S postepenom masovnom proizvodnjom provodljivih SiC supstrata, postavljaju se veći zahtjevi za stabilnost i ponovljivost procesa. Konkretno, kontrola defekata, mala podešavanja ili pomjeranje toplotnog polja u peći, dovest će do promjena kristala ili povećanja defekata. U kasnijem periodu, moramo se suočiti s izazovom "brzog, dugog i debelog rasta, i rasta", pored poboljšanja teorije i inženjerstva, potrebni su nam i napredniji materijali termičkog polja kao podrška. Koristite napredne materijale, uzgajajte napredne kristale.
Nepravilna upotreba materijala za lončiće, kao što su grafit, porozni grafit, prah tantal karbida itd. u vrućem polju dovest će do nedostataka kao što je povećano uključivanje ugljika. Osim toga, u nekim primjenama, propusnost poroznog grafita nije dovoljna, te su potrebne dodatne rupe za povećanje propusnosti. Porozni grafit s visokom propusnošću suočava se s izazovima obrade, uklanjanja praha, nagrizanja i tako dalje.
VET predstavlja novu generaciju SiC kristalnog materijala za termički rast, porozni tantal karbid. Svjetska premijera.
Čvrstoća i tvrdoća tantal karbida su veoma visoke, a pravljenje poroznog tantal karbida predstavlja izazov. Izrada poroznog tantal karbida sa velikom poroznošću i visokom čistoćom predstavlja veliki izazov. Hengpu Technology je lansirao revolucionarni porozni tantal karbid sa velikom poroznošću, sa maksimalnom poroznošću od 75%, što ga čini vodećim u svijetu.
Može se koristiti filtracija komponenti gasne faze, podešavanje lokalnog temperaturnog gradijenta, smjer protoka materijala, kontrola curenja itd. Može se koristiti s drugim čvrstim tantal karbidom (kompaktnim) ili tantal karbidnim premazom od Hengpu Technology za formiranje lokalnih komponenti s različitom provodljivošću protoka.
Neke komponente se mogu ponovo upotrijebiti.
Vrijeme objave: 14. jula 2023.