கடத்தும் SiC அடி மூலக்கூறுகளின் படிப்படியான பெருமளவிலான உற்பத்தியுடன், செயல்முறையின் நிலைத்தன்மை மற்றும் மீண்டும் மீண்டும் நிகழக்கூடிய தன்மைக்கு அதிக தேவைகள் முன்வைக்கப்படுகின்றன. குறிப்பாக, குறைபாடுகளைக் கட்டுப்படுத்துதல், உலையில் வெப்பப் புலத்தின் சிறிய சரிசெய்தல் அல்லது சறுக்கல், படிக மாற்றங்களை அல்லது குறைபாடுகளை அதிகரிக்கும். பிந்தைய காலகட்டத்தில், "வேகமாக, நீண்ட மற்றும் தடிமனாக வளர்ந்து, வளரும்" சவாலை நாம் எதிர்கொள்ள வேண்டும், கோட்பாடு மற்றும் பொறியியலின் முன்னேற்றத்துடன் கூடுதலாக, நமக்கு ஆதரவாக மேம்பட்ட வெப்பப் புலப் பொருட்களும் தேவை. மேம்பட்ட பொருட்களைப் பயன்படுத்தவும், மேம்பட்ட படிகங்களை வளர்க்கவும்.
கிராஃபைட், நுண்துளை கிராஃபைட், டான்டலம் கார்பைடு தூள் போன்ற சிலுவைப் பொருட்களை வெப்பமான நிலத்தில் முறையற்ற முறையில் பயன்படுத்துவது கார்பன் சேர்க்கை அதிகரிப்பது போன்ற குறைபாடுகளுக்கு வழிவகுக்கும். கூடுதலாக, சில பயன்பாடுகளில், நுண்துளை கிராஃபைட்டின் ஊடுருவல் போதுமானதாக இல்லை, மேலும் ஊடுருவலை அதிகரிக்க கூடுதல் துளைகள் தேவைப்படுகின்றன. அதிக ஊடுருவக்கூடிய தன்மை கொண்ட நுண்துளை கிராஃபைட் செயலாக்கம், தூள் அகற்றுதல், பொறித்தல் போன்ற சவால்களை எதிர்கொள்கிறது.
VET புதிய தலைமுறை SiC படிக வளரும் வெப்ப புலப் பொருளான போரஸ் டான்டலம் கார்பைடை அறிமுகப்படுத்துகிறது. உலக அரங்கேற்றம்.
டான்டலம் கார்பைடின் வலிமையும் கடினத்தன்மையும் மிக அதிகம், மேலும் அதை நுண்துளைகளாக்குவது ஒரு சவாலாகும். அதிக போரோசிட்டி மற்றும் அதிக தூய்மையுடன் நுண்துளை டான்டலம் கார்பைடை உருவாக்குவது ஒரு பெரிய சவாலாகும். ஹெங்பு டெக்னாலஜி 75% அதிகபட்ச போரோசிட்டியுடன், அதிக போரோசிட்டியுடன் ஒரு திருப்புமுனையான போரஸ் டான்டலம் கார்பைடை அறிமுகப்படுத்தியுள்ளது, இது உலகை வழிநடத்துகிறது.
வாயு கட்ட கூறு வடிகட்டுதல், உள்ளூர் வெப்பநிலை சாய்வு சரிசெய்தல், பொருள் ஓட்டத்தின் திசை, கசிவைக் கட்டுப்படுத்துதல் போன்றவற்றைப் பயன்படுத்தலாம். வெவ்வேறு ஓட்ட கடத்துத்திறன் கொண்ட உள்ளூர் கூறுகளை உருவாக்க ஹெங்பு தொழில்நுட்பத்திலிருந்து மற்றொரு திடமான டான்டலம் கார்பைடு (சிறிய) அல்லது டான்டலம் கார்பைடு பூச்சுடன் இதைப் பயன்படுத்தலாம்.
சில கூறுகளை மீண்டும் பயன்படுத்தலாம்.
இடுகை நேரம்: ஜூலை-14-2023