Bagong henerasyon ng mga materyales sa paglago ng kristal na SiC

Dahil sa unti-unting malawakang produksyon ng mga konduktibong SiC substrate, mas mataas na mga kinakailangan ang inilalahad para sa katatagan at pag-uulit ng proseso. Sa partikular, ang pagkontrol sa mga depekto, ang maliit na pagsasaayos o pag-anod ng heat field sa pugon, ay magdudulot ng mga pagbabago sa kristal o pagdami ng mga depekto. Sa mga susunod na panahon, kailangan nating harapin ang hamon ng "mabilis na paglaki, paghaba at kapal, at paglaki", bilang karagdagan sa pagpapabuti ng teorya at inhinyeriya, kailangan din natin ng mas advanced na mga materyales sa thermal field bilang suporta. Gumamit ng mga advanced na materyales, palaguin ang mga advanced na kristal.

Ang maling paggamit ng mga materyales na maaaring i-crucible, tulad ng graphite, porous graphite, tantalum carbide powder, atbp. sa mainit na larangan ay hahantong sa mga depekto tulad ng pagtaas ng carbon inclusion. Bukod pa rito, sa ilang aplikasyon, ang permeability ng porous graphite ay hindi sapat, at kailangan ng mga karagdagang butas upang mapataas ang permeability. Ang porous graphite na may mataas na permeability ay nahaharap sa mga hamon ng pagproseso, pag-alis ng pulbos, pag-ukit at iba pa.

Ipinakikilala ng VET ang isang bagong henerasyon ng SiC crystal growing thermal field material, ang porous tantalum carbide. Isang pasinaya sa buong mundo.

Napakataas ng lakas at katigasan ng tantalum carbide, at ang paggawa nito ng porous ay isang hamon. Ang paggawa ng porous tantalum carbide na may malaking porosity at mataas na purity ay isang malaking hamon. Inilunsad ng Hengpu Technology ang isang pambihirang tagumpay sa porous tantalum carbide na may malaking porosity, na may pinakamataas na porosity na 75%, na nangunguna sa mundo.

Maaaring gamitin ang pagsasala ng bahagi ng gas phase, pagsasaayos ng lokal na gradient ng temperatura, direksyon ng daloy ng materyal, pagkontrol ng tagas, atbp., Maaari itong gamitin kasama ng isa pang solidong tantalum carbide (compact) o tantalum carbide coating mula sa Hengpu Technology upang bumuo ng mga lokal na bahagi na may iba't ibang flow conductance.

Maaaring gamitin muli ang ilang bahagi.