Графитни подложки/носители със силициево-карбидно покритие за полупроводници

Кратко описание:

VET Energy SiC Coated Graphite Susceptor е високопроизводителен продукт, проектиран да осигурява постоянна и надеждна работа за продължителен период от време. Той има супер добра топлоустойчивост и термична равномерност, висока чистота и устойчивост на ерозия, което го прави идеалното решение за приложения за обработка на пластини.

Място на произход:Zhejiang, Китай (континентален)

Номер на модела:Лодка3004

Химичен състав:Графит с покритие от SiC

Якост на огъване:470 МПа

Топлопроводимост:300 W/mK

Качество:Перфектно

Функция:CVD-SiC

Приложение:Полупроводници / Фотоволтаици

Плътност:3,21 г/куб. см

Термично разширение:4 10-6/К

Пепел: <5 ppm

Пример:Налично

Код по ХС:6903100000

Изпратете ни имейл Изтегляне като PDF

Детайли за продукта

Етикети на продукти

Графитният токоприемник с SiC покритие е ключов компонент, използван в различни процеси за производство на полупроводници. Ние използваме нашата патентована технология, за да направим токоприемника с изключително висока чистота, добра равномерност на покритието и отличен експлоатационен живот, както и с висока химическа устойчивост и термична стабилност.

Характеристики на нашите продукти:

1. Устойчивост на окисление при висока температура до 1700℃.
2. Висока чистота и термична еднородност
3. Отлична устойчивост на корозия: киселини, основи, соли и органични реагенти.
4. Висока твърдост, компактна повърхност, фини частици.
5. По-дълъг експлоатационен живот и по-издръжлив

ССЗ SiC薄膜基本物理性能 Основни физични свойства на CVD SiCпокритие
性质 / Имот	典型数值 / Типична стойност
晶体结构 / Кристална структура	FCC β фаза多晶，主要为（111) 取向
密度 / Плътност	3,21 г/см³
硬度 / Твърдост	2500 维氏硬度（500g товар）
晶粒大小 / Размер на зърното	2~10μm
纯度 / Химическа чистота	99,99995%
热容 / Топлинен капацитет	640 Дж·кг^-1·К^-1
升华温度 / Температура на сублимация	2700℃
抗弯强度 / Якост на огъване	415 MPa RT 4-точков
杨氏模量 / Модул на Юнг	430 Gpa 4pt огъване, 1300℃
导热系数 / ТермалПроводимост	300W·m^-1·К^-1
热膨胀系数 / Термично разширение (CTE)	4,5×10^-6K^-1

VET Energy е истинският производител на персонализирани графитни и силициево-карбидни продукти с различни покрития като SiC покритие, TaC покритие, стъкловидно въглеродно покритие, пиролитично въглеродно покритие и др., може да достави различни персонализирани части за полупроводниковата и фотоволтаичната индустрия.

Нашият технически екип идва от водещи местни изследователски институции и може да ви предостави по-професионални решения за материали.

Ние непрекъснато разработваме усъвършенствани процеси, за да осигурим по-съвременни материали, и сме разработили ексклузивна патентована технология, която може да направи връзката между покритието и основата по-здрава и по-малко податлива на отлепване.

Сърдечно Ви приветстваме да посетите нашата фабрика, нека обсъдим по-нататък!