafitni susceptor obložen SiC-om je ključna komponenta koja se koristi u raznim procesima proizvodnje poluprovodnika. Koristimo našu patentiranu tehnologiju kako bismo napravili susceptor izuzetno visoke čistoće, dobre ujednačenosti premaza i odličnog vijeka trajanja, kao i visoke hemijske otpornosti i termičke stabilnosti.
Karakteristike naših proizvoda:
1. Otpornost na oksidaciju na visokim temperaturama do 1700℃.
2. Visoka čistoća i termička ujednačenost
3. Odlična otpornost na koroziju: kiseline, alkalije, soli i organski reagensi.
4. Visoka tvrdoća, kompaktna površina, fine čestice.
5. Duži vijek trajanja i izdržljiviji
| KVB SiC薄膜基本物理性能 Osnovna fizička svojstva CVD SiC-apremaz | |
| 性质 / Nekretnina | 典型数值 / Tipična vrijednost |
| 晶体结构 / Kristalna struktura | FCC β faza多晶,主要为(111)取向 |
| 密度 / Gustoća | 3,21 g/cm³ |
| 硬度 / Tvrdoća | 2500 维氏硬度 (500g opterećenje) |
| 晶粒大小 / Veličina zrna | 2~10μm |
| 纯度 / Hemijska čistoća | 99,99995% |
| 热容 / Toplotni kapacitet | 640 J·kg-1·K-1 |
| 升华温度 / Temperatura sublimacije | 2700℃ |
| 抗弯强度 / Čvrstoća na savijanje | 415 MPa RT 4-tačkasti |
| 杨氏模量 Youngov modul | 430 Gpa savijanje od 4pt, 1300℃ |
| 导热系数 / TermalProvodljivost | 300 W·m-1·K-1 |
| 热膨胀系数 / Termičko širenje (CTE) | 4,5×10-6K-1 |
VET Energy je pravi proizvođač prilagođenih grafitnih i silicijum-karbidnih proizvoda s različitim premazima poput SiC premaza, TaC premaza, premaza od staklastog ugljika, pirolitičkog ugljičnog premaza itd., te može isporučiti razne prilagođene dijelove za poluprovodničku i fotonaponsku industriju.
Naš tehnički tim dolazi iz vodećih domaćih istraživačkih institucija i može vam pružiti profesionalnija materijalna rješenja.
Neprestano razvijamo napredne procese kako bismo obezbijedili još naprednije materijale i razvili smo ekskluzivnu patentiranu tehnologiju koja može učiniti vezu između premaza i podloge čvršćom i manje sklonom odvajanju.
Srdačno vas pozdravljamo da posjetite našu fabriku, hajde da dalje razgovaramo!
-
Grafitni grijač Silicijum karbid (SiC) SiC premaz...
-
Prilagođeni grafitni grijač za poluprovodničke silici...
-
Prilagođeni kalup za ingote SIC za topljenje metala, silikonski...
-
prilagođeni silikonski SIC kalup silikonski SSIC RBSIC...
-
CVD SiC obloženi ugljik-ugljik kompozit CFC za brodove...
-
CVD sic premaz cc kompozitna šipka, silicijum karbid...
-
Silikonski kalup za lijevanje zlata i srebra, Si...
-
Mehanički prstenovi od ugljičnog grafita, silikonski ...
-
Dugotrajni SIC obloženi grafitni grijač za MOCVD ...
-
Silikonska šipka otporna na visoke temperature...
-
Visokokvalitetna silikonska šipka, Sic šipka za obradu...
-
CVD sic premaz kalupa od ugljik-ugljičnog kompozita
-
Ugljik-ugljik kompozitna ploča sa SiC premazom









