مع الإنتاج الكمي التدريجي لركائز كربيد السيليكون الموصلة، تزداد متطلبات استقرار العملية وقابليتها للتكرار. وعلى وجه الخصوص، فإن التحكم في العيوب، وأي تعديل طفيف أو انحراف في المجال الحراري داخل الفرن، قد يؤدي إلى تغيرات في البلورات أو زيادة في العيوب. في المرحلة اللاحقة، علينا مواجهة تحدي "النمو السريع والطويل والسميك والعمودي"، فبالإضافة إلى تطوير النظرية والهندسة، نحتاج أيضًا إلى مواد أكثر تطورًا للمجال الحراري كدعامة. باستخدام مواد متطورة، ننمي بلورات متطورة.
يؤدي الاستخدام غير السليم لمواد البوتقة، مثل الجرافيت والجرافيت المسامي ومسحوق كربيد التنتالوم، في المجال الحراري إلى عيوب كزيادة نسبة الكربون. إضافةً إلى ذلك، في بعض التطبيقات، لا تكون نفاذية الجرافيت المسامي كافية، مما يستدعي إضافة ثقوب لزيادة النفاذية. ويواجه الجرافيت المسامي ذو النفاذية العالية تحديات في المعالجة وإزالة المسحوق والحفر وغيرها.
تُقدّم شركة VET جيلاً جديداً من مواد المجال الحراري لنمو بلورات كربيد السيليكون، وهو كربيد التنتالوم المسامي. عرض عالمي أول.
يتميز كربيد التنتالوم بقوة وصلابة عاليتين، مما يجعل جعله مساميًا تحديًا كبيرًا. ويُعدّ إنتاج كربيد تنتالوم مسامي ذي مسامية عالية ونقاء فائق تحديًا كبيرًا. وقد أطلقت شركة هينغبو للتكنولوجيا منتجًا رائدًا عالميًا من كربيد التنتالوم المسامي ذي المسامية العالية، حيث تصل مسامية المادة القصوى إلى 75%.
يمكن استخدام ترشيح مكونات الطور الغازي، وضبط تدرج درجة الحرارة الموضعي، وتوجيه تدفق المواد، والتحكم في التسرب، وما إلى ذلك. ويمكن استخدامه مع كربيد التنتالوم الصلب (المضغوط) أو طلاء كربيد التنتالوم من شركة Hengpu Technology لتشكيل مكونات موضعية ذات موصلية تدفق مختلفة.
يمكن إعادة استخدام بعض المكونات.
تاريخ النشر: 14 يوليو 2023