مع الإنتاج الضخم التدريجي لركائز كربيد السيليكون الموصلة، تبرز متطلبات أعلى لاستقرار العملية وإمكانية تكرارها. وعلى وجه الخصوص، سيؤدي التحكم في العيوب، والتعديل الطفيف أو انحراف المجال الحراري في الفرن، إلى تغيرات بلورية أو زيادة العيوب. في المرحلة اللاحقة، يجب أن نواجه تحدي "النمو السريع والطويل والسميك والمتزايد". بالإضافة إلى تحسين النظرية والهندسة، نحتاج أيضًا إلى مواد مجال حراري أكثر تطورًا كدعم. باستخدام مواد متطورة، ننتج بلورات متطورة.
يؤدي الاستخدام غير السليم لمواد البوتقة، مثل الجرافيت، والجرافيت المسامي، ومسحوق كربيد التنتالوم، وغيرها، في الحقل الساخن إلى عيوب مثل زيادة احتواء الكربون. إضافةً إلى ذلك، في بعض التطبيقات، تكون نفاذية الجرافيت المسامي غير كافية، ما يتطلب ثقوبًا إضافية لزيادة نفاذيته. يواجه الجرافيت المسامي ذو النفاذية العالية تحديات في المعالجة، وإزالة المسحوق، والنقش، وما إلى ذلك.
تُقدّم VET جيلاً جديدًا من مادة كربيد السيليكون (SiC) الحرارية المُخصّصة لتنمية بلورات الحقل الحراري، وهي كربيد التنتالوم المسامي. لأول مرة عالميًا.
يتميز كربيد التنتالوم بقوة وصلابة عاليتين، ويُعد جعله مساميًا تحديًا كبيرًا. يُمثل إنتاج كربيد التنتالوم المسامي بمسامية كبيرة ونقاء عالٍ تحديًا كبيرًا. وقد أطلقت شركة هينغبو تكنولوجي كربيد تنتالوم مساميًا رائدًا بمسامية كبيرة، تصل أقصى نسبة مسامية له إلى 75%، متصدرًا بذلك قائمة المنتجات الرائدة عالميًا.
يمكن استخدام ترشيح مكونات الطور الغازي، وضبط تدرج درجة الحرارة المحلية، واتجاه تدفق المواد، والتحكم في التسرب، وما إلى ذلك. كما يمكن استخدامه مع كربيد التنتالوم الصلب (المدمج) أو طلاء كربيد التنتالوم من شركة Hengpu Technology لتشكيل مكونات محلية ذات موصلية تدفق مختلفة.
يمكن إعادة استخدام بعض المكونات.
وقت النشر: ١٤ يوليو ٢٠٢٣